• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.5 no.2
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• pp.100-108
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• 1995

Heat transfer plays a critical role in determining interface location and shape in ZMR process, which is used for the fabrication of silicon - on - insulator structure. In this work, the two - dimensional pseudo - steady - state ZMR model has been developed that can simulate the heat transfer process during ZMR process. It contains the radiation, convection and conduction heat transfer and determines the interface shapes. Numerical solutions from the model include flow field in the molten zone, temperature field in the full SOl structure and the location of solid/liquid interface in the silicon thin film and silicon substrate. We examined the effects of the various system parameters on the temperature profiles and the interface shape.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.79-79
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• 2000

탄화규소는 그 전기적, 열적 기계적 안정성 때문에 새로운 반도체 재료로서 주목받고 있는 물질이다. 탄화규소를 이용하여 전자소자를 제조하기 위해서는 ohmic 접촉과 Schottky 접촉을 형성하는 전극물질의 개발이 선행되어야 하며, 고온, 고주파, 고출력용 반도체 소자를 제조하기 위해서는 전극의 고온 안정성 확보가 필수적이다. 따라서 탄화규소 소자의 응용범위는 전극에 의해서 제한된다고 할 수 있다. 일반적으로 전극을 증착한 후 원하는 접촉 특성을 얻기 위해서는 열처리 과정을 거쳐야 하며 접촉의 특성이 열처리에 의해 영향을 받는 것으로 알려져 있다. 따라서 본 연구에서는 열처리가 금속/탄화규소 접촉의 특성에 미치는 영향을 알아보고자 하였으며, 이를 바탕으로 우수한 Schottky 다이오드의 제작 가능성을 타진해보고자 하였다. 유기실리콘 화합물 원료인 TEMSM(bis-trimethysilylmethane)을 사용하여 실리콘 기판위에 단결정 $eta$-Sic 박막을 증착하였다. 기판의 영향을 줄이기 위하여 $\beta$-Sic 박막의 두께가 $1.5mu extrm{m}$ 이상인 시편을 사용하였다. 전극으로는 Pt를 사용하였으며, 전극 증착은 DC magnetron sputter를 이용하였다. 전기적인 특성을 분석하기 위하여 전류-전압, 커패시턴스-전압 특성을 분석하였고, XRD와 AES를 이용하여 계면에서의 반응을 알아보았다. Hall 측정 결과 모든 $\beta$-Sic 박막은 약 2$\times$1018cm-3 정도의 도핑 농도를 갖는 n형 탄화규소임을 확인하였다. Pt/$\beta$-Sic 접촉은 열처리 전에는 ohmic 접촉 특성을 보였으나 열처리 후에는 Schottky 접촉의 특성을 나타냈다. 전기적 특성 분석을 통하여 열처리 온도가 증가할수록 에너지 장벽의 높이가 증가하는 것을 알 수 있었다. 이상적인 Pt/$\beta$-Sic 접촉의 특성을 보이는 것은 전극 증착시 sputtering에 의하여 계면에 발생한 결함이 도너의 역할을 하여 에너지 장벽의 두께를 감소시켜 tunneling을 촉진하기 때문인 것으로 판단된다. 열처리 후 접촉 특성이 변화하는 것은 이러한 결함들의 소멸 때문으로 생각된다. AES 분석을 통하여 열처리시 Pt가 $\beta$-Sic 내부로 확산하는 것을 알 수 있었으며, 이 때 Pt가 $\beta$-Sic 와 반응하여 계면에 실리사이드가 형성됨으로써 Pt/$\beta$-Sic 계면이 보다 안정한 탄화규소 박막 내부로 이동하게 되고 계면의 결함 농도가 줄어드는 것이 접촉 특성 변화의 원인이라 할 수 있다. 열처리 온도가 증가함에 따라 계면이 점점 $\beta$-Sic 내부로 이동하여 결함농도가 낮아지기 때문에 tunneling 효과가 감소하여 에너지 장벽이 높아지게 된다. Pt를 ohmic 접촉과 Schottky 접촉 전극물질로 이용하여 제작한 Schottky 다이오드는 ohmic 접촉 형성시 Schottky 접촉에 발생하는 wputtering 손상에 의하여 좋은 정류특성을 얻지 못하였다. 따라서 chmic 접촉 전에 Schottky 접촉의 passivation이 필요한 것으로 판단된다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2009.06a
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• pp.168-168
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• 2009

고효율 실리콘 이종접합 태양전지 제작을 위한 요소기술 중 a-Si:H/c-Si 간의 계면 안정화는 태양전지 효율에 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 n-type 결정질 실리콘 기판을 사용하여, 소수전하들의 재결합을 방지하고, 계면 안정화를 실행하는 방안으로 실리콘 기판 습식 세정을 수행하였다. 반도체 공정에서 일반적으로 알려진 RCA 세정기법에 HF 세정을 마지막공정으로 추가하여 자연 산화막과 기타 불순물을 더욱 효과적으로 제거할 수 있도록 실험을 진행하였다. 마지막 공정으로 추가된 HF 세정에 의한 a-Si:H/c-Si 계면 안정화 효과를 관찰하기 위하여 HF농도와 HF 세정시간에 따른 소수반송자 수명을 측정하였다. 또한 HF 세정 이후 공정의 영향을 확인하기 위하여 PE-CVD법으로 a-Si:H 박막 증착 이전 실리콘 기판의 온도와 상온에서 머무는 시간에 따른 a-Si:H/c-Si 계면안정화 특성을 분석하였다. 본 실험을 통해 HF세정공정이 계면특성에 미치는 영향을 확인하였으며 실리콘 기판 습식 세정이 이종접합태양전지 특성에 미치는 영향을 분석하였다.

