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고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성

  • 곽상현;이재빈;김형준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.193-193
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    • 2000
  • 박막 내의 잔류 응력은 막의 기계적 전기적 물성을 변화시키는 등 박막에 많은 영향을 끼치는 것으로 알려져 있다. 이러한 응력은 박막의 증착 공정중 여러 가지 증착 조건에 의해서 변화하게 되는데, 특히 스퍼터링 시스템의 경우에는 증착 압력과 사용하는 가스, 인가되는 전력 등 기본적인 증착조건들에 상당한 영향을 받는다. 이러한 영향은 금속 박막의 경우 상당히 잘 알려져 있다. 또한 반도체 공정에서 금속화 과정중 금속 전극의 단락등을 막기 위해 많은 연구가 진행되어 왔다. 본 논문에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템을 사용하여 산화 아연(ZnO)을 증착하고 여러 공정 변수들에 따른 응력의 변화를 관찰하였다. 실험에서 ZnO 타겟을 사용하였으며, 작동 가스로는 아르곤과 산소를 사용하였다. 증착한 박막들은 모두 압축 응력을 보였으며, 박막의 응력에 가장 큰 영향을 미치는 요소들은 압력, 산소와 아르곤의 비, 기판과 타겟과의 거리 등이었는데, 인가 전력에는 거의 영향을 받지 않았다. 일반적으로 스퍼터링 시스템에서의 압축응력은 atomic peening에 의해서 형성되는데, 박막을 두드리는 높은 에너지의 아르곤이나 산소의 유량과 에너지의 1/2승에 비례하는 것으로 알려져 있다. 그러나 본 시스템에서는 인가 전력을 높여도 응력이 증가하지 않았고, 타겟과의 거리를 줄이면 오히려 응력이 감소함을 보였다. 이는 박막의 응력이 peening 하는 입자의 에너지뿐만이 아니라 증착되는 물질의 증착 속도와도 밀접한 관련이 있음을 보여준다. 즉, 증착속도가 증가하면 peening하는 입자가 끼치는 응력의 효과가 반감되기 때문으로 수식을 통해 증명할 수 있었다.진탄화 처리시간을 변화시켰을 때 화합물층의 생성은 ${\gamma}$'상으로부터 시작되고 $\varepsilon$상은 즉시 ${\gamma}$'상을 소모하면서 생성되어 일정시간이 지난 후 $\varepsilon$상은 안정화되며 질소가스농도가 증가할수록 화합물 층내의 $\varepsilon$상분율은 역시 증가하였다. 한편 CH4 가스농도는 처리되는 강종에 따라 차이를 보이며 적정 CH4 가스농도를 초과시에는 $\varepsilon$상 생성은 억제되고 시멘타이트상이 생성되었다.e에서 발생된 질소 플라즈마를 구성하는 이온들의 종류와 그 구성비율을 연구하였다.여러 가지 응용으로의 가능성을 가지고 있다. 그 예로 plasma processing, plasma wave에 의한 입자 가속, 그리고 가스 레이저 활성 매질 발생 등이 있다. 특히 plasma processing의 경우 helicon plasma는 높은 밀도, 비교적 낮은 자기장, remote operation 등이 가능하다는 점에서 현재 연구가 활발히 진행되고 있다. 상업용으로도 PMT와 Lucas Signatone Corp.에 서 helicon source가 제작되었다. 또한 높은 해리율을 이용하여 저유전 물질인 SiOF의 증착에서 적용되고 있다. 이 외에도 다수의 연구결과들이 발표되었다. 잘 일치하였다.ecursor 분자들이 큰 에너지를 가지고 기판에 유입되어 치밀한 박막이 형성되었기 때문으로 사료된다.을수 있었다.보았다.다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인

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고온에서의 콘크리트 재료모델과 열거동해석 (Material Model and Thermal Response Analysis of Concrete at Elevated Temperatures)

  • 강석원;홍성걸
    • 콘크리트학회논문집
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    • 제13권3호
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    • pp.268-276
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    • 2001
  • 본 논문은 고온에서의 콘크리트 재료모델을 연구하였다. 콘크리트 응력-변형률 곡선은 온도가 증가함에 따라 그 형태가 변한다. 온도에 따른 콘크리트 재료거동의 변화를 나타내기 위하여 변형된 Saenz 제안식을 이용하여 응력-변형률 관계를 표시하였다. 고온에서의 급격한 변형률의 증가현상을 설명하기 위하여, 콘크리트의 변형률 성분을 순수 열팽창 변형률, 열적크리프 변형률, 과도 변형률 및 역학적 변형률로 구분하여 나타내었다. 열적크리프 변형률은 Baily-Norton의 장기크리프 곡선 식을 수정.제안하여 1축 실험 결과를 온도, 시간 및 응력의 함수로 표현하였고, 또한 유효응력 및 유효변형률 개념을 도입하여 다차원에서도 적용할 수 있는 모델을 제시하였다. 과도 변형률을 제안하여 다공탄성 거동을 가정한 콘크리트 내에 포함된 공극 및 수분의 작용을 역학적 거동의 영향을 분석하고자 하였다. 마지막으로, 본 논문에서 제시한 고온에서의 콘크리트 재료모델을 이용한 해석결과를 실제 화재실험자료와 비교하였다.

