• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.134.2-134.2
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• 2017

최근 고성능, 저 전력 반도체 소자를 위한 미세 공정 기술이 발전함에 따라, gate oxide의 두께 및 선폭이 감소하고, aspect ratio가 증가하고 있는 추세이다. 따라서 얇아진 gate oxide를 통한 채널 물질로의 boron 확산을 막기 위한 고농도 질화 막 증착의 필요성이 높아지고 있으며, high aspect ratio의 gate oxide에 적용 가능한 우수한 step coverage의 질화막 또한 요구되고 있다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위해 일반적인 13.56MHz의 플라즈마 소스를 이용한 질화연구들이 선행되어져 왔으나, 높은 binding energy(~24 eV)를 가지고 있는 N2 molecule gas를 효과적으로 dissociation 하지 못해 충분한 질화공정이 수행되어질 수 없었을 뿐만 아니라 높은 공정온도($>200^{\circ}C$에서 진행되어 반도체소자에 손상을 줄 수 있다. 본 연구에서는 이러한 문제들을 해결하기 위해 VHF (162MHz)를 이용한 플라즈마를 통해 고밀도에서 낮은 전자온도와 높은 진동온도의 플라즈마를 구현하여 20%이상의 높은 질화율을 얻을 수 있었고, multi-tile push-pull 플라즈마 소스를 통해 VHF 사용 시 나타나는 standing wave effect를 제어하여 high aspect ratio의 gate sidewall spacer에 우수한 step coverage의 질화막을 형성시킬 수 있었다.

• JOURNAL OF ELECTRICAL WORLD
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• s.323
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• pp.69-75
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• 2003

불투명한 경제정세의 와중에서도 전기에너지를 지탱하는 근간이 되는 파워 일렉트로닉스 분야는 확실히 그 기술개발을 향상시켜 오고 있다. 특히 파워디바이스는, 지구환경과 생활환경을 보다 쾌적하게 하기 위하여 인버터 장치 등의 각종 전력절약기기와 풍력$\cdot$태양광$\cdot$연료전지 등 클린에너지의 전력제어장치에 없어서는 안되는 반도체디바이스로 성장했다. 파워디바이스 중에서도 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)의 기술혁신은 요 20년 사이에 비약적인 성과를 거두었다. 1980년대에 제품화된 IGBT는, 반도체메모리의 초미세가공기술을 도입하면서 $5{\mu}m$에서 서브미크론의 디자인툴로 발전하여, 2000년대에 들어 칩의 전류밀도는 약 2배, 포화전압은 약 $65\%$까지 개량되었다. 이와 같은 IGBT의 변천은, 전력손실을 대폭적으로 저감시켜 에너지절약기기의 전력변환효율 향상에 공헌하고 있다. 파워디바이스의 기술진보에서 또 한 가지 잊지 말아야 할 것은 주변회로의 집적화(集積化)에 의한 고성능$\cdot$고기능화이다. 최근의 인버터용 파워디바이스로 가장 많이 사용되고 있는 파워모듈은, IGBT등의 파워칩과 그 주변회로와의 컬래버레이션에 의한 제품이다. 다시 말하면 구동회로, 전류$\cdot$전압$\cdot$온도센서 및 그것들의 보호회로가 IC(집적회로)에 편입되어 고기능$\cdot$소형화를 촉진시키고 있다. 구동회로는 LVIC (저전압집적회로)에서 HVIC(고전압집적회로)로 발전하여 전류$\cdot$온도 등의 각종 센서도 동일 칩에 설계할 수 있게 되었다. 또 센싱이나 보호기능뿐만이 아니라 출력전류의 제어를 위한 연산기능과 di/dt의 제어기능이 내장되도록 되어 있어 보다. 고성능의 인텔리전트 파워모듈(IPM)이라고 불리우는 새로운 개념의 파워디바이스가 실현되었다. 또한 패키지 기술도 내부배선 인덕턴스의 저감과 트랜스퍼 몰드패키지의 개발로, 소형화뿐만이 아니라 파워칩의 성능$\cdot$기능을 충분히 발휘할 수 있도록 개발이 적극적으로 추진되고 있다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.8 no.6
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• pp.816-822
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• 1995

