• Title/Summary/Keyword: 공정 예측

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Development of Closed Drift Type Linear Ion Source for Surface Modifications

  • Lee, Seung-Hun;Kim, Jong-Guk;Kim, Chang-Su;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.208-208
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    • 2011
  • 최근 유연기판 기술을 기반으로 대면적 roll to roll 공정기술 개발이 활발히 연구됨에 따라 이에 적용 가능한 대면적 플라즈마 소스의 중요성이 대두되고 있다. 대면적 플라즈마 처리 공정에 적용 가능한 소스 중 closed drift 타입의 선형 이온 소스는 제작 및 대면적화가 용이함에 따라 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 선형 이온 소스를 다양한 표면처리 공정에 효과적으로 적용하기 위해서는 방전 특성에 대한 이해를 바탕으로 각 공정에 맞는 이온빔 전류 밀도, 방전 전압 등의 방전 인자 조절이 필수적이다. 본 연구에서는 표면 개질, 식각 및 박막 증착 등의 다양한 분야에 활용 가능한 선형 이온 소스를 개발하였으며, 선형 이온 소스를 통한 표면 식각 공정을 집중적으로 연구하였다. 전극 및 자기장 구조에 따른 선형 이온 소스 내 플라즈마 방전거동 분석을 위해 object oriented particle in cell(OOPIC) 전산모사를 수행하였으며, 이를 통해 식각 또는 증착 공정에 적합한 이온 소스의 구조 및 공정 조건을 예측하였다. 또한 OOPIC 전산모사를 통해 예측된 이온빔 인출 경향을 Faraday cup을 이용한 이온빔 전류 밀도 측정을 통해 확인하였다. 실리콘 기판 식각 공정의 경우, 이온 전류밀도 및 에너지에 따른 식각 거동 분석, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각 특성 분석을 통해 최적 식각 공정 조건을 도출하였다. 특히, 이온빔 입사각 변화에 따른 식각률 변화는 일반적으로 알려진 입사각에 따른 스퍼터링율과 유사한 경향을 보였다. 이온빔 에너지 3 kV, Ar 압력 1.3 mTorr 조건에서 기판 정지 상태시 약 8.5 nm/s의 식각 속도를 얻었다.

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Web-based Remote Management and Control System for the Piggery Wastewater Treatment Plant (축산폐수처리플랜트를 위한 웹기반 원격관리 및 제어 시스템)

  • 서현용;배현;전병희;김창원;김성신
    • Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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    • 2002.12a
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    • pp.447-450
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    • 2002
  • 본 논문에서는 통합 관리 시스템을 이용하여 현재 김해에 있는 플랜트의 공정상태를 모니터링하고, 퍼지와 신경망을 이용하여 플랜트로부터 얻을 수 있는 데이터를 모델링 함으로써 공정의 상태를 미리 예측이 가능하도록 구성하였다. 이러한 예측된 모델을 이용하여 제어 전략을 설계함으로써 최적화된 제어 파라미터를 찾을 수 있으며, 특히 비정상적으로 들어오는 데이터에 대해서는 플랜트의 공정상태를 진단할 수 있는 가능성을 보이고 있다. 또한 기존의 통합 관리 시스템을 관리자라면 누구나 장소에 구애받지 않고 플랜트의 공정상태를 모니터링 할 수 있도록 웹을 이용하여 개발함으로써 플랜트의 능률성과 효율성 향상 및 인건비 절약 등 플랜트의 효율을 개선시킬 수 있다 즉, 네트워크가 구축되어 있는 곳이면 어디서나 모니터링이 가능하도록 시스템을 설계하였다.

Model Predictive Control of the Melt Index in High-Density Polyethylene(HDPE) Process (고밀도 폴리에틸렌 공정의 Melt Index 모델예측제어에 관한 연구)

  • Lee, Eun Ho;Kim, Tae Young;Yeo, Yeong Koo
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.46 no.6
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    • pp.1043-1051
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    • 2008
  • In polyolefin processes melt index (MI) is the most important controlled variable indicating product quality. Because of the difficulty in the on-line measurement of MI, a lot of MI estimation and correlation methods have been proposed. In this work a new dynamic MI estimation scheme is developed based on system identification techniques. The empirical MI estimation equation proposed in the present study is derived from the $1^{st}$-order dynamic models. Effectiveness of the present estimation scheme was illustrated by numerical simulations based on plant operation data including grade change operations in high density polyethylene (HDPE) processes. From the comparisons with other estimation methods it was found that the proposed estimation scheme showed better performance in MI predictions. Using the model predictive control method based on the present dynamic MI estimation model, MI values are estimated and compared with those of MI setpoints. From the numerical simulation of the proposed control system, it was found that significant reduction of transition time and the amount of off-spec during grade changes were achieved.

