Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.08a
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pp.340-340
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2011
플라즈마 공정에서의 생산률이 플라즈마의 밀도에 비례한다는 많은 연구가 이루어진 후, 초대면적 고밀도 플라즈마 소스의 개발은 플라즈마 소스 개발에서 중요한 부분을 차지하기 시작하였다. 이로 인해, 전자 공명 플라즈마, 유도 결합 플라즈마와 헬리콘 플라즈마 등 새로운 고밀도 플라즈마 개발 연구가 활발히 진행되고 있다. 최근에는 고밀도 플라즈마 개발과 더불어, 대면적 플라즈마 소스의 개발이 플라즈마 공정 기술의 중요한 이슈가 되고 있는데, 이는 450 mm 이상의 반도체, 2 m${\times}$2 m 이상의 8세대 평판 디스플레이와 1 m${\times}$1 m 태양광 전지 생산 공정에서 플라즈마의 기술이 요구되고 있기 때문이다. 대면적 공정영역의 이러한 경향은 균일한 대면적 고밀도 플라즈마 개발을 촉진시켜왔다. 밀도가 낮은 축전 결합 플라즈마를 제외한, 대면적 공정에 적합한 고밀도 플라즈마원으로 유도 결합 플라즈마와 헬리콘 플라즈마를 선택한 후, 병렬연결 시의 특성을 알기 위하여 ICP와 헬리콘의 단일 튜브와 다수 튜브의 플라즈마 내부, 외부 변수를 측정하여 조사하였다. 두 가지 플라즈마 소스의 비교 실험을 위하여, 자기장을 제외한 모든 조건을 동등하게 한 후 실험을 하였다. 단일 헬리콘 실험을 바탕으로, 대면적 실험에 가장 적합한 자기장의 세기, 자석의 위치 및 튜브의 치수를 정한 후, fractal 구조를 위한 16개 다수 방전을 ICP와 헬리콘을 비교하였다. 병렬연결 시, RF 플라즈마에서는 같은 전압을 가져도, 안테나 디자인을 고려하지 않으면 모든 튜브의 방전이 이루어 지지 않았다. 이를 컴퓨터 모의 전사를 통해 확인하고, 가장 최적화된 안테나를 설계하여 실험을 하였다. ICP에서는 모든 튜브가 방전에 성공한 반면, 헬리콘 플라즈마는 ICP에 10배에 달하는 높은 밀도를 냈으나, 오직 4개 튜브만이 켜지고 안정적으로 방전이 이루어 지지 않았다. ICP의 경우, RF 전송선의 디자인을 통해 파워의 균등 분배가 가능하지만, 헬리콘의 경우 자기장을 추가해서 고려해야 되는 것을 확인하였다. 모든 튜브에 비슷한 자기장을 형성하기 위해서는 자석의 크기가 커지는 문제점이 있으나, 매우 낮은 압력에서 방전이 가능하고, 같은 압력에서 ICP에 비해 10배 이상 달하는 장점이 있다. 실험 결과를 바탕으로, ICP와 헬리콘 플라즈마의 다수 방전에 대한 분류를 하였고, 바로 현장에 투입이 가능한 소스로 판단된다.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.4
no.1
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pp.17-25
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2000
ATM PON system is regarded as a solution of the next generation access network because it can cover various types of subscribers in a single platform. In this paper, we describe the merit of the ATM PON and the key protocols for its operation. Above all, the ranging is the most important protocol providing a mean of the time-division multiple access in the system. A problem in the protocol is that the window size, the time interval that ranging cell arrives, is too long. During the interval, user traffics cannot be send to the upstream, which makes the quality of service degraded. In this paper, we suggest a method to minimize the window size when the length of the optic fiber is known with some deviation. The window size can be reduced as 7 % of the conventional method when the deviation of the length is 1 Km.
Improvement in potential Crop yield could be achieved through either the improve-ment of source potential or sink capacity, but preferably both simultaneously. The field experiment was performed to evaluate the genotypic difference in partitioning of dry matter into each plant part in response to photosynthetic manipulation as well as to assess whether the soybean yield is source or sink-limited. Four soybean genotypes, which were 'Baekunkong', 'Suwon 168', and two local soy-beans with black seed coat(hereafter referred to as the 'black soybean', 'Kangleungjarae' and 'Keumleungjarae', were grown in four different environments in which one or two layers of shading net during grain filling and two different planting densities(55,000 and 110,000 plants $ha^{-1}$) were applied to manipulate photosynthesis. Significant effects of genotype (G), photosynthetic manipulation(P), and$G^p$P were shown in top and grain dry weight. Relative grain to top dry weight was the lowest in soybean plants grown at 110,000 plants$ha^{-1}$and covered with two layers of shading net during grain filling, Evaluation of dynamic changes in shoot harvest index in response to photosynthetic manipulation treatments revealed that sink was more limited in local black soybeans than Suwon 168 and Baekunkong, indicating that the availability of photosynthate during grain filling did not limit the grain yield in local black soybeans when compared to Baekunkong and Suwon 168.oybeans when compared to Baekunkong and Suwon 168.
Kim, Bo-Min;Kim, Jeong-Young;Bang, Hyun-Jin;Jang, Min-Seok
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2010.05a
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pp.871-874
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2010
Needs for Smart Grid development are increasing all over the world as a solution to its problem according to depletion of energy resources, climatic and environmental rapidly change and growing demand for electrical power. Especially decentralized power is attracting world's attention. In this mood a new era for a unit scale of decentralized power environment is on its way in building. However there is a problem to have to be solved in the uniformity of power quality because the amount of power generated from renewable energy resources such as wind power and solar light is very sensitive to climate fluctuation. And thus this paper tries to suggest an energy management method on basis of real time monitoring for meteorological data. In the current situation of lacking in USN-based killer application in Smart Grid field, this paper proposes the USN-based DER management system which collects the meteorological data and control power system througout utilizing wireless sensor network technique this business. This communication technique is regarded to be efficient in aspects of installation cost and tits maintenance cost. The proposed EMS model embodies the method for predicting the power generation by monitoring and analyzing the climatic data and controling the efficient power distribution between the renewable energy and the existing power. The ultimate goal of this paper is to provide the technological basis for achieving zero-energy house.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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