• 제목/요약/키워드: 과불화탄소

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키토산 전처리를 통한 과불화탄소 무함유 합성 스웨이드의 이염성 견뢰도 향상 (Improvement of Migration Fastness of Perfluorocarbons-free Synthetic Suede by Chitosan Pretreatment)

  • 이혜미;김아롱;김대근
    • 한국염색가공학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.258-267
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    • 2019
  • Synthetic suede without PFCs(perfluorinated compounds) are followed by subsequent high temperature treatment. But migration fastness of synthetic suede may be reduced due to sublimation of disperse dyes that results from the high temperature treatment. Therefore, in this study, chitosan treatment was used to improve the migration fastness before polyurethane dipping process. Polyester fiber was treated with sodium hydroxide aqueous solution before chitosan processing. This samples treated with a chitosan concentration upto 0.5% were dyed and coated with PUD(polyurethane dispersion). The migration fastness was most improved at 0.35% application. This is presumably due to the fact that the chitosan may increase the dye-binding capability through intermolecular hydrogen bonding.

과불화탄소 제거를 위한 플라즈마 워터젯 스크러버 개발 (Development of a Plasma Waterjet Scrubber for the Reduction of PFCs)

  • 이채홍;전영남
    • 한국대기환경학회지
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    • 제26권6호
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    • pp.624-632
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    • 2010
  • Perfluorocarbons (PFCs) are widely used in semiconductor industry. These gases need to be removed efficiently because of their strong absorption of infrared radiation and long atmospheric lifetimes which cause the global warming effect. To destruct $CF_4$, a waterjet gliding arc plasma was designed and manufactured. The highest $CF_4$ destruction showed at waterjet plasma case, compared to plasma discharge only or water scrubber only, respectively. In addition, it could be known that the $CF_4$ destruction should be associated with the electron and OH radicals. The operating conditions such as waterjet flow rate, initial $CF_4$ concentration, total gas flow rate, specific energy input were investigated experimentally using a plasma waterjet scrubber. Through the parametric studies, the highest $CF_4$ destruction of 94.5% was achieved at 0.2% $CF_4$, 2.1 kJ/L SEI, 20 L/min total gas flow rate and 18.5 mL/min waterjet flow rate.

전해응집법에 의한 불화수소 함유 워터젯 플라즈마 폐수처리 (Removal of Hydrogen Fluoride from Waterjet Plasma Wastewater by Electrocoagulation)

  • 이채홍;전영남
    • 대한환경공학회지
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    • 제34권10호
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    • pp.702-708
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    • 2012
  • 사불화탄소($CF_4$)는 반도체 제조공정에서 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. $CF_4$는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 또한 불화수소를 포함한 폐수는 지하수 오염의 원인이 된다. 과도한 불소를 포함한 물을 장기간 섭취는 치아와 뼈에 문제를 야기한다. 워터젯 플라즈마를 이용하여 $CF_4$를 분해 후 생성되는 부산물 중 HF에 의하여 폐수가 생성된다. 이 폐수를 알루미늄 전극을 사용한 전해응집을 이용하여 폐수 중 HF를 제거 할 수 있는 시스템을 개발하였다. 실험 변수로는 초기 pH 변화, 반응 시간 변화, 주입유량 변화, 전류 밀도 변화를 실험하였다. 변수 실험을 통하여 초기 pH는 3.5, 반응 시간은 10 min, 주입 유량은 10 mL/min, 전류 밀도는 $159A/m^2$일 때 HF 제거율은 최고 85%까지 도달하였다.

