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웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

  • 이종현;장원익;이용일;김도훈;최부연;정기로;임태영;남병호;김상철
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1993.04b
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    • pp.192-197
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    • 1993
  • 반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

Definition and Scope of Urban Ecosystem (도시생태계의 정의와 범위)

  • 김준호
    • Korean Journal of Environment and Ecology
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    • v.11 no.2
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    • pp.217-223
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    • 1997
  • 도시생태계는 주 구성원인 인간의 사회구조와 경제활동이 주축이 되고, 부 구성원인 자연이 주 구성원과 상호관계를 받으면서 존재하는 실체이다. 도시 생태계는 사회구조와 경제활동이 일어나는 핵심부와 그것과 직접 관계하는 기초부 및 물질과 에너지의 공급원, 수용원 및 축적을 담당하는 외부환경의 세 부위로 구성되는, 사회-경제-자연-복합 생태계SENCE)로 이해할 수 있다. 도시생태계는 자연생태계의 원리에 따라 기능을 조절하고 시스템모델 기법으로 분석할 수 있다. 도시생태계의 범위는 그 크기, 독립영양과 종속영양의 평형, 기능적 활성 및 발달단계에 따른 ㅗ이부환경(입력환경과 출력환경)의 변화에 의하여 크게 달라진다. 생태학자나 환경학자는 도시생태계를 자연만을 대상으로 연구하였지만 앞으로는 사회학자와 공동으로 연구하여야 문제의 정곡에 접근할 수 있을 것이다.

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Ubiquitous Sensor Network Based Remote Measurement of Digital Flow Metering (Ubiquitous Sensor Network 기반 디지털 유량계 원격 측정)

  • Ha, Sang-Eun;Kwon, Young-Min
    • 한국정보통신설비학회:학술대회논문집
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    • 2009.08a
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    • pp.59-60
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    • 2009
  • 대다수의 유량계는 특성상 공통구나 맨홀 등 일반적으로 사람의 눈에 잘 보이지 않는 곳에서 동작하는 경우가 많다. 따라서 아날로그 유량계의 경우 상태를 점검하기 위해 많은 불편함을 감수해야 하지만, 디지털 유량계를 도입하면 그러한 불편함을 줄일 수 있다. 디지털 유량계의 도입은 무선 기술을 결합할시 관리를 손쉽게 하는 등 유지보수성을 높일 수 있는데 그 역시 전력을 공급하는데 있어 배선관리 등의 문제점이 다시 발생하게 된다. 본 논문에서는 무선 센서네트워크(이하 USN) 기술을 융합하여 원하는 정보를 손쉽게 얻고 유지보수 비용을 낮추며 향후 다양한 활용을 가능케 하는 배터리 기반의 유량계 관리 시스템과 그 활용 방안을 제시한다.

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A Design of Oil Content Meter Using Scattered Light Turbidity Method for Oil Discharge Monitoring Equipment (선박용 유배출 감시 장치를 위한 광산란 탁도 방식의 유분 농도계 개발)

  • 이승희;양구주;장용석;김재형
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 1998.11a
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    • pp.583-587
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    • 1998
  • 본 논문에서는 대형 탱커선의 의무 장비인 유배출 감시 장비 (Oil Discharge Monitoring Equipment)를 위한 유분 농도계의 설계에 대하여 연구하였다. ODME는 국제해사기구 (IMO)에서 일정 ton 이상의 대형 선박에 의무적으로 설치하도록 규정하고 있으며 이는 날로 심각해지는 해양 오염을 방지하는데 목적이 있다. ODME의 구성 요소는 중앙 제어 장치, 유분 농도계, 유량계, 선속계, Sampling System, 배출 제어 장치로 이루어져 있으며 이중 가장 중요한 것은 유분 농도계이다. 이는 선박에서 배출되는 물에 포함된 유 성분을 ppm 단위로 계측하는 것이다. 이를 위한 탁도 측정 방법에는 여러 가지가 있지만, 본 연구에서는 선박에서 사용이 용이한 광산란 방식과 방폭성을 가지는 광섬유를 이용하여 탁도를 측정하는 유분 농도계를 설계하였으며 아울러 이에 대한 탁도 계산 알고리즘에 대하여 고찰하였다. 측정의 정밀도는 0-999ppm 범위에서 $\pm$5%의 오차 이내로 측정이 가능함을 보였다. 이는 IMO의 규격 ($\pm$10%의 오차)에 만족하는 수치이다.

