• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.256.1-256.1
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• 2014

21세기 정보화 시대의 도래와 함께 반도체 및 디스플레이 분야는 고부가가치산업으로 급격히 성장하였고, 현재까지도 미래의 지속적인 시장 창출을 위하여 기술개발과 투자로 초미세화, 고효율, 대면적화에 대한 원천기술 확보가 중요시되고 있다. 반도체 및 디스플레이의 대면적화가 진행됨에 따라 플라즈마 공정장비의 대면적화도 활발히 기술개발이 진행되고 있으며, 대면적화에 있어 플라즈마의 공간균일도는 생산수율 및 공정균일화를 위해 기본적으로 평가되어야 하는 중요한 지표가 되었다. 하지만 종래의 진단법들은 대면적 플라즈마 진단에 매우 제한적이기 때문에 본 연구에서는 대면적 플라즈마의 공간균일도 평가를 위해 플라즈마의 방출광 측정을 기초로 하는 진단계를 개발하였다. 플라즈마 방출광을 이용한 진단은 플라즈마에 섭동을 주지 않고 전자온도의 변화 및 공간균일도를 평가할 수 있다. 이 진단법은 두 마주보는 한쪽 면이 평평한 볼록렌즈(plano-convex lens)로 이루어진 수광시스템과 역변환 알고리즘을 통해 선 적분된 방출광으로부터 플라즈마 방출광의 국지적 정보를 측정하는 것이다. 플라즈마와 같이 크기가 큰 광원의 경우 렌즈 광학계에서 필연적으로 수반되는 선적분된(chord-integrated) 방출광을 제거하기 위해 구조에 따른 시스템 함수를 이용한 푸리에 변환 알고리즘을 개발하였고, 이를 통해 렌즈 초점거리의 정확한 방출광 세기만 재구성하였다. 이러한 재구성 방법을 이용하여 렌즈의 거리를 움직이며 대면적 플라즈마의 방출광 분포측정을 수행하였고, 이에 대한 결과를 발표하고자 한다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 1995.06a
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• pp.2-6
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• 1995

빛과 생체와의 interaction에 대한 연구, 레이저의 소형화와 신뢰성 향상, 빛 전달장치와 주변장치의 다양화등에 힘입어 레이저의 의학적 응용은 급속히 늘고 있다. 파장 및 照射모드의 연구로 치료의 質이 향상되고 있으며, 광섬유와 내시경을 통한 Minimally Invasive Surgery는 독자적인 수술 장르로 구축되고 있다. 새로운 레이저 수술 및 치료 procedure가 개발되고 있으며, 암진단 치려 및 진단장치등으로 응용 영역도 확대되어 레이저는 21세기 의학에서 절대적인 위치를 차지할 것으로 전망된다.

• Optical Science and Technology
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• v.20 no.4
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• pp.9-14
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• 2016

• Progress in Medical Physics
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• v.12 no.1
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• pp.9-17
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• 2001

The prior purpose of this study is to introduce a optical biopsy and evaluate whether the optical biopsy, real-time, non-invasive technique, is a reliable tool to assess response to radiotherapy Four healthy volunteers, and four patients with inflammatory conditions of the oral cavity participated on the study. was obtained from each person enrolled in the study. Using FastEEM(Ercited Emission Matrix) as a optical biopsy tool, normal and tumor spectra are taken from the normal and the tumor regions. And then second optical biopsy are taken from the tumor regions in 4 patients with time delay at 7days.. Using a diagnostic algorithm, made by Gillenwater based on spectra excited at 337nm The Optical Biopsy turned out to be more suited for tumor diagnostic resulting in significant difference fluorescence spectra. The fluorescence intensity of cancerous tissue showed a higher position. The second fluorescence intensity of optical biopsy of cancerous oral tissue has more smaller than the first result. I conclude that optical biopsy, which technique don't need to remove tissue sample from body, and is a real time , and non-invasive measurement is a reliable tool to access to radiotherapy because FastEEM can do measure the variation of the tissue composition chemical, biological, and morphological after radiotherapy. Based on the fluorescence spectrum are taken from the optical biopsy in normal and tumor spectra as well as tumor spectra after 7days.

