3차원 형상을 측정하는 측정법으로는 접촉식과 비접촉식이 있는데 최근에는 물체의 표면을 손상 시키지 않으면서 물체의 변형 상태 등을 정밀하게 측정할 수 있는 비접촉식 측정법이 주로 사용되어 지면서 변형, 진동, 결함 등의 다양한 측정 분야에 찰용되고 있다. 이는 광학 간섭의 하나인 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 간섭 무의 패턴을 PZT Controller로 위상 이동하여 CCD 카메라로 물체의 영상을 얻어 위상 지도를 추출, 이미지를 분석하여 3차원 물체를 해석하고자 한다. 하지만 이미지 측정시 미세 진동 및 조명 등에 의한 노이즈가 발생하게 되어 물체의 정확한 정보를 얻기가 어려워 노이즈 제거를 위한 이미지 처리 알고리즘 개발과 Unwrapping 처리, 위상이동 알고리즘 개발 등을 통하여 좀더 정확한 정보를 얻고자 한다.
In order to enhance the background noise filtering performance of the white light interferometry(WLI), we demonstrate the noise filtering performance of preprocessing of the measured fringe signals. The WLI was realized through a mirau interferometer which was equipped with a green LED. When measuring large-height and rough surface objects, the illumination optics are considered the numerical aperture(NA) and the depth of focus(DOF). In this case, the limited NA of the illumination optics has a considerable impact on the interference fringe. Therefore, we propose a preprocessing method that uses the intensity difference between the measured intensity and the moving average intensity. The performance is demonstrated by measuring an array of metal solder balls fabricated on printed circuit board(PCB). The proposed method reduces the noise pixels by 15 percent.
나노 기술의 급격한 발달에 따라 나노미터 수준의 정밀도를 갖는 초정밀 측정 기술이 여러 분야에서 요구되고 있다. 헤테로다인 레이저 간섭계를 이용하여 초정밀 위치 측정을 하려고 할 때, 광학기기 자체의 불완전함에서 발생하는 비선형성 오차는 주요한 요소로 작용한다. 본 논문에서는 헤테로다인 레이저 간섭계 시스템에서의 비선형성을 보정해주기 위해 적응형 알고리즘을 제안한다. 기준 입력인 정전용량센서와 최소자승법을 이용하여 보정변수를 구한 후, 반복 최소자승법을 이용하여 비선형성에 따른 타원 위상을 비선형성이 보정된 원 위의 위상으로 사상시킨다.
Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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v.19
no.1
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pp.16-24
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1999
Residual stress is one of the causes which make defects in engineering components and materials. And interest in the measurement of residual stress exists in many industries. There are commonly used methods by which residual stresses are currently measured. But these methods have a little demerits. time consumption and other problems. Therefore we devised a new experimental technique to measure residual stress in materials with a combination of laser speckle pattern interferometry, finite element method and spot heating. The speckle pattern interferometer measures in-plane deformations while the heating provides for very localized stress relief. FEM is used for determining heat temperature and other parameters. The residual stresses are determined by the amount of strain that is measured subsequent to the heating and cool-down of the region being interrogated. A simple model is presented to provide a description of the method. In this paper, the ambiguity problem for the fringe patterns has solved by a phase shifting method.
Ha, Seok-Jae;Kim, Jong-Su;Cho, Myeong-Woo;Choi, Jong-Myung
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.14
no.5
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pp.2113-2120
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2013
In this study, an efficient machine vision based inspection system is developed for the in-line measurement of phosphor resin dispensing shapes on LED chip package. Since the phosphor resin (target material) has semitransparent characteristics, illuminated light beam is reflected from the bottom of the chip as well as from the surface. Since such phenomenon can deteriorate inspection reliability, a white LED and a 635nm laser slit beams are experimentally tested to decide suitable illumination optics. Also, specular and diffuse reflection methods are tested to decide suitable optical triangulation. As a result, it can be known that the combination of a white slit beam source and specular reflection method show the best inspection results. The Catmull-Rom spline interpolation is applied to the obtained data to form smoother surface. From the results, it can be conclude that the developed system can be sucessfully applied to the in-line inspection of LED chip packaging process.
