• 제목/요약/키워드: 공압 제진 장치

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반도체 생산에서 진동 제어를 위한 전자기 에어 스프링 (An Electro-magnetic Air Spring for Vibration Control in Semiconductor Manufacturing)

  • 김형태;김철호;이강원;이규섭;손성완
    • 한국소음진동공학회논문집
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    • 제20권12호
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    • pp.1128-1138
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    • 2010
  • 정밀 방진에서 전형적인 문제로 고하중으로 인한 저주파 공진 특성이 있다. 전자기 에어 스프징은 진동 제어 장치이자 능동형 방진 장치이다. 이 연구에서 전자기 에어 스프링은 반도체 생산을 위한 저주파 공진을 제거하는 것을 목적으로 한다. 능동형 방진 장치로 기계 및 전가 부분은 2.5톤의 하 중에 작동되도록 설계하였다. 전자기 스프링은 탄성 공압 챔버 내에 공기압을 이용하여 띄우고, 전자기 된 시스템에 의하면 공진 주파수 영역에서 제어 시간 및 최고 피크가 상당히 줄어들었고, 그 결과 피동형 시스템 상의 고유 진동에 의해 발생되는 공진을 피할 수 있음을 보였다.

대형 멀티 전자기 가진 시스템의 구성 및 설계 (Configuration and Design of the Large Multi-Electromagnetic Shaking System)

  • 우성현;김홍배;문상무;김영기;임종민
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.618-622
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    • 2004
  • The vibration test system of SITC(Satellite Integration and Test Center) at KARI(Korea Aerospace Research Institute) has been used successfully for the environmental tests of a majority of korean space programs, such as KOMPSAT, Koreasat KITSAT, STSAT and KSR program since 1996. To meet the recent needs of large size test facility available for the vibrational tests of the huge launch vehicles and tole-communication satellites which will be developed in the near future, KARI undertook to construct the large size multi-electromagnetic shaking system with 3 $\times$ 3m head expander system. The new system will consist of three electromagnetic shakers which has 160 kN thrust force individually, and be able te sustain up to 8 tons test load and 300 kNm overturing moment. And to avoid the tremendous cost and effort to furnish the seismic block with large size and weight, it will adopt a Lin-E-Air type configuration with which the seismic block is less severe than a Solid-Truninon type. In addition, to fulfill the strong requirement of high overturning moment the additional guidance system including a central bearing system on a central support and several pad bearings around the head expander body is now considered. This paper describes the configuration and the design parameters of the multi-shaking system which is under development by KARI's engineers.

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