본 고에서는 지구환경문제에 관련된 가스와 그들의 검지를 위한 가스센서에 관하여 살펴보고자 한다. 환경오염을 방지하려는 노력과 대책이 전세계적으로 추진되고 있는 시점에서 특히 대기오염의 주범인 환경가스에 대한 고성능 센서의 개발은 필수불가결하다. 그러나 현재에 사용되고 있는 환경가스센서는 차량의 배기계통에 사용되는 산소센서나 연소배출가스를 검지하는 소수의 가스센서외에는 아직 실용화되지 못하고 있다. 따라서 고온, 부식등의 과혹한 조건하에서 안정하고, 고성능의 센서의 개발은 물론 센서를 구동시키는데 필연적인 신호처리 등 주변기술 또한 병행해서 발달되어야 할 것이다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.199.2-199.2
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• 2015

전이금속 칼코겐화합물(TMD)은 2차원 박막 물질로, 그래핀과 함께 차세대 사물인터넷에 적용할 수 있는 전자소자의 소재로 활용될 것으로 기대되고 있다. 특히 TMD는 그래핀과 다르게 1.2 eV 이상의 넓은 밴드갭을 지녀, 기존 실리콘 기반 반도체 소자를 대체할 차세대 물질로 각광받고 있다. TMD는 또한 실리콘 등의 3차원 반도체보다 광전효율이 뛰어나며, 이를 활용한 광전소자의 개발 및 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 TMD는 그 두께가 나노미터 단위로 매우 얇아 광흡수율이 매우 떨어지는 단점이 있다. 우리는 이러한 TMD 기반 광전소자의 광흡수율을 향상시키기 위해 광전효율이 매우 뛰어난 페로브스카이트(Perovskite)를 TMD 채널 위에 덮음으로써, 이종접합 광전소자를 구현하였다. TMD 물질은 이황화 몰리브데넘($MoS_2$)을 선택하였으며, 광흡수층으로 선택한 페로브스카이트는 $MAPbI_3$을 스핀 코팅을 통해 TMD 채널 층에 접합하였다. 우리는 Photoluminescence 및 UV-Vis 측정을 통해 페로브스카이트 및 페로브스카이트/$MoS_2$ 층의 광특성을 측정하여 페로브스카이트에서 생성된 광캐리어가 확산되어 $MoS_2$에 전달되는 것을 확인하였다. 우리는 추가로 4가지 서로 다른 파장대의 레이저(520, 655, 785, 850 nm)를 이용하여 페로브스카이트 광흡수층이 있을 때와 없을 때의 $MoS_2$ 광검출기의 성능 변화를 관찰하였다.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.8 no.4
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• pp.77-82
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• 2009

In robot operation, a motor with multi-degree of freedom motion control and an encoder for motor control are needed. To perform precise motion, location, and velocity control, the operation of motor and encoder with superior performance is important. In this paper, we studied performance evaluation system that can evaluate the performance of motor and encoder. The performance of motor and encoder can be evaluated in terms of disconnection check, signal variation count, and U, V, W signal check. Disconnection check verifies signal connection between a motor and an encoder, signal variation check verifies A, B signal by counting the number of signal A, B when a motor revolves, and U, V, W signal check verifies operating direction of a motor. The result is shown at graphic LCD integrated in system, and can be checked in PC with PC communication.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.3 no.1
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• pp.21-26
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• 2004

Recently with the development of power switching device and DSP which has peripheral devices to control AC servo system, the servo technology has met a new development opportunity. Those things make it possible to reduce the time of developing a AC servo system. Fixed point DSP such as TMS320F240x, and TMS320F28x series have a disadvantage in calculating floating number where TMS320C32 or TMS320C31 are floating point DSP. However they usually become a complex hardware system to implement the AC servo system and it increases the cost. In this study, a DSP based AC servo system with a 3-phase PMSM is proposed. The newly produced DSP TMX320F28l2-version C which has the performance of fast speed, 150MIPS, and a rich peripheral interface such as a 12bit high speed AD converter, QEP(Quadrature Encoder Pulse) circuit, PDPINT(Power Drive Protect Interrupt), SVPWM module and dead time module are used. This paper presents a method to overcome fixed point calculating using scaling all parameters. Also space vector pulse width modulation (SVPWM) using off-set voltage and a digital PI control are implemented to the servo system.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.17 no.3
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• pp.36-40
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• 2018