콘크리트 구조물의 내화설계 (Design of Fire-Resistance in RC Structure Buildings)

  • 김화중
    • 콘크리트학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.30-36
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    • 2002
  • 콘크리트가 화재에 노출될 경우 가열에 의한 재질의 노화 및 열팽창에 의한 열응력의 발생에 따라 주요구조부인 기둥 및 보에 큰 손상이 생기게 되어 그 내력은 크게 저하하게 된다. 철근 콘크리트 구조물의 화재 상황을 조사해 보면 (그림 1)과 같이 열응력에 의한 기둥의 전단파괴, 보의 휨파괴 및 부재의 폭열 등이 보여진다.(중략)

기계적 응력이 치주인대세포의 세포증식 및 세포주기 조절인자들의 발현에 미치는 영향 (Effect of Mechanical Stress on the Proliferation and Expression of Cell Cycle Regulators in Human Periodontal Ligament Cells)

  • 유형근;신형식;이진;민병무
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제29권3호
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    • pp.593-607
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    • 1999
  • 치주인대세포는 치주인대의 유지와 개조에 있어서 중요한 역할을 담당하는 섬유아세포성 세포로서, 세포에 가해진 여러가지 조건에 따라 다양한 표현형의 변화를 나타내는 것으로 알려져 있다. 기계적 응력은 치주인대세포의 세포증 식과 밀접히 연관되어 있는 것으로 알려져 있으며, 이는 세포주기 조절인자들의 발현을 증가 시킴으로써 이루어질 것으로 생각되나 그 자세 한 작용기전은 알려져 있지 않다. 그러므로 이 연구의 목적은 기계적 응력이 사람 치주인대세 포의 세포증식과 세포주기 조절인자의 발현에 미치는 영향을 연구하기 위하여 사람 치주인대 세포에 기계적 응력을 가한 후 세포증식을 관찰하고 , 세포주기조절인자들인 p 53 , $p21^{WAF1/CIP1}$ cyclin-dependent kinases(cdks), cyclins 및 proliferating cell nuclear antigen(PCNA)의 단백질 발현 변화를 연구하였다. 본 연구에 사용한 사람 치주인 대세포는 교정치료를 목적으로 발거한 건전한 사람 소구치의 치주인대로부터 explantation culture하여 얻은 후 계대배양을 시행하여 제6 계대의 세포를 사용하였다. 배양한 사람 치주인 대세포를 55-mm Petriperm dish당 $1{\times}10^4$ 개를 분주하고, dish당 1kg의 기계적 응력을 가하면서 12일동안 세포배양을 시행하였다. 사람 치주인대세포의 세포증식은 기계적 응력을 가한 후 8-12일 사이에 현저히 증가하였으며, PCNA 단백질의 발현은 기계적 응력을 가한 후 6-10일 사이에 현저히 증가하였다. 또한 기계적 응력은 사람 치주 대세포의 cdk4, cdk6, cdk2 및 cyclin D1 단백질의 발현을 다소 증가 시켰으나, p53 및 $p21^{WAF1/CIP1}$ 단백질의 발현은 큰 변화가 없었다. 이상의 결과 서 기계적 응력은 사람 치주인대세포 의 p53 및 $p21^{WAF1/CIP1}$ 단백질 발현의 변화 없이 cdks 단백질 발현을 증가시킴으로써 세포증식을 증가시키는 것으로 생각된다.

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공벽변형법에 의한 이방성 암반의 초기응력 측정에 관한 연구 - 횡등방성 암석에 대한 실험실 모형 실험 및 수치해석 (A study on the In-situ Stress Measurement of Anisotropic Rocks by Leeman Method - An Experimental and Numerical Simulation on Transversely Isotropic Rock)

  • 민기복;이정인;최해문
    • 터널과지하공간
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    • 제12권4호
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    • pp.237-247
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    • 2002
  • 암반의 이방성이 초기응력 측정결과에 미치는 영향을 살펴보기 위하여 현지암반의 응력 상태를 실험실에서 이축상태로 재현하여 초기응력 측정을 실시하였다. 이축가압장치는 플랫잭(flat jack)을 이용하여 제작하였으며, 등방성과 이방성 암석, 모르타르 및 인공이방성 암석 등 4 종류의 시료에 대하여 총 18회의 초기응력 측정을 실시하였다. 초기응력 측정 결과 이방성을 고려한 경우가 고려하지 않은 경우에 비해 최고 34%의 차이가 발생함으로써 이방성을 고려한 초기응력 측정이 필요함을 확인하였다. 또한 3차원 유한차분해석 프로그램인 FLAC 3D를 이용하여 오버코어링에 따른 응력개방곡선의 적합성에 대한 분석을 실시하여 실험실 모형실험의 결과가 수치해석에 의한 결과와 유사함을 확인하였다.