전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 삼불화질소($NF_3$) 분해 (Destruction of $NF_3$ Emitted from Semiconductor Process by Electron Beam Technology)

  • 류재용;최창용;김종범;이상준;김승곤;곽희성;윤영민
    • 대한환경공학회지
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    • 제34권6호
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    • pp.391-396
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    • 2012
  • 전자빔을 이용하여 반도체 공정에서 배출되는 $NF_3$ 가스 분해 연구를 수행하였다. 본 연구에서 흡수선량은 0에서 400 kGy 범위였고, 전류강도는 0~20 mA범위였다. 또한, 처리 대상 가스의 농도 범위는 500~2,000 ppm이었다. 그리고 조사시간의 영향을 알기 위해서, 조사시간을 각각 5초, 10초, 15초, 20초 등으로 달리 하면서 실험을 수행하였다. 흡수선량 및 전류 강도가 증가할수록 가스의 분해효율은 증가하였다. 하지만 처리 대상가스의 농도가 증가할 때는 분해효율이 감소함을 알 수 있었다. 흡수선량이 약 400 kGy일 때 처리가스의 분해효율은 약 90% 정도를 나타내었다.

기후변화의 풍속과 일조시간 양생조건에 따른 콘크리트 탄산화 성능중심평가 (Performance Based Evaluation of Concrete Carbonation from Climate Change Effect on Curing Conditions of Wind Speed and Sunlight Exposure Time)

  • 김태균;신재호;최승재;김장호
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제19권5호
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    • pp.45-55
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    • 2015
  • 현재 전 세계적으로 자연적, 인위적 요인으로 인하여 이상기후가 나타나고 있다. 이상기후의 대표적인 것으로 슈퍼태풍, 극한폭설, 폭염과 같은 극한 기후현상이 초래된다. 1970년대 산업화 시대 이후 급격하게 지구의 온도가 상승하는 것을 알 수 있으며, 이로 인하여 발생하는 가장 큰 문제점은 지구 온난화이다. 지구 온난화에 영향을 미치는 온실가스의 종류로는 이산화탄소, 과불화탄소, 아산화질소, 메탄과 같은 다양한 종류의 화학성분이 존재하며 특히 이산화탄소가 약 90%의 비중을 차지하는 것을 알 수 있다. 콘크리트의 경우 건설재료로써 탁월한 내구성능을 지니고 있으며, 사회기반시설물 건설 재료로 70%이상 사용되고 있다. 그러나 콘크리트는 타설직후 물리 화학적으로 다양한 환경조건으로부터 성능저하 현상이 발생하기도 한다. 특히 대기중의 이산화탄소는 콘크리트 알칼리도 저하에 따른 철근을 부식시키고 내구성 저하를 초래하게 된다. 따라서 본 연구에서는 풍속, 일조시간에 관하여 양생 한 후 콘크리트의 탄산화 실험을 접목시켜 탄산화 깊이와 탄산화 속도계수를 측정하고 이를 바탕으로 만족도 확률 곡선을 통하여 성능중심평가(Performance Based Evaluation(PBE))를 수행 할 것이다.

반도체 공정에서 발생하는 유해물질 제거를 위한 흡착 및 촉매 공정에 대한 고찰 (Reviews on Adsorption and Catalyst Technology for Removal of Hazardous Substances from Semiconductor Process)

  • 윤성진;김유진;강유진;장민혁;조형근;한경재;서동진;조혜령;박주일
    • 유기물자원화
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    • 제30권4호
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    • pp.51-57
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    • 2022
  • 본 논문은 반도체 공정에서 발생하는 유해물질의 제거기술들 중 촉매식과 흡착식에 대해 알아보았다. 반도체 산업이 발전함에 따라 반도체 공정에서 세척을 위해 사용되어 배출되는 유해물질 또한 증가하고 있다. 유해물질들은 지구 환경에 대기, 수질적으로 악영향을 준다. 21세기에 들어서면서 유해물질 배출에 대한 규제가 강화됨에 따라 향후 산업발전에 한계가 생길 것으로 예상된다. 따라서 반도체 공정에서 발생되는 유해물질의 제거기술이 반드시 필요하다. 본 논문에서는 흡착기술과 촉매기술을 통해 유해물질인 PFCs의 제거를 목표를 두고 정리하였다. 반도체 공정에서부터 생성되는 유해물질이 제거되는 기술까지의 설명을 집약하였다.