• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.29 no.1
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• pp.114-120
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• 2012

We present a simple and low-cost method to fabricate poly(methyl-methacrylate) (PMMA) nanochannels with various shapes by combining the standard optical lithography with a PMMA layer transfer and collapse technique. We utilized PMMA membrane reflowing/collapsing phenomena into microchannels to fabricate nanochannels at both corners of arbitrarily-shaped microchannels. This allows nanochannels with various shapes such as curved nanochannels as well as straight nanochannels to be easily fabricated since the shape of the microchannel determines the shape of the nanochannels. This nanochannel fabrication method is simple, flexible, and low-cost since the standard optical lithography with low-resolution optical masks can be used to fabricate nanoscale channels as small as 100 nm wide with various shapes. Also, the sealing of nanochannels can be naturally achieved while the nanochannels are formed through the polymer layer transfer and collapse.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2008.10a
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• pp.596-599
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• 2008

본 연구에서는 MicroTec을 이용하여 MOSFET 전송 특성을 분석하였다. MicroTec의 Semsim은 디바이스 시뮬레이터로써 입력 바이어스에 의해 공정 시뮬레이션인 SiDif와 디바이스 조립인 MergIC에 의해 소자를 시뮬레이션 한다. 소자에 대한 스케일링은 정전압 스케일링을 사용하였고, 채널의 길이는 100nm, 50nm, 25nm로 변화하면서 비교 분석하였다. MicroTec의 이동도 모델중 Lombardi, Constant, Yamaguchi 모델을 선택하여 이동도 모델을 비교하였다. 전류-전압 특성 곡선을 비교하였을때 Lombardi 모델과 Yamaguchi 모델보다 Constant 모델에서 결과값이 높게 나타는 것을 알 수 있었다. 또한 MicroTec의 유용성을 조사하여 시뮬레이터로서 적합함과 나노구조 소자의 스케일링 이론의 적합함을 보았다.