We have developed a nonlithographic patterning technique using polystyrene nanoparticles to form nanonet channel structures which is promising for high-performance TFT applications. Nanoparticles assisted patterning (NAP) is a technique to form uniform nano-patterns by applying lift-off and dry etch process. Oxygen plasma treatment was used to control the diameters of nanonet hole size to realize a branch width down to 100 nm. NAP technology can be very promising to fabricate nanonet structure with advantages of lower manufacturing cost and large-area patterning capability.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2010.06b
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• pp.313-317
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• 2010

최근에는 반도체 공정 기술의 발달로 인하여 프로세서의 성능은 급속도록 발전하였다. 하지만 프로세서에서 소모되는 전력이 급속도록 증가하고, 이에 따라 발생된 높은 온도는 프로세서 신뢰성에 부정적인 영향을 미치고 있다. 그러므로 최근의 프로세서 설계 시 전력, 온도등도 성능과 함께 중요한 고려사항이다. 프로세서의 신뢰성에 치명적인 영향을 미치는 고온현상을 해결하기 위해서 여러 가지 연구가 이루어지고 있다. 대표적으로 방열 판, 냉각 팬 등을 이용한 기계적인 기법과 동적 온도 관리 기법, 연산 이관 기법등을 적용한 구조적인 기법이 활발하게 연구되고 있다. 이러한 기법들의 적용으로 프로세서의 온도를 효과적으로 제어할 수 있게 되었으나 기계적인 냉각 기법은 냉각 효율성이 높지 않다는 단점이 존재하고, 구조적 설계 기법을 통한 냉각기법은 온도를 제어하기 위해 프로세서의 성능을 저하시키는 치명적인 단점이 존재하기 때문에 두 기법 모두 더 많은 연구가 필요하다. 최근의 프로세서 온도 제어 연구의 초점은 부가적인 장치를 통해 프로세서 내에서 발생 된 온도를 제어하는 기계적인 냉각 기법에서 프로세서 내에서 발생하는 온도를 효과적으로 제어하여 프로세서의 신뢰성과 냉각 비용을 절감할 수 있는 구조적 설계 기법으로 이동하고 있다. 본 논문에서는 연구의 초점이 이동하는 원인에 대해 분석하고자 고성능 프로세서에서의 기계적 냉각 기법의 냉각 효율성을 분석하고자 한다. 실험 결과, 온도를 제어하는 데 있어서 매우 높은 비용($1^{\circ}C$ 감소 당 최대 3.58W, 평균 3.36W)이 소모되는 것으로 나타났다. 향후에는 구조적인 설계 기법의 냉각 효율성을 분석하는 실험을 진행하고자 한다.

• Journal of Korea Multimedia Society
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• v.2 no.4
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• pp.367-377
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• 1999

Nowadays, the number of database applications which need fast transaction processing are increasing. One way to improve the performance of transaction processing is to reside the whole database in main memory As semiconductor memory becomes cheaper and chip densities increase, the research to improve transaction throughput rates of transaction processing system, using main memory databases, has begun In this thesis, how to implement a high performance transaction processing system based on main memory databases, new concurrency control scheme, recovery scheme and storage structure is presented. The objective of the proposed schemes is to improve the transaction processing system performance measured by transaction throughput and response times.

• 전기의세계
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• v.46 no.10
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• pp.21-27
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• 1997

정보화 산업에서 고성능 컴퓨터 기술과 초고속 통신망기술은 정보사회의 인프라를 구성하는데 중요한 요소들이다. 고속형 컴퓨터는 대용량의 정보저장과 고속의 정보 입출력이 가능한 정보저장기기를 필요로 한다. 특히 초고속 통신망을 이용한 멀티미디어 시대에 있어서 대용량의 정보저장과 고속의 정보 입출력이 가능한 정보저장기기의 요구가 더욱 증대되고 있다. 현재 컴퓨터 기억장치로 사용되는 것으로 SRAN, DRAM, flash memory 등과 같은 반도체 메모리와 자기를 이용한 하ㄷ 디스크, 플로피 디스크, 테이프 그리고 광자기 디스크 등이 있다. 이 중에서 보조 기억장치로 가장 많이 사용되는 시스템이 하드 디스크 드라이브이다(HDD). 데이터를 기록 재생할 수 있으며, 데이터의 보관, 데이터의 접근 속도(access time) 등을 고려할 때 가격대비 성능 면에서 HDD를 능가하는 기억장치가 아직까지 없다. 본 고에서는 퍼스널 컴퓨터 (PC)나 웍스테이션(workstation)에 사용되는 HDD의 기술동향을 제어기술 관점에서 서술하고자 한다.