• 제목/요약/키워드: 광진단

검색결과 42건 처리시간 0.03초

플라즈마 분광 진단 기술

  • 문세연
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
    • /
    • pp.94.2-94.2
    • /
    • 2016
  • 플라즈마 분광진단 기술은 기존 프로브와 달리 플라즈마에 섭동을 일으키지 않고, 전자온도, 밀도와 같은 플라즈마의 물리적 특성 진단과 함께 라디컬의 밀도와 같은 플라즈마의 화학적 특성을 진단할 수 있는 기술로 각광을 받고 있다. 본 발표에서는 레이저진단의 고급 진단을 제외한 플라즈마 변수 측정을 위한 플라즈마 방출 스펙트럼을 이용하는 방출분광진단과 흡수 스펙트럼을 이용한 흡수분광 진단에 대한 소개와 함께, 이를 이용한 플라즈마의 전자여기온도, 전자밀도, 전자회전온도, 기체온도 및 중성종의 절대밀도 온도 측정에 대한 기술과 실례를 소개한다.

  • PDF

광진단을 이용한 전자 에너지 분포 함수 변화 감지 알고리즘 개발

  • 박설혜;김곤호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
    • /
    • pp.131-131
    • /
    • 2010
  • 원자의 여기 및 천이에 의한 플라즈마에서의 빛 방출은 일차적으로 여기를 위한 특정 문턱값 이상의 에너지 공급이 전제 된다. 진공 플라즈마에서 대부분의 에너지 전달 과정은 전자와의 물리적 충돌에 의해 일어나므로 충돌 여기의 결과 발생한 광신호 세기는 전자 에너지 분포에 대한 정보를 내포하고 있다. 전자는 입자들 간의 에너지 전달 매개가 되는 동시에 플라즈마 구성 입자 중 가장 가벼워 빠르게 주변 환경 변화에 응답하여 열평형을 이루므로 EEDF는 플라즈마의 미세한 변동까지도 보여줄 수 있는 인자가 된다. 플라즈마의 열평형 이동에 관한 정보를 광신호로부터 EEDF의 형태로 추출해내기 위해 BEB (Binary - Encounter - Bethe) 모델을 근거로 충돌 반응 단면적을 함수로 나타내어 신호를 분석하였다. EEDF의 꼴을 $f(E)=AEexp(-E^b)$의 임의의 형태로 두고 아르곤의 427nm, 763nm 두 빛의 세기 비를 BEB 모델을 적용하여 전개한 결과 b factor 의 값을 구할 수 있었다. b factor 가 1인 경우는 Maxwellian, 2인 경우는 압력이 높은 조건에서 잦은 충돌에 의한 에너지 손실 때문에 고에너지 전자군이 현격하게 감소된 Druyvesteyn 분포를 의미하므로 광신호에 모델을 적용하여 얻은 b factor의 변화는 EEDF의 형태 자체의 변화가 감지되었음을 보여준다. 실제로 13.56MHz - 1kW ICP 장치에서 아르곤 플라즈마를 발생시켰을 때, 압력이 낮아 Maxwellian 분포가 예상되는 10mTorr 조건에서는 b=1.13, Druyvesteyn 분포에 가까워지는 100mTorr 조건에서는 b=1.502 로 관측되었다.

  • PDF

광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석 (Analysis on Variation Mechanism of the Plasma Process Using OES)

  • 박설혜;김곤호
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.31-31
    • /
    • 2011
  • 식각, 증착 등의 플라즈마 활용 공정에서 공정 결과들이 예상치 못한 편차를 보이거나 시간에 따른 공정 결과의 드리프트가 발생하는 등의 문제는 공정 수율 향상 뿐 아니라 공정 결과 생산하게 되는 제품의 성능을 결정짓는다는 점에서 중요하다. 그 결과 공정의 이상이 발생 되는 것을 감지하기 위한 다양한 장치 및 알고리즘들이 등장하고 있으나, 현재 공정 상태 변화를 진단하는 것은 공정 장치에서 발생된 신호 변동을 통계적으로 처리하는 수준에 머무르거나 플라즈마 인자들의 값 자체를 진단하는 정도에 그치고 있다. 본 연구에서는, 향후 물리적 해석을 기반으로 한 공정 진단을 위한 알고리즘을 세우는 것을 목표로 하여 공정 결과에 민감하게 영향을 주는 플라즈마 내부 전자의 열평형 상태의 미세한 변동을 감지하고 이를 통하여 공정 결과에 영향을 주게 되는 장치 내 물리적, 화학적 반응들의 변동 메커니즘을 이해하고자 하였다. 외부에서 감지하기 힘들기 때문에 장치 상태에 변동이 없는 것으로 보이지만 실제로는 변동하고 있는 플라즈마의 미세한 상태 변화를 보여줄 수 있는 물리 인자로는 잦은 충돌로 인하여 빠르게 변동에 대응할 수 있는 전자들의 열평형 특성을 살펴보는 것이 적합하다고 판단하여 광신호를 통해 전자 에너지 분포함수를 진단할 수 있는 모델을 수립하였다. 이 모델의 적용 결과를 활용하면 전자들의 열평형이 주변 가스 종의 반응율 변동에 주게 되는 영향을 해석할 수 있다. 실제로 ICP-Oxide Etcher 장치에서 장치 내벽 오염물질 유입 및 공정 부산물의 장치 내 잔여로 인하여 식각율로 표현되는 공정 결과에 최대 6%의 편차가 발생하게 되는 메커니즘을 해석할 수 있었다.