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Digital Signal Processing for a Fiberoptic Fabry-Perot Interferometry (초소형 광파이버 패브리페로 간섭계의 디지털 신호처리)

  • Kim, K.S.;Lee, H.S.;Rim, G.H.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2001.07c
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    • pp.1820-1822
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    • 2001
  • 광파이버 패브리페로 간섭계에서 동작영역을 넓히기 위해 공진기의 길이를 1mm보다 짧은 초소형 간섭계를 구성하고자 하였을 경우, 광출력의 위상변화에 대한 감도가 낮아 전달함수로부터 변화된 위상을 복원하는 과정이 까다로워진다. 이러한 신호복원 과정에는 대부분 신호잡음비를 높여주는 신호처리 수단을 포함하게 되므로 간섭계가 겪은 위상변화를 보다 높은 신뢰성으로 검출하고자 할 때 어떠한 신호처리 방법이 적절한가하는 선택의 문제가 발생된다. 이는 각각의 신호처리방법이 장단점을 가지므로 응용목적에 따른 trade-off가 필요하기 때문이다. 본 연구에서는 참조 간섭계와 센서 간섭계 간의 correlation으로부터 위상을 검출하여 시스템의 잡음을 common mode 잡음으로 처리할 수 있었으며, 디지털 신호처리기법을 응용하여 짧은 공진기로 구성된 센서 간섭계의 위상변화분을 보다 안정적으로 검출하게 되었다.

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SNU WASHINGTON 측광계의 표준화와 WASHINGTON 측광계의 일반적 특성

  • An, Seong-Min;Lee, Si-U
    • Publications of The Korean Astronomical Society
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    • v.7 no.1
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    • pp.167-188
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    • 1992
  • 서울대 천문학과(SNU)의 Washington 측광계를 사용하여 관측한 자료와 ADC (Astronomical Data Center)의 자료를 분석함으로써 SNU Washington 측광계를 표준화 시켰다. SNU Washington 측광계중에서 C필터에 나타나는 적색광 누출은 V필터와의 결합을 통해 보정했으며, 그 최대값은 K0형에서 약 $0^{m}.14$까지 이른다. ADC의 자료분석 결과 G. K형 별들에 대해 중원소 측광지수와 중원소함량과 서로 잘 일치함을 알 수 있었고. 주계열성의 경우 온도 측광지수와 온도와는 좋은 관계를 보임을 알 수 있었다. 또한 ($M-T_2$)과 ($M-T_1$) 평면상에서는 중원소함량과 광도계급에 무관한 좋은 온도관계를 나타냄을 알았다. 그리고 이 측광계의 장점으로 나타난 CN지수와 CN 특이성과는 특별한 관계를 찾기가 어려웠고, 이 측광계만으로는 상도계급의 구분을 다른 측광계 만큼 분명하게 결정짓기가 어려웠다. 그러나 표면중력과이 측광계의 색지수와의 관계를 본 결과 초거성, 거성, 주계열성을 비교적 잘 구분해 낼 수 있었다.

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CIBER 2의 반사경 마운트와 광학계 구조물의 초기설계

  • Park, Gwi-Jong;Mun, Bong-Gon;Lee, Dae-Hui;Nam, Uk-Won
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.37 no.1
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    • pp.68.1-68.1
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    • 2012
  • CIBER 2(Cosmic Infrared Background ExpeRiment 2)는 CIBER1의 후속과제로 진행되는 사업으로써 적외선 기기를 NASA Sounding Rocket에 탑재하여 0.5-2.1${\mu}m$ 파장대의 적외선 우주배경복사를 관측하고 실험하는 과제이다. CIBER 2는 NASA에서 공식 승인되어 진행되고 있는 사업이며, 미국의 Caltech, 한국의 KASI, 일본의 ISAS/JAXA가 국제협력으로 진행하는 과제이다. 한국의 KASI는 반사경의 광학계 및 광기계부 개발, 전자부 개발에 참여하고 있다. CIBER 2의 광학계는 카세그레인 방식으로써 주경의 직경은 300mm이다. CIBER 2는 77K로 냉각되어 적외선우주배경복사를 관측하기 때문에 특히, 열수축에 의한 영향을 고려하여 설계, 제작, 조립이 되어야 한다. 또한, 광학계 구조물이 조립되는 로켓의 내경이 400mm이기 때문에 광학계 구조물의 직경에 제한이 따른다. 본 발표에서는 KASI가 주도적으로 개발 중인 반사경 마운트와 광학계 구조물의 초기설계와 광기계 해석결과들에 대해서 논한다.

