• Polymer Science and Technology
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• v.20 no.5
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• pp.472-480
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• 2009

반도체 미세화가 진행되면서, 이를 성공하기 위해 많은 재료물질이 요구되어진다. 이 중 미세 패턴의 붕괴를 막고 깊은 패턴을 새기기 위해서 필요한 hardmask 재료가 있다. Hardmask는 유기실리콘 재료와 탄소 함량이 높은 재료로 주로 구성되고, 이들은 193 nm 빛과 관련된 광학적 특성을 가지면서 특정 플라즈마에 대한 에치 저항성을 가지는 물성을 가지도록 디자인/합성/배합되어져 있다. 또한, 접합되는 다른 박막과의 compatibility및 용매에 대한 solubility 등이 적절해야만 나노미터 수준의 defect 없는 패턴을 구현할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.05a
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• pp.12-17
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• 2003

본 연구에서는 MICP Etching system 을 이용한 Via contact 및 Deep contact hole etch process 특성을 연구하였다. Langmuir probe 를 이용한 MICP source 의 Plasma density & electron temperature 측정하였고 탄소와 플로우르를 포함하는 혼합 Plasma 를 형성하여 RF frequency, wall temperature, chamber gap, gas chemistry 등의 변화에 따른 식각 특성을 조사하였다. Plasma density 는 1000w 에서 $10^{11}$/$cm^3$ 이상의 high density plasma와 uniform plasma 형성을 확인하였고 $CH_{2}F_{2}$와 CO의 적절한 혼합비를 이용하여 Oxide to PR 선택비가 10 이상인 고선택비 조건을 확보하였다. 고선택비 형성에 따라 Polymer 형성이 많이 되었고 이를 개선하기 위하여 반응 챔버의 온도 조절을 통하여 Polymer 증착 방지에 효과적인 것을 확인하였다. MICP source를 이용하여 탄소와 플로우르의 혼합 가스와 식각 챔버의 온도 조절에 의한 선택비 증가를 확보하여 High Aspect Ratio Contact Hole Etch 가능성을 확보하였다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.52 no.1
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• pp.107-118
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• 2019

Two assertions about the process the formation of the high-purity limestone in the Taebaeksan Basin, categorized into syngenetic and epigenetic origin, are verified on the basis of its oxygen-carbon stable isotopic characteristics. The carbonate rocks sampled from the selective six high-purity limestone mines and several outcrops in the Daegi formation are featured by various colors such as the gray, light gray and dark gray. They show a wide range of oxygen stable isotope ratios (4.5 ~ 21.6 ‰), but a narrow range of carbon stable isotope ratios (-1.1 ~ 0.8 ‰, except for vein calcite), which means that they had not experienced strong hydrothermal alteration. In addition, there is no difference in the range of the oxygen stable isotope ratios by mine and color, and it is similar to the range from surrounding outcrop samples. These results indicate that the effect of the hydrothermal alteration were negligible in the generation of high-purity limestone in deposit scale. Whereas, the carbonate rocks can be divided texturally into two groups on the basis of an oxygen isotope ratio; the massive-textured or well-layered samples (>15 ‰), and the layer-disturbed (or layer-destructed) and showing over two colors in one sample (<15 ‰). In the multi-colored samples, the bright parts are characterized by the very low oxygen stable isotope ratios, compared to the dark parts, implying the increase in brightness of the carbonate rocks could be induced by the interaction between hydrothermal fluid and rock. However, these can be applied in a small scale such as one sample and are not suitable for interpretation of the generation of high-purity limestone as a deposit scale. In particular, the high oxygen isotope ratios from the recrystallized white limestone suggest that hydrothermal fluids are also rarely involved during recrystallization process. In addition, the occurrences of the high-purity limestone orebody strongly support the high-purity limestone in the area are syngenetic rather than epigenetic; the high-purity limestone layers in the area show continuous and almost horizontal shapes, and is intercalated between dolomite layers. Consequently, the overall reinterpretation based on the sequential stratigraphy over the Taebaeksan basin would play an important role to find additional reserves of the high-purity limestone.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.299-301
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• 2000

대기환경기준 설정항목은 아황산가스를 비롯하여 이산화질소, 일산화탄소, 오존, 총부유먼지(TSP), 미세먼지(PM10), 납 6개항목이며, 이들 오염물질 중 아황산가스와 총부유먼지는 1990년대 급격히 오염도가 개선되는 경향을 보이고 있다. 일산화탄소와 납의 경우에도 환경기준을 대부분의 지역에서 만족하고 있으나 이산화질소와 오존은 개선되는 양상을 보이지 않고 있으며 도리어 오존의 고농도 발생현상은 증가 추세를 보이고 있다. (중략)

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.34 no.11
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• pp.1721-1725
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• 2010

This paper reports the fabrication of geometry-controlled carbon microneedles by a backside exposure method and pyrolysis. The SU-8 microneedles are a polymer precursor in a carbonization process, which geometries such as base diameter, spacing, and aspect ratio can be controlled in a photolithography step. Using this fabrication method, highly reproducible carbon microneedles, which have high aspect ratios of more than 10 and very sharp nanotips, can be realized. The quartz surface with carbon microneedles becomes very hydrophilic and its wettability is adjusted by carrying out the silane treatment. In the carbon microneedle array ($3\;{\mu}m{\times}3\;{\mu}m$), the contact angle is extremly enhanced (${\sim}180^{\circ}$); this will be advantageous in developing low-drag microfluidics and labs-on-a-chip as well as in other bio-applications.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.25 no.6
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• pp.169-176
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• 2021