Dynamic thermal properties of particulate foods in a continous flow cooking system (연속살균장치에서의 소고기 정육면체의 열전달특성 측정)

  • 홍지향;한영조;고학균
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 1999.12a
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    • pp.523-530
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    • 1999
  • 연속살균장치는 $130^{\circ}C$에서 $140^{\circ}C$의 초고온에서 연속적으로 식품을 열처리 하는 공정으로 재래 배치식 공정에 비하여 순간적인 짧은 시간이 소요되는 경제적인 공정이나, 액상과 고상으로 구성된 저산도 식품은 고상입자의 대류열전달 계수와 장치내 체류시간이 정확히 구명되지 않아서 연속살균기술이 성공적으로 적용되지 못하고 있다. 본 연구에서 연속살균장치에서의 액상식품과 고상식품사이의 대류열전달 계수를 예측하기 위하여 연속살균장치의 Hold tube에서 정육면체 모델 식품내부의 온도를 측정할 수 있는 장치를 개발하였다. 연속살균장치의 홀드튜브에서 정육면체 모델 식품의 온도변화를 예측할 수 있는 유한차분법을 이용한 시뮬레이션 모델을 개발하고 소고기를 대상으로 이 시뮬레이션 모델의 입력변수인 비열, 열전도도를 실험적으로 측정하여 사용하였다. 0.0에서 15.0 centipoise의 점도를 가지는 모델 액상식품의 15.6에서 45.2liter/min 의 유속에 대하여 액상과 소고기 정육면체의 대류열전달계수는 792에서 2107W/$m^2$K으로 예측되었다.

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A Study On the technique of Tank use ratio Prediction in Petrochemistry process (석유화학공정 탱크사용을 예측기법 연구)

  • Sim, Hyun;Lee, Gyu-Soo;Oh, Jae-Chul
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.10a
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    • pp.237-238
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    • 2007
  • 국내 산업현장에서 공장시스템들을 효율적이고 유기적으로 연결시키기 위해서 산업네트워크인 산업용 프로토콜을 활용한다. 그중에서도 국내 굴지의 석유화학 공정에서는 Modbus Protocol을 사용하고 있다. 하지만 이에 대한 연구가 국내에서는 매우 열악하여 제대로 된 정보를 찾기 힘들다. 이에 국내 산업환경에서 활용하는 모드버스 프로토콜을 개선하여 이를 현장에 적용하는 연구를 하게되었다. 이전 연구에서는 모드버스 프로토콜 개선을 위해서 캐쉬 기법을 적용하여 탱크 데이터 처리 시간을 단축시키는 결과를 도출하였으며 이를 이용하여 석유화학 공정 탱크의 교체시기를 판별하였다. 이번에는 모드버스 캐쉬 기법을 이용하여 탱크사용 예측과 하드닝 기법을 적용한 탱크 테이터예측 알고리즘을 설계하고 이를 시뮬레이션 결과를 소개하고자 한다.

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Real-time plasma condition estimate model based on Optical Emission Spectroscopy (OES) datafor semiconductor processing (반도체공정을 위한 OES 데이터 기반 실시간 플라즈마 상태예측 모형)

  • Hee Jin Jung;Jin Seung Ryu
    • Annual Conference of KIPS
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    • 2023.11a
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    • pp.341-344
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    • 2023
  • 건식 반도체 공정에서 저온플라즈마를 일정한 상태로 유지하는 것은 반도체 공정의 효율을 높이기 위해서 매우 중요한 문제이다. 그러나 저온플라즈마 반응로를 진공상태로 유지해야하기 때문에 플라즈마의 상태를 예측하는 작업은 매우 어렵다. 본 연구에서는 OES 센서에서 수집된 데이터를 이용하여 플라즈마의 상태를 예측하는 모형을 개발하였다. 질소가스를 이용한 플라즈마 반응로에서 15개의 서로 다른 플라즈마를 생성하여 OES 데이터를 수집하였고 15개 플라즈마의 상태를 분류할 수 있는 Gaussian Mixture Model(GMM)을 개발하였다. 총 7,296개 파장에서 측정된 분광강도(intensity)를 주성분분석(Pricipal Component Analysis)를 통해 2개의 주성분으로 차원 축소하여 GMM 모형을 개발하엿다. 모형의 정확도는 약 81.72%으로 플라즈마의 OES데이터에 대한 해석력은 뛰어났다.