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해안 서식지 분류를 통한 생태계 단위 설정 -태안해안국립공원을 대상으로-

  • 신수영;박종화
    • Proceedings of the Korean Association of Geographic Inforamtion Studies Conference
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    • 1999.12a
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    • pp.16-20
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    • 1999
  • 우리나라 특히 서ㆍ남해안은 전형적인 리아스식 해안으로 해안선 출입이 잦아 해안의 대표적인 지형들이 골고루 발달해 있는 곳이며, 해안생물자원도 풍부한 지역이다. 종래의 생태계 조사방법은 종목록을 작성하는 수준이었기 때문에 자연자원과 생태계 보존 및 관리에 필요한 해안생태계의 서식지 유형을 분류하여 지도화하는 작업이 우선적으로 이루어져야 한다. 이 연구는 태안해안국립공원 지역을 대상으로 다음의 세가지 연구를 시행하였다. 첫째, 해안생물의 서식 기반이 되는 물리적 요소인 기질, 경사도, 파랑에너지에 입각하여 서식지 유형을 분류하였다 둘째, 해안의 생태계 보존 및 관리에 영향을 미치는 토지이용 현황을 원격탐사를 이용하여 분류하였다. 셋째, 서식지와 토지이용을 결합하여 암석해안과 갯벌(모래, 펄)의 생태계 단위를 설정하였다. 이러한 생태계 단위는 생태적으로 관리전략을 세울 수 있는 토대가 될 수 있다.

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Water Quality Improvement and Restoration Method of Waterside Ecosystem by Mattress/Filter (Mattress/Filter를 이용한 수질개선 및 수변생태계 복원기법)

  • Ko, Jinseok;Park, Kibum;Lee, Seungyun;Jee, Hongkee;Lee, Soontak
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2004.05b
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    • pp.1390-1394
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    • 2004
  • 본 연구에서는 하천구조물에서 자연과의 조화를 고려하여 생물과 공생을 목표로 한 다양한 접목시도를 통해서 Mattress/Filter시스템을 이용한 하천 본래의 기능인 환경생태기능을 회복시킬 수 있는 방안을 강구하고, 생태기능이 저하된 하천의 생태계 질을 향상시켜 건전한 하천생태계를 복원시키는 Mattress/Filter의 수질개선시스템의 개발을 시도하였다. 수변생태계 복원을 고려한 Mattress 시스템의 설계는 주위의 경관과 조화를 배려하여 도입을 결정하고, 법면구배 변화점의 모서리가 완만하도록 Mattress의 배치 및 크기를 결정하여 식생에 의한 피복이 가능토록 설계해야 한다. 이 치수 기능을 유지하면서 생태계를 보전하기 위한 대안으로 생태복원구조물인 친환경 Mattress/Filter 의한 수질개선시스템을 개발하여 기존하천에 초본식물들이 식생됨으로써 수질이 개선되어 하천 본래의 생태계를 유지할 수 있는 늪지 조성, 하천의 친수성 확보, 수변식물에 의한 동식물의 서식처 제공 및 수변경관이 보전된 식생 수변공간에 조성에 필요한 기법을 제시하였다.

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A Study on The Principle of Hunminjeongeum Creation And The Principle of Hangul-Code Regulation (훈민정음의 창제원리와 한글부호계의 제정원리 연구)

  • Byun, Jeong-Yong;Lim, Hae-Cheol
    • Annual Conference on Human and Language Technology
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    • 1991.10a
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    • pp.155-158
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    • 1991
  • 정보교환용 한글부호계는 훈민정음창제원리와 ISO 2022 권고안이 그 바탕이 되어야 현행의 모든 한글 부호계가 가진 문제의 해결이 가능하다. 한글 부호계는 정음 28자를 기본 체계로하여 연서법, 병서법, 부서법, 성음법등에 의한 전환을 통하여 다양한 소리를 표기할 수 있도록 규정하고 있다. 그리고 한글 옛글자를 포함한 모든 한국어 정보처리가 가능하도록 부호계가 제정되어야 하고 두벌식 낱자형에서 자음의 이중성으로 인한 부담을 개선한 세벌식 낱자형 부호계를 제안하고 궁극적으로 정보교환용 한글부호계의 개선도 꾀한다.

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