In this study, pull-out tests were conducted at room temperature, 150 ℃ and 250 ℃ to evaluate the residual bond strength of carbon fiber reinforcement polymer, CFRP after elevated temperature and deformed steel rebar of D10 and D13 were also evaluated after the high temperature heating for comparison. As a result of the experiment, the bond strength of the CFRP after 150 ℃ and 250 ℃ decreased by 9.94 % and 41 %, respectively. On the other hand, after thermal heating, both the steel rebar of D10 and D13 had a lower rate of reduction in bond strength than that of the CFRP. Also slip at the maximum bond strength also decreased after the heating for both the CFRP and the rebars. Through it, the correlation between the bond strength and the slip reduction due to thermal heating was confirmed and bond slip models were presented. Finally the experimental result was evaluated as relative bond strength to identify the residual bond performance of the CFRP and the rebar after the heating was confirmed by comparing with the existing test result of the bond strength after elevated temperature.

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2009.06a
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• pp.63-64
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• 2009

변환시설의 해체 시 발생한 해체폐기물은 2009년 현재까지 약 354톤이며, 이들 중 탱크, 배관, 반응기, 펌프류 동의 해체금속폐기물이 약 191톤으로 54% 를 차지하고 있다. 이들 해체금속폐기물은 제염 처리공정을 통하여 전량 자체처분폐기물로 전환시키는 것을 목표로 두고 있다. 이는 오염된 금속류를 효과적으로 제염한 다음 자체처분시킴으로서 방사성폐기물에 대한 처분비용을 저감할 수 있기 때문이다. 해체금속폐기물 중 스테인레스강 해체폐기물은 질산 용액을 사용한 초음파화학제염공정으로 제염한 후 자체처분폐기물로 53톤을 전환하였다. 탄소강 해체물의 경우 스팀제염공정으로 제염한 결과 제영 효율은 좋았으나 변환시설 가동 중 유지 보수를 위하여 페인팅을 하였던 해체물의 경우 페인트를 제거하지 않을 경우 스팀제염장치로는 제염이 안 되었다. 탄소강 해체금속폐기물은 약 117톤 발생하였으며, 이들 중 모터, 펌프 등을 제외한 제염 대상 폐기물은 약 80톤이며, 이들을 용융 제염 및 감용을 위하여 기초 연구를 수행한 결과를 바탕으로 약 180kg/batch 용량의 금속용융제염 설비를 제작 설치하여 탄소강 해체금속폐기물 용융제염 처리를 수행 중에 있다. 금속용융은 장치가 간단하고 폐기물 처리량이 비교적 적고 단속적인 운전에 매우 효과적인 고주파 유도로를 사용하였다. 용융장치는 고주파 발진장지와 용해로체로 구성된 고주파 유도설비와 냉각계통으로 구성된다. 고주파발진장치는 철제 200kg을 용해할 수 있는 용량을 갖추었으며, 실험 및 실제 처리 등 용해로체의 크기 변경이 필요할 경우에는 고주파발진기의 출력 주파수를 변경할 수 있게 하였다. 용융 장치의 발진기 부분의 입력전원은 3상, 440V, 60Hz 이며, 출력전원은 200kW, 출력주파수는 lkHz, 3kHz, 5kHz로 구성되어 있으며, 회당 180kg 의 폐기물을 용융할 시에는 3kHz로 고정하여 사용하였다. 용해로체 부분 중 고주파유도가열부는 heating coil 및 절연부로 구성되어 있고, 그 외 support frame과 lever로 구성되어 있다. 용해로체와 고주파 발진장치의 냉각을 위한 냉각설비는 냉각기와 냉매의 저장을 위한 저장조로 구성되어 있으며, 냉각기의 용량은 20RT 이다. 용융로체의 직경은 약 28cm로 크기가 큰 해체물의 장입이 어려워 작은 크기로 세절을 해야만 하며，용융로의 용량을 증가시킬 경우 해체물을 작은 크기로 세절하는 비용을 절감할 수 있을 것이다. 용융 중 시료 채취는 매 배치마다 수행하였으며, 그림3과 같은 시료 채취용 주형 틀에 국자모양의 채취기로 채취하였다. 해체물의 용융시 ingot를 생성하기 위해서 주형틀에 용융물을 장입하기 전 시료를 채취하였다 그림4는 생성된 ingot이며, 이들의 방사능 농도는 배치마다 차이는 있지만 최대 0.05 Bq/g 이하로 나타나 자체처분 폐기물로 전량 전환 가능하였다 그림5 는 해체물에 함유된 우라늄과 불순물을 제거한 슬래그로 방사능농도는 약 12Bq/g 으로 나타났으며, 이들의 발생량은 약 3wt% 정도로 폐기물 발생량이 작았다. 따라서 금속폐기물의 경우 용융제염으로 처리할 경우 폐기물 발생량을 최대로 줄일 수 있어 처리 효율이 기타 처리 공정보다 효율적인 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.02a
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• pp.102.1-102.1
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2001.07a
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• pp.44-44
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• 2001

• Electrical & Electronic Materials
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• v.17 no.9
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• pp.16-22
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• 2004

오늘날 반도체 기술의 획기적인 발전에 의해서 마침내 에디슨의 탄소 필라멘트 백열전구를 대체할 수 있는 "반도체 필라멘트"라 불리는 고출력 백색 LED(lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다.(중략)