• Journal of the Korean GEO-environmental Society
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• v.12 no.5
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• pp.29-36
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• 2011

In this study, settling experiment was performed about cohesive and sandy soils among representative sample expected to dredge and dump for analysis of settling and consolidation characteristic. The analysis showed the definite difference between cohesive soils and sandy soils of relationships with settling and consolidation coefficient, a water content, interfacial heights. But directly after a dredged reclamation, prediction results about a initial volume change showed that cohesive soil of a water content change was decreased rapidly as time goes by, but sandy soils made no difference in a water content change. Results were compared and analyzed with the settling and consolidation coefficient and a initial settling velocity by real soil amounts for a feasibility check about test conditions applied to these experiment: we judge that test conditions are appropriate, each material by such these analyses suggests the scope of settling and consolidation coefficient, average and the representative relational formula.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.18 no.1
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• pp.11-19
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• 2005

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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• v.15 no.3
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• pp.887-897
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• 1991

본 연구에서는 이와 같은 배경에서, Fig. 1(f)와 같이 가장 일반적인 이방성 재료가 접합된 경우의 응력확대계수를 명확히 정의하고, 수치해석법으로 구할 수 있는 외삽식을 제안한다. 또한, 탄성문제의 수치해석 방법으로 적은 요소의 분할로써 고 정밀도의 수치해석 결과를 얻을 수 있는 경계요소법(boundary element method:BEM), 특히 저자들이 개발한 복합재료에 대한 2차원 경계요소법 프로그램을 이용하여 이방성 이종재료 접합계면 균열의 응력확대계수를 해석하고, 복합재료내의 섬유방향에 대한 접합계면 균열의 정성적 거동을 고찰하고자 한다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.9 no.11
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• pp.1112-1116
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• 1999

Thermoelectric effects on the temperature changes at the solid- and liquid-phase and its interface were studied by using the unidirectional solidification of $\textrm{Bi}_{2}\textrm{Te}_{3}$. Cooling or heating effects measured with current density. polarity and current passing time were quite different. By separating sole Peltier, Thomson and Joule heat theoretically and experimentally, the Peltier coefficient at the solid/liquid interface of $\textrm{Bi}_{2}\textrm{Te}_{3}$ was -1.10$\times\textrm{10}^{-1}$V, and the Thomson coefficients of solid- and liquid-phase were 7.31\times\textrm{10}^{-4}V/K, 5.77\times\textrm{10}^{-5}V/K, respectively. When D.C. passed from solid-phase to liquid-phase during the crystal growth of $\textrm{Bi}_{2}\textrm{Te}_{3}$ the crystal with more directionality was obtained owing to increase of the temperature gradient in liquid by the Peltier cooling. But in reverse current direction, the crystallinity was not changed significantly.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.20 no.2
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• pp.126-133
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• 2009

The surfactants applied in household detergents and industrial cleansers should satisfy the requirement of not just the basic function such as emulsification, solubilisation, dispersion, detergency, wetting and foaming, but also the economical efficiency and the safety to human and environment. In the viewpoint of the sustainable development, the surfactants, moreover, have to reduce raw materials and energy consumption and waste disposal when they are being manufactured and also consumed for their purposes. New high-performance surfactants have been extensively studied and developed in order to respond the change in social and economical environment. Noticeable progresses have been achieved so far, which are the significant increase in solubility and surface activity through the minor modification of existing surfactant molecular structure and the synergistic increase in a surface activity shown in the mixed surfactant system of anionic and cationic surfactants. In this review, the important and meaningful progresses achieved recently in technological advance and practical application will be summarized and discussed.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.4 no.1
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• pp.38-44
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• 1991

본 연구는 전기로에 의한 열 산화법에 의해 SiO$_{2}$(88[.angs.])와 ONO(89[.angs.])를 성장시켜 MIS capacitor를 제작한 후, 초 박막 유전체/실리콘 계면에서 전자파 간섭 효과를 실험적으로 비교 검토한 것이다. EWIE현상의 결과로서 첫째. 저 전계영역에 비해 고 전계영역에서 우세하며 둘째. SiO$_{2}$에 비해 ONO가 약하게 나타난다. 그러므로 ONO가 SiO$_{2}$보다 열 전송자 효과에 대한 저항성이 우수함을 알 수 있고 ULSI급의 게이트 절연막으로서의 실용가능성을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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• 2003.10b
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• pp.151-152
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• 2003

전보[1]에서 PMMA 코어 플라스틱 광섬유의 클래드 재료로 사용하기 위하여 MMA/불소계메타크릴레이트(FAMA) 공중합체를 제조하고 FAMA 종류 및 함량에 따른 굴절률, 내열성의 변화를 살펴보았다. FAMA의 함량이 증가함에 따라 굴절률은 효과적으로 낮출 수 있었으나 유리전이온도와 계면접착력은 감소하여 내열성 및 PMMA와의 계면 접착력을 향상시킬 수 있는 새로운 화학구조의 클래드 재료 설계가 필요하였다. (중략)