• ETRI Journal
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• v.11 no.1
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• pp.89-96
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• 1989

$C_2F_6$/$CHF_6$ 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막의 반응성이온 식각공정시 실리콘 표면에 형성되는 고분자 잔류막과 근표면 손상영역을 X-선 광전자분광법(x-ray photoelectron spectroscopy)과 러더포드 후방산란법(Rutherford backscattering)을 이용하여 연구하였다. 표면 잔류막은 CF, $CF_2$, $CF_3$, $C-CF_x$, 그리고 C-C/C-H 등의 결합을 가진 불화탄소 고분자로 구성되어 있으며, 또한 C 1s와 Si 2p X-선 광선자 스펙트럼으로부터 C-Si 결합이 존재함을 확인하였다. 반응성이온 식각을 거친 실리콘 표면 구조의 연구결과, 불소와 탄소로 구성된 고분자막($<20 \AA$)이 극표면에 존재하며, 식각 후 공기중에 노출됨에 따라 고분자 잔류층으로 산소가 통과하여 기판을 산화시킴으로써 실리콘 산화막( $~10\AA$)이 그 아래에 형성되었음을 알았다. 그리고 실리콘산화막 아래에 탄소-산소 결합영역이 관찰되었다. 플라즈마 가스의 조성에서 $CHF_3$의 량이 증가함에 따라 고분자 잔류막의 두께가 증가하였으며, 본 연구의 실험조건에서 2분간 overetching한 시편의 경우에도 실리콘 표면 영역의 손상정도가 매우 적음을 발견하였다.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.38 no.5
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• pp.418-423
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• 2001

16 mole%의 CeO$_2$가 고용된 Ce-TZP 소결체 사이에 140~240$mu extrm{m}$ 두께의 Ce-TZP-5~30 vol% $Al_2$O$_3$중간층이 삽입된 층상복합체를 분말건식가압성형법에 의해 제조하였다. 소결온도는 $Al_2$O$_3$가 5~30 vol.% 첨가될 때 90% 이상의 소결밀도를 얻을 수 있도록 1$600^{\circ}C$로 정하였다. 이러한 3층 복합체에서 바깥의 Ce-TZP 지역에서의 파괴 형태는 입내파괴를 보여주었지만 $Al_2$O$_3$가 함유된 중간층에서는 입계파괴가 전이되면서 인성증가를 보여주었다. 이러한 층상 복합체의 경우 중간 층에 들어가는 Ce-TZP 중의 $Al_2$O$_3$함량이 30 vol.% 정도에 이르면 층간의 서로 다른 소결밀도 및 수축율, 열팽창계수 때문에 층간 소결 결함이 생겨 층간에서 균열의 전파가 큰 영향을 받음을 알 수 있었다. 반면 중간층의 $Al_2$O$_3$함량이 적을 경우 층간 결함이 생기지 않아 층간에서 균열의 전파가 별 영향을 받지 않음을 알 수 있었다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.3 no.2
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• pp.185-201
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• 1993

The objectives of this study are to identify the physical, chemical and microstructural properties of coal fly ash and to increase the industrial use of coal fly ash. Experimental results show that 3 major constituents of coal fly ash are $SiO_2$, $Al_2O_3$ and coal fly ash includes the crystalline of Quartz and Mullite. Coal fly ash are classified into 7 groups based on the type of microstructure. Cenosphere is divided into floater and dry separated cenosphere which are consist mainly of $SiO_2$ and $Al_2O_3$. Cenosphere segregations are formed by adsorption and neck growth of the smaller sized cenosphere particles on the condition of the high temperature and air pressure.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.06a
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• pp.352-353
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• 2006

