• Title/Summary/Keyword: 광학이미지

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Direct Measurement of Distortion of Optical System of Lithography (노광 광학계의 왜곡수차 측정에 관한 연구)

  • Joo, WonDon;Lee, JiHoon;Chae, SungMin;Kim, HyeJung;Jung, Mee Suk
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.23 no.3
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    • pp.97-102
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    • 2012

  • In general, one of the methods used to measure distortion is to use the full image of the regular pattern. However, because of low accuracy, this method is mainly used for an optical system such as a camera.. In order to measure distortion with high accuracy less than 1um, one can use the method of measuring the exact position of a mask image. In this case, a high accuracy stage with a laser encoder is required. In this paper, we investigate measurement of the distortion of high accuracy with a simple manual stage. The main idea is that we split and measure the mask image with the overlapping area by using CCD or CMOS, and then we get an exact position of the mask image by integrating the adjacent split images. We use the Canny Edge Detection method to get the position information of the mask image and we researched the process to exactly calculate distortion by using coordinate transformations and a least square method.

  • https://doi.org/10.3807/KJOP.2012.23.3.097 인용 PDF KSCI

The Development of Color Management System for Natural Color Reproduction of Digital Imaging Devices (자연색 재현을 위한 디지틸 이미징 장치간의 색 관리 시스템 개발)

  • 김홍석;박승옥;박철호;박진희;유종우;김연진;윤흥순;정민호
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.82-83
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    • 2003

  • PC의 대량 보급과 인터넷 케이블 망의 전지역적 구축을 통해 디지털 정보의 교류가 활발히 이루어지고 있다. 이에 따라 아날로그 이미지를 디지털화 하는 디지털 카메라나 스캐너와 같은 이미지 입력 장치와, 디지털 이미지를 눈으로 볼 수 있게 하는 모니터나 프린터와 같은 이미지 출력 장치로 구성되는 디지털 이미징 장치들의 사용이 일상화되고 있다. TV나 컴퓨터 모니터를 통한 인터넷 상품 구매는 이미 보편화되어 있고, 스캐너를 사용하여 사진을 스캔하여 수정이나 합성 등의 편집을 한 후 이미지를 웹에 올리거나 사진 프린터로 다시 뽑는 일에도 익숙해져 있다. (중략)

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