SA508 탄소강 및 오스테나이트 스테인리스강의 표면잔류응력에 미치는 기계가공효과 (Effects on Machining on Surface Residual Stress of SA 508 and Austenitic Stainless Steel)

  • 이경수;이성호;박치용;양준석;이정근;박재학
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제35권5호
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    • pp.543-547
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    • 2011
  • 원자력발전소의 이종용접부에서 일차응력부식균열이 발생하고 있으며 용접부의 잔류응력이 균열발생 및 성장에 기여할 수 있다. 용접부의 잔류응력은 기본적으로 용접에 의해 형성되지만 기계가공에 의해 표면잔류 응력상태가 변화할 수 있다. 본 논문에서는 기계가공이 원전재료인 SA508과 오스테나이트 스테인리스강에 표면잔류응력에 미치는 영향을 평가하였다. 이를 위해 SA508, TP304, F316L 재료를 연마, 연삭, 방전가공으로 가공한 후 표면에 형성되는 잔류응력을 측정하였다. 측정방법은 구멍뚫기법과 엑스선회절법을 사용하였다. 기계가공방법에 따라 각 재료에 미치는 잔류응력의 크기 및 방향, 잔류응력이 형성되는 깊이 등의 특성을 확인하였다.

응력완화 검사(stress relaxation test)에 의한 도토리묵의 물리적 특성 (Rheological Properties of Acorn Flour Gels by Stress Relaxation Test)

  • 김영아;이혜수
    • 한국식품조리과학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.53-56
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    • 1985
  • 6%, 8%, 10%의 도토리묵에 데여 응력완화검사 (stress relaxation test)를 실시하여 전형적인 응력완화곡선 (stress relaxation curve)을 구하였다. 연속잔차법 (successive residual method)을 사용하여 완화곡선을 분석한 결과, 도토리묵은 spring 하나에 Maxwell 모형이 세개인 7-element, generalized Maxwell model 로 해석할 수 있었다. 또한 도토리묵가루의 농도가 커질수록 도토리묵의 평형탄성율(E$_{e}$) 과 탄성율( $E_1$, $E_2$, $E_3$)이 증가하였다.

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목재(木材)의 섬유방향(纖維方向)에 경사(傾斜)진 균열의 혼합모-드파괴(破壞)에 관한 연구 (Mixed Mode Fracture of the Crack Inclined to the Grain Direction in Wood)

  • 이전제
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제17권4호
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    • pp.83-88
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    • 1989
  • 목재의 섬유방향에 경사진 균열의 모-드I과 모-드II의 혼합모-드파괴시의 파괴거동을 조사하기 위하여 라왕(Shorea Spp.)의 LA시스템에 있어서 서로 다른 경사각도를 가진 SEN시험편(Single edge notch specimen)에 대하여 휨 시험을 행하였다. 얻이진 결과는 혼합모-드파괴시, 모-드I응력확대계수$K_I$과 모-드II응력확대계수$K_II$간에 일정한 상호작용이 존재한다는 것을 나타내었다. 또한, 모-드I과 모-드II의 임계응력확대계수(Critical stress intensity factor) $K_{IC}$$K_{IIC}$ 이용하여 혼합모-드파괴시의 $K_I$$K_II$간의 상호관계를 규정할 수 있었으며, 이미 보고된 여러 실험식과 본 실험결과를 비교하여 가장 적합한 관계로서 아래와 같은 관계를 얻을 수 있었다.

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Vane 방법을 이용한 고추장의 항복응력 측정 (Yield Stress of Kochujang with Vane Method)

  • 장윤혁;유병승
    • 한국식품과학회지
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    • 제32권4호
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    • pp.974-978
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    • 2000
  • 다섯 종류의 시판 고추장에 대한 항복응력은 vane 방법에 의해 controlled shear-rate 조건에서 측정되었다. Vane 항복응력은 전단속도와 전단응력 데이터의 외삽법(extrapolation)에 의해 결정된 Casson 항복응력 보다 높은 수치를 보여주었다. 고추장의 구조가 손상되지 않은 시료와 이미 손상된 시료에 대해 vane 방법에 의해 정적항복응력$({\sigma}_s)$과 동적항복음력$({\sigma}_d)$이 각각 측정되었으며 큰 수치 차이로부터 고추장에 대한 구조파괴 정도를 결정하는 데 있어 vane 방법이 적합함을 알 수 있었다. ${\sigma}_{ov}({\sigma}_{s},\;{\sigma}_{d})$${\sigma}_{oc}$ 수치 사이에는 좋은 상관관계를 보여주고 있으며 ${\sigma}_{d}$ 수치는 외삽법에 의해 얻어진 ${\sigma}_{oc}$ 수치와 잘 일치함을 나타냈다. ${\sigma}_{s}$${\sigma}_{d}$의 비율로부터 얻어진 무차원 yield number$(N{\sigma}_{o})$는 고추장의 일시적 구조 존재여부를 결정하는데 사용될 수 있다. $N{\sigma}_{o}$로부터 계산된 fator ${\varepsilon}$의 수치$({\varepsilon}=0.100-0.169)$로부터 고추장은 강한 결착구조를 형성하고 있는 분산식품임을 알 수 있었다.

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