• Proceedings of the Korean Society of Laser Processing Conference
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• 2001.05a
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• pp.114-118
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• 2001

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.02a
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• pp.178-178
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• 2002

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2012.05a
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• pp.151-152
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• 2012

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.184-184
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• 2016

플라즈마에 레이저 빛을 입사한 후 CCD 소자로 획득한 영상은 검고 밝은 픽셀로 이루어지며 이를 플라즈마 스펙클 패턴이라 정의한다. 그림 1은 $NH_3$ 플라즈마에서 획득한 스펙클 패턴을 보이고 있다 [1]. 광학에서 스펙클 패턴은 빛의 산란을 이용해 정의하고 있지만 최근의 연구에서 이 같은 정의가 잘 못되어졌음이 보고된 바 있다 [2]. 스펙클 패턴은 입사된 빛 물질과 빛 물질 에너지를 흡수하는 표면 플라즈몬 캐리어 (surface plasmon carriers-SPC)가 함께 공존하는 전자계 에너지 필드라고 정의된 바 있다 [2]. 플라즈마 스펙클 패턴은 진공이 SPC와 같은 음의 물질과 입자로 채워져 있다는 가정에 기초하고 있다 [1]. 새로이 정의된 스펙클 패턴은 전하가 없는 photon 모델과는 달리 빛이 양의 전하를 가지고 있다는 사실에 기초한 것이며, 이는 최근의 빛 물질 수집과 관련한 실험적 연구 [3], 빛 물질의 화학적 원소 분석 [4], 빛 물질의 양의 입자성 [5]에 근거를 두고 있다. 빛 물질은 그림 2 [6] 에서와 같이 물 방울을 태양 또는 레이저 빛에 노출시켜 용이하게 수집할 수 있다 [3-6]. 플라즈마 스펙클 패턴에서 픽셀합 분포함수 (pixel sum distribution function-PSDF)을 구할 수 있으며, PSDF에서 추출한 정보는 optical emission spectroscopy, langmuir probe로 수집한 데이터와 매우 유사한 경향성을 보였다 [1, 6]. 이는 스펙클 패턴이 플라즈마의 광학적 전기적 정보를 저장하고 있음을 의미한다. 본 발표에서는 새로운 플라즈마 진단 방식으로서의 스펙클 이미징 시스템, 동작원리, 물리적 기초, 그리고 응용사례 등을 살펴본다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.07a
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• pp.74-75
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• 2003

안구는 외막, 중막, 내막, 등으로 이루어져 있고, 그 중에서 가장 중요한 부분의 망막이다. 망막은 외부 물체에서 오는 빛을 받아 그 양을 정량적으로 분척하여 뇌로 보내는 역할을 한다. 이로 인해서 망막이 손상되면 눈에 치명적인 영향을 주어 자칫 시력을 잃을 수 있다. 안과에서 의사들은 정확한 병명을 진단하거나 안전한 수술을 하기 위해서 명확한 망막의 상을 얻어야 한다. 본 연구는 공초점 방식으로 망막 영상을 획득하기 위한 연구로써, 폴리곤 미터, 갈바노 미터 등의 복잡한 광학적 시스템이 제안되었다. (중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.11a
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• pp.182-182
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• 2015

레이저 홀로그램을 이용하여 $N_2$ 플라즈마를 진단하였다. 홀로그램 이미지에서 추출한 데이터는 optical emission spectroscopy와 langmuir probe로 측정한 데이터와 매우 유사한 경향성을 보였다. 이는 홀로그램 센서가 플라즈마의 전기 광학적 입자 정보를 제공할 수 있음을 의미한다. 홀로그램 안에 이 같은 정보가 저장될 수 있는 원리는 빛을 구성하는 양의 전하를 가지는 입자와 진공을 채우고 있는 음의 입자가 함께 형성하는 전자기적 에너지 필드의 형성에 있음을 밝힌다. 이러한 원리에 기초해서 그간 개발된 센서들을 소개한다.