  • PDF

단메밀과 타타리메밀의 페놀화합물 함량 비교 (Phenolic Compounds in Common and Tartary Buckwheat)

  • 박병재;권순미;박종인;장광진;박철호
    • 한국작물학회지
    • /
    • 제50권spc1호
    • /
    • pp.175-180
    • /
    • 2005
  • 본 연구는 단메밀과 타타리메밀의 페놀성화합물의 함량을 측정하고 분석, 평가한으로써 생리활성 연구의 기초 자료와 건강기능성 식품소재 개발에도 이용될 수 있는 유용한 기초 자료를 얻고자 수행하였다. 1. 총 페놀의 함량은 타타리메밀 종자가 단메밀 종자보다 약 2배정도 높게 나타났다. 총 페놀 중의 플라보노이드 함량은 단메밀이 약 $50\%$, 타타리메밀이 약 $95\%$를 차지하고 있다. 단메밀과 타타리메밀의 총 페놀 및 플라보노이드 함량은 메밀쌀이 메밀껍질보다 높았으나, 단메밀의 플라보노이드 함량은 메밀껍질 더 높았다. 3. 단메밀의 rutin함량은 메밀껍질(25.2 mg/100g)>껍질을 벗기지 않은 종자(19.8 mg/100 g)>메밀쌀(12.8 mg/100 g)의 순으로 높았으나, 타타리메밀은 메밀쌀(2042.1mg/100g)>껍질을 벗기지 않은 종자(1375.8 mg/100g)>메밀껍질(138.7 mg/100 g)의 순으로 높게 나타났다. 식물체 부위별 rutin의 함량은 단메밀이 메밀싹>잎>줄기>종자의 순이고, 타타리메밀은 잎enli메밀싹>종자>줄기의 순으로 나타났다. 모든 부위에서 타타리메밀이 단메밀보다 높은 rutin함량을 나타냈다. 4. 단메밀과 타타리메밀 종자의 flavanols함량은 큰 차이를 보이지 않았으나, 잎, 줄기, 싹나물부위의 함량은 타타리메밀이 높은 경향을 보였고, 두 종의 flavonols의 함량도 단메밀보다 타타리메밀에서 월등히 높은 경향을 보였다. 5. 식물체 부위별 flavanols의 함량은 단메밀과 타타리메밀의 메밀싹>잎>줄기>종자의 순으로 높게 나타났다. 모든 부위에서 catechin> Epicatechin> Epicatechingallate의 순으로 높게 나타났으나, 메밀싹은 두 종 모두 Epicatechingallate의 함량이 종자의 약 $30\~40$배, 잎, 줄기보다 약 $15\~20$배가량 높았다.

모집단 부분정보가 주어진 상황에서의 분할표 독립성 검정 (Chi-Squared Test of Independence in Case that Two Marginal Distributions are Given Exactly)

  • 이광진
    • 응용통계연구
    • /
    • 제17권1호
    • /
    • pp.89-103
    • /
    • 2004
  • 2차원 분할표 형태의 자료에 대해 두 범주형 변수들간의 독립성을 검정함에 있어, 만일 두 변수 각각의 모분포가 이미 완전히 알려진 경우라면 이 알려진 정보를 충족할 수 있도록 분할표 자료를 보정한 후 보정된 분할표 자료에 대해 전통적인 카이제곱 검정법을 적용하는 것이 더 타당함을 논증한다 그리고 이에 근거한 제약상황 카이제곱 독립성 검정법을 유도하고 모의실험을 통해 전통적인 무보정 카이제곱 검정법과 비교한다.

가스발생기용 단일 스월 동축형 분사기의 추진제 분포 예측에 관한 기법 연구 (A study on prediction of propellant distribution of single swirl coaxial injector in gas generator)

  • 김종규;김인태;한영민;설우석;이광진
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국추진공학회 2004년도 제23회 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.205-209
    • /
    • 2004
  • 인젝터의 배열과 형상 변화는 연소실내에서의 미립화, 증발, 혼합, 화학반응 등을 변화시킴으로써 액체로켓엔진의 연소 조건과 열 교환에 영향을 준다. 본 논문에서는 연소실내의 다양한 현상 중 인젝터 배열이 혼합비 분포에 미치는 영향을 물리적 접근방법을 통하여 살펴보고 프로그램을 작성하여 혼합비 분포를 계산 하고자 하였다. 단, 예측 방법의 유도 과정에서 도입된 물리 현상의 단순화와 여러 가정으로 인해 본 방법의 적용성과 정확성에는 한계가 있으나 mechanical patternator 사용이 어려운 full scale 가스발생기나 연소기의 국부적인 혼합비 예측에 효과적인 활용이 될 수 있으리라 판단된다.

  • PDF

대표성분점수화법의 제안과 이의 타당성 및 활용성에 관한 연구 (Representative component scoring system and its validity and applicability)

  • 이광진
    • 응용통계연구
    • /
    • 제10권2호
    • /
    • pp.275-291
    • /
    • 1997
  • 직접측정이 불가능한 단일 상위목표개념을 직접측정이 가능한 관련 하위개념들을 이용하여 간접적으로 측정한 경우, 많은 연구자들이 비록 모호하나마 연구초기에 이해했던 목표개념과 관련개념들간의 관계를 자료분석의 단계에서 구체화하지 못하고, 목표개념의 점수화를 편의성에 의존한다거나 통계분석자에게 일임해 버리는 경향이 있다. 그러나 사용된 점수화 방법에 대한 객관성이 결여되면 그릇된 정보가 도출되거나 연구결과가 독자들로부터 수용되어지지 못할 수도 있다. 본 연구에서는 이러한 상황에서 측정이론에 충실하면서 목표개념의 조작적 정의를 어느정도 객관화할 수 있는 한 방법을 제안하고, 이에 바탕을 둔 대표성분점수화법의 타당성 및 활용성에 관해 연구하였다.

  • PDF