• 월간경쟁저널
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• 35호
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• pp.15-18
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• 1998

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2007년도 심포지엄 논문집 정보 및 제어부문
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• pp.177-178
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• 2007

플라즈마 공정은 집적회로 제작을 위한 미세 박막의 증착과 패턴닝에 핵심적으로 이용되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마공정감시와 제어에 응용될 수 있는 모델을 제안한다. 본 모델은 광방사분광기 (Optical emission spectroscopy-OES)정보와 역전파 신경망을 이용해서 개발하였다. 제안된 기법은 Oxide 식각공정에서 수집한 데이터에 적용하였으며, 체계적인 모델링을 위해 공정데이터는 통계적 실험계획법을 적용하여 수집되었다. Raw OES 정보대신, Actinometric OES 정보를 이용하였으며, 신경망의 예측성능은 유전자 알고리즘을 이용해서 증진시켰다. OES의 차수를 줄이기 위해 주인자 분석 (Principal Component Analysis-PCA)을 세 종류의 분산(100, 99, 98%)에 대해서 적용하였다. 최적화한 모델의 예측에러는 323 $\AA/min$이었다. 이전에 PCA를 적용하고 은닉층 뉴런의 함수로 최적화한 모델의 예측에러는 570 $\AA/min$이었으며, 개발된 모델은 이에 비해 43% 증진된 예측 성능을 보이고 있다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2004년도 추계학술발표논문집(상)
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• pp.733-736
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• 2004

본 논문에서는 Oracle과 JSP(Java Stored Procedure)를 이용하여 생산공정 및 실적현황을 보고하고 작업지시가 가능한 온라인 시스템을 개발하였다. 현장과 사무실을 위한 정보전달매체로 LED 전광판을 활용하였다. 기존 전광판을 이용한 시스템에서는 고정된 형식의 정보만을 제공하였으나, 본 논문에서 구축한 시스템은 실시간으로 정보의 내용과 형식을 수정할 수 있다. 이 시스템은 RS6000상에서 Oracle9i와 자바로 개발되었고, 각 전광판과 생산라인에 설치된 조작대는 TCP/IP로 통신한다. 이를 통해 공정감시 및 실적현황 보고를 DBMS에서 통합 관리하며 실시간으로 작업자와 관리자에게 정보를 제공한다.

• 정보처리학회논문지D
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• 제11D권2호
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• pp.453-460
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• 2004

본 논문에서는 I/O 인터페이스 제어 보드와 ISA 인터페이스 제어 보든 그리고 레고 기반의 프로토타이핑(Prototyping)을 통해 실시간 신발 공정 컨베이어 제어를 위한 원격 감시 및 제어 시스템을 구현하였다. 컨베이어 서버에서 실시간으로 공정을 제어하기 위하여 작업의 우선권을 사용자가 정할 수 있는 RTLinux(Real-Time Linux)를 사용하였으며, RTLinux 기반으로 디바이스 드라이버를 작성하였다. 이를 통해 Client/Server 분산 환경 시스템의 구현 및 테스트를 하며, JMF(Java Media Framework) 기반의 모니터링 시스템을 구현하여 전체 공정 상황을 확인하였다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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• pp.93-94
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• 2011

플라즈마 감시를 위한 신경망 진단 모델을 개발한다. 이를 위해 광반사분광기, 웨이브릿, 주인자 분석, 그리고 신경망이 이용되었다. 플라즈마 식각공정데이터에 적용하여 비교 평가한 결과 모델의 예측성능이 식각특성, 분산비율, 그리고 웨이브릿의 종류에 따라 다름을 확인하였다. 개발된 모델은 웨이퍼 단위의 플라즈마 감시시스템의 개발에 응용될 수 있다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.169-170
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• 2007

본 연구에서 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피이던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피이던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. CUSUM 설계변수에 따른 감시와 진단성능을 평가하였으며, 최적화된 설계변수의 결정으로 감시와 진단성능을 증진시킬 수 있었다. 한편, 고정설계변수에 비해 가변 설계변수가 감시성능을 증진하느데 더 효과적임을 알 수 있었다. 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 500 W, 압력이 15 mTorr, $O_2$ 유량이 75 socm일 때 수집하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1994년도 추계학술대회 논문집
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• pp.20-25
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• 1994