An Efficient Downlink Fair Scheduling Scheme Based on the Channel State Prediction in an OFDMA-TDD System (OFDMA-TDD 환경에서 채널상태 예측 기반의 효율적이고 공평한 하향링크 스케줄링 기법)

  • Kim Se-Jin;Park Chul-Min;Lee Hyong-Woo;Cho Choong-Ho
    • Annual Conference of KIPS
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    • 2006.05a
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    • pp.1057-1060
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    • 2006
  • 본 논문에서는 OFDMA-TDD 환경에서 서비스 사용자들에게 QoS 를 보장해줄 수 있도록 예측 알고리즘을 이용하여 한정된 무선 자원을 효율적이고 공정하게 스케줄링 해주는 알고리즘을 연구하였다. 예측 알고리즘은 각 사용자의 이동 정보와 단말들의 변화해온 채널상태의 history data 를 이용하여 앞으로의 채널상태를 예측하고, 예측된 결과는 사용자의 이동 정보와 함께 무선 자원 스케줄링에 적용한다. 또한 이동단말과 고정단말이 공존하는 환경에서는 QoS 보장에 있어 공정하지 않음을 밝히고, 이와 같은 문제를 해결하는 방안을 제안하였으며, 실험결과를 PF 알고리즘과 비교하였다.

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방음시설의 구조결정을 위한 차음효과예측의 문제점과 해결방안

  • 조기호
    • Journal of KSNVE
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    • v.4 no.4
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    • pp.413-424
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    • 1994
  • 본 글에서는 도로교통소음을 예측할 경우; 소음영향평가시 계획한 도로변에 방음시설물의 설치여부를 결정할 경우, 그리고 방음시설을 설치할 경우에 그 방음 시설의 구조와 설치기준을 결정하기 위하여 적용할 수 있는 방음시설물에 의한 차음 효과예측법의 문제점과 해결방안을 언급하였다. 방음시설물의 종류와 구조 그리고 그 설치범위 등을 정확하고 공평하게 그리고 경제적으로 결정하기 위해서, 특히 환경영향 평가가 공정하게 실시되기 위해서는 국가에서 방음시설물 설치기준과 정밀 한 차음효과 예측법을 하나의 통일된 규정으로 확정하여야 한다. 이를 위해서는 본문 에 언급한 요소들을 참조하여 기존의 방음벽설치 지침을 대폭적으로 수정.보완하여야 한다. 그러나 보다 정확한 예측과 실세계에 근접한 소음값을 계산하기 위해서는 소음 원과 소음전파 공간환경의 특성을 고려한 연구가 계속적으로 이루어져야 한다. 그리고 도로교통소음을 공정하게 예방하기 위해서는 조속한 시일내에 이에 적합한 대상지역별 도로교통소음예방 규제기준값을 법규에 명시하여야 하고, 현재 교통로 주변에 주택을 건설하는 경우에는 사업자가 택지로 확보한 부지안에 설치하고 있는 방음벽은 최대한 소음원에 근접하여 교통로변에 설치할 수 있도록 관련규정을 개정 하여야 한다.

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Prediction of Residual Stress Caused by IML Process and Deformation Due to Thermal Impact (IML 성형과정에 따른 잔류응력 및 열 충격에 의한 변형 예측)

  • Lee, Jae-Won;Jang, Eu-Gene;Shin, Seung-Won;Park, Seung-Ho;Chung, Ha-Seung
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.34 no.3
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    • pp.375-382
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    • 2010
  • In this study, we developed a method to predict the residual stress distribution and thermal deformation caused by in-mold labeling (IML) processes. IML is one of the injection molding processes for injecting a material into a cavity and subsequently inserting a decorated film. The IML process can yield products with decorations of outstanding excellent quality in only one working step. Although the IML process has various advantages, it causes defects such as film delamination, wash-out, and flow marks. In particular, deformation is considered to be a major concern in terms of delamination. To validate the model, the deformation predicted by using a numerical model was compared with experimental results, and both results showed good agreement. We verified that the developed method can be used to obtain the design guidelines for preventing delamination in the initial design stage of the IML process.

Development of a Forecasting Model for Refinery Crude Column Overhead Corrosion Control (원유 증류 공정 탑 상부의 부식 예측 모델 개발)

  • Kim, Seung-Nam;Kim, Jung-Hwan;Moon, Il
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.35 no.2
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    • pp.143-148
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    • 2011
  • Corrosion at the top of a distillation column is a common problem in refineries and chemical plants. In particular, severe damage has been inflicted in refineries by corrosive materials such as hydrogen sulfide and chlorine. Therefore, the mechanism of the corrosion occurring at the top of a distillation column has been analyzed, and a model for forecasting the corrosion rate has been developed. Four major materials were selected for modeling: $H_2S$, $CO_2$, $H^+$ and $Cl^-$. These were selected by taking into consideration their effect on the corrosion rate. Studies on the transport phenomenon and reaction engineering for this model were carried out, and the reliability of the model was verified on the basis of the data measured at a real refinery.