Bae, Jong In;Lee, Haeng Bok;Kim, Jeong Won;Lee, Kyung Mook;Kim, Myung-Whun
Korean Journal of Optics and Photonics
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v.33
no.2
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pp.74-83
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2022
The entire process, from the raw material to the final system qualification test, has been developed to fabricate a large-diameter, lightweight reflective-telescope system for a satellite observation. The telescope with 3 anastigmatic mirrors has an aperture of 700 mm and a total mass of 66 kg. We baked a silicon carbide substrate body from a carbon preform using a reaction sintering method, and tested the structural and chemical properties, surface conditions, and crystal structure of the body. We developed the polishing and coating methods considering the mechanical and chemical properties of the silicon carbide (SiC) body, and we utilized a chemical-vapor-deposition method to deposit a dense SiC thin film more than 170 ㎛ thick on the mirror's surface, to preserve a highly reflective surface with excellent optical performance. After we made the SiC mirrors, we measured the wave-front error for various optical fields by assembling and aligning three mirrors and support structures. We conducted major space-environment tests for the components and final assembly by temperature-cycling tests and vibration-shock tests, in accordance with the qualifications for the space and launch environment. We confirmed that the final telescope achieves all of the target performance criteria.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.10a
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pp.1500-1503
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2004
Errors resulting from magnification variations of optical system are largely generated in three-dimensional shape measurements. In the case of measuring the surface morphology of tiny objects based on DFF, images are acquired with a very small interval and then magnification changes are minimized. However, the magnification variations are actually existed in optical system and so focus measures in DFF are wrongly or ambiguously extracted. in this paper, a methodology based on DFF with the magnification changes is proposed to make more accurate measurement in surface morphology with high depth discontinuity, compared with previous ones. Several experiments show that the proposed method outperforms existing ones without magnification changes.
An absolute interferometer system with multiple point-sources is devised for tile 3-D measurement of rough surface profiles. The positions of the point sources are determined to be the system parameters that influence the measurement accuracy, so they are calibrated precisely prior to performing actual measurements. For the calibration, a CCD camera composed of a two-dimensional array of photo-detectors was used. Performing optimization of the cost function constructed with phase values measured at each pixel on the CCD camera, the position coordinates of each point source is precisely determined. Measurement results after calibration performed for the warpage inspection of chip scale packages (CSPs) demonstrate that the maximum discrepancy is 9.8 mm with a standard deviation o( 1.5 mm in comparison with the test results obtained by using a Form Taly Surf instrument.
The automatic analysis of the wavefront of laser beam is simulated numerically, and is applied to get the wavefront of the output beam of LD-pumped cw Nd:YAG laser, experimentally. The automatic analysis tool was developed by utilizing Fourier analysis method, and its usefulness is proved through numerical simulation. The wavefront error due to the analysis tool is known to be less than A/30. In order to find the wavefront of Nd:YAG laser beam, its interference fringe is obtained from Mach-Zehnder interferometer. The wavefront calculated from the developed tool has the shape of nearly spherical wavefront and the maximum distortion is about 0.8 .A.. 8 .A..
Optical coherence elastography (OCE) is based on optical coherence tomography (OCT), which is a noninvasive, high-resolution, cross-sectional imaging technique. In this paper, we have developed dynamic optical coherence elastography to measure elasticity, a mechanical property of tissue, by phase difference. A piezoelectric actuator was used for sinusoidal mechanical loading of samples. Before applying this method to biomaterial, we assessed the feasibility of OCE with samples of sponge, eraser, and sharp lead. Cross-sectional and phase-difference images of the sample were obtained under sinusoidal loading. The strain rate was calculated from the phase-difference information. To obtain the envelope of the phase-difference oscillations along the horizontal direction, Hilbert transformation was performed at each depth. The elevation of the envelope was represented by color mapping, and we could measure the relative elasticity within the sample by comparing the elevations. Finally, there was an advantage when we calculated the shear rate using self-interference in the sample arm, instead of the interference between sample and reference arms.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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