절삭공정의 자동화의 무인화를 달성하기 위해서는 경험을 가진 작업자의 역활이 컴퓨터에 의한 자동적인 감시 및 제어시스템으로 대체되어야 한다. 특히 공작기계에서 발생할 수 있는 자체의 고장이나 절삭과정중에 발생하는 이상상태를 실시간으로 검출하여 원인을 자동적으로 진달 할 수 있어야 한다. 절삭가공 공작기계의 이상상태 감시 및 진단의 현황을 살펴보면 주로 공구상태의 감시와 채터 감시가 연구의 대상 이 되고 있다. 공구상태의 감시는 공구의 마모와 파단을 검출하고 있다. 이 중에서 공구의 파단은 발생 즉시 실시간으로 감시되어야 한다. 밀링작업에서는 1회전 이내의 공구회전에 파단을 검출하고 기계를 정지시켜야 한다. 최근의 절삭가공에서는 절삭공구로 강력절삭을 위해 고경도 재료를 사용함에 따라 공구의 파단이 빈번하게 발생하고 있다. 정면밀링과 같은 단속절상에서는 절삭날이 큰 충격을 받으므로 더욱 파단에 대한 감시가 필요하다.

• Journal of Welding and Joining
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• 제18권3호
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• pp.32-40
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• 2000

• 한국가스학회지
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• 제23권4호
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• pp.19-27
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• 2019

세계 환경규제가 강화되면서 액화천연가스의 사용량이 지속해서 증가하고 있다. 안정적이고 효율적인 액화천연가스 생산을 위해서는 운전 조건을 세분화하여 감시하는 시스템 구축이 필수적이다. 본 연구에서는 천연가스 액화플랜트 성분 분리공정을 해석하여 구축한 동적 모델 데이터를 대상으로 다중 모드 감시시스템 개발 방법을 제안하였다. 먼저 전체 정상 데이터를 주성분분석과 k-평균 군집화 방법론을 사용하여 다중 정상 운전 모델로 구분하였다. 그 다음, 새로운 데이터 값을 k-최근접 알고리즘으로 구축된 다중 정상 모드와 매칭하였다. 마지막으로, 다중 모드 주성분분석 감시 기법을 통해 공정 데이터의 이상 여부를 판별하였다. 제시된 방법론은 45가지 이상경우에 적용하였고, 기본 주성분분석 방법론과 단변수 감시 방법론과의 비교를 통해 속도와 정확도 지표에서 평균 약 5~10%이상 우수함을 입증하였다.

• 월간경쟁저널
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• 29호
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• pp.35-44
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• 1998

공정거래위원회는 지난 ''97년 12월 29일 1998년도에 적용될 시장지배적사업자로 128개 품목의 311개 사업자(순사업자:188개)를 지정하고 ''98년 1월 1일부터 시행에 들어갔다. ''98년도에는 ''97년도 지정품목 및 사업자 중 13개 품목, 50개 사업자가 신규로 지정된 반면 14개 품목, 45개 사업자가 지정제외되어 지난해인 ''97년도에 비해 시장지배적사업자는 5개 증가한 반면, 시장지배적품목은 1개가 감소하였다. 이번에 공정위가 시장지배적품목 및 사업자의 변동상황을 분석한 결과, ''98년도에 신규로 시장지배적품목으로 지정된 품목은 주로 매출액의 증가에 따른 자연증가가 많았던 반면, 지정제외품목은 대부분 시장집중도 완화에 기인하고 있는 것으로 나타났다. 또한 시장지배적품목으로 계속 지정된 품목의 경우에도 사업자간의 시장점유율 순위와 상위 3사가 변동한 품목이 $32.3\%$에 달한 것으로 나타나 전반적으로 시장경쟁이 촉진되고 있는 것으로 분석되었다. 시장지배적품목의 시장집중도의 경우에는 1사 지배품목의 수와 3사 지배품목 중 $90\%$ 이상의 고집중품목의 수가 감소한 것으로 나타났다. 공정위는 앞으로 시장지배적사업자에 대하여는 최근의 경제상황을 감안하여 물가와 민생안정에 역점을 두고 공정거래법을 집행해 나갈 계획으로 있다. 이를 위해 가격남용, 출고조절, 공동행위 등 물가안정을 저해하는 시장지배적사업자의 법위반행위에 대한 감시를 강화하고, 특히 휘발유, 맥주, 라면 등 물가와 서민생활에 큰 영향을 미치는 독과점품목에 대하여 철저히 감시할 계획이며, 독과점시장 구조개선시책의 일환으로 ''96년부터 추진하고 있는 26개 우선개선대상품목의 경쟁촉진방안을 적극적으로 추진할 계획으로 있다고 밝혔다.