가스센서용 마이크로 히터 제작에는 표연 마이크로 머시닝 또는 벌크 마이크로머시닝 기술을 이용한다. 표면 마이크로 머시닝에 의한 마이크로 히터 (MHP) 구조의 경우, 기판과 박막간의 폭이 좁기 때문에 에칭 공정 후 세정이 잘 이루어지지 않으면 열적 절연이 잘 이루어지지 않아서 히터와 센서의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 본 연구에서는 표면 마이크로 머시닝 기술에 의한 가스 센서용 마이크로 히터를 제작한다. $SiO_2$와 $Si_3N_4$를 성분으로 하며, $100{\mu}m\;{\times}\;100{\mu}m$의 면적과 350 nm 의 두께를 갖는 가스 센서용 마이크로 히터를 제작하였다. 이를 위하여 ANSYS를 통한 유한요소해석에 의한 열분포 해석으로 최적구조를 확인하였다. 센서로의 열 전달 효율을 높이기 위해 센서 박막은 히터 위에 적층하였다. 실리콘 표면과 마이크로 히터와의 간격은 에칭 공정을 통하여 $2{\mu}m$로 하였으며, 이 공간에서는 에칭 및 세정 후에 이물질이 깨끗이 세정되지 않고 남아 있거나, 습식 공정 중에 수분의 장력에 의한 열전연성이 나빠질 수 있는 등 단점이 있다. 이는 건식 등방성 에칭 공정을 통하여 해결하였다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.30 no.2
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• pp.151-154
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• 2019

We report the effective fabrication processes for more practical monolith catalysts consisting of washcoated alumina on a cordierite honeycomb monolith (CHM) and iron oxides nanoparticles in the alumina prepared by a simple dry coating method. It is confirmed that iron oxide nanoparticles were well deposited into the mesopore of washcoated alumina which is formed on the corner wall of honeycomb channel, and the effect of annealing temperature was evaluated for carbon monoxide oxidation catalysts. $Fe_2O_3/{\gamma}-Al_2O_3/CHM$ catalysts annealed at $350^{\circ}C$ exhibited the most enhanced catalytic activity, 100% conversion efficiency at more than $200^{\circ}C$ operating temperature.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.3 no.2
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• pp.31-44
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• 1983

This paper applies an optimization algorithm for the elastic truss structures. The acceleration technique utilized in this study is the geometric programming method developed by the Operation Research or the applied methematics. The applicability and the efficiency of the algorithm applied in this study are tested for four different trusses. Test results show that the optimum solutions are obtained after only one or seven iterations which is very small compared with other techniques and no oscillation is needed for the convergency. Test rusults also show that the Geometric Programming Method is also effective algorithm for the convergency of the Optimum Solution in case of only being compared with the number of iteration.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.186-186
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• 2011

태양전지의 효율을 증가시키기 위해서는 표면에서의 Fresnel 반사를 줄여 입사된 빛이 흡수층까지 잘 도달되도록 해야 한다. 그러나 결정질 실리콘의 경우, 굴절률이 높아 32% 이상의 표면반사율을 보이고 있어, 실리콘 태양전지 표면에 단일 또는 다중 박막의 무반사 코팅을 통해 반사율을 낮추는 방법이 널리 사용 되어 오고 있었다. 하지만, 이와 같은 코팅 방법은 열적팽창 불일치, 물질 선택의 어려움뿐만 아니라 낮은 반사율을 포함하는 파장 및 빛의 입사각 영역의 제한 등 여러 문제점을 지니고 있다. 이러한 문제점을 보완하기 위해, 표면에 서브파장의 주기를 갖는 나노구조(subwavelength structure, SWS)의 형성에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 습식 식각보다 건식 식각을 이용한 SWS 제작 방법이 표면 profile을 제어하기 용이하나 패턴 형성을 위해 식각 마스크가 필요하다. 최근, 복잡하고 고가의 전자빔 또는 나노임프린트를 이용한 패턴 형성보다, 간단/저렴하며 대면적 제작이 용이한 금속 나노입자 마스크를 이용한 SWS의 제작에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 SWS의 무반사 특성은 표면 profile에 따라 크게 영향을 받는다. 따라서 본 실험에서는 열적 응집현상에 의해 형성되는 self-assembled Pt 나노입자 식각 마스크 및 $SiCl_4$가스를 사용한 유도결합 플라즈마(inductively coupled plasma, ICP) 장비를 이용하여 무반사 실리콘 SWS를 제작하였으며, SWS 표면 profile에 따른 구조적 및 무반사 특성을 조사하기 위해 다양한 공정조건을 변화시켰다. 실리콘 기판 위의 Pt 박막은 전자빔 증착(e-beaml evaporation)법을 사용하였고, 급속 열처리(RTA)를 통해 Pt 나노입자의 식각 마스크를 형성시켰다. Pt 나노입자들의 패턴 및 제작된 무반사 실리콘 SWS의 식각 profile은 scanning electron microscope를 사용하여 관찰하였으며, UV-VIR-NIR spectrophotometer를 사용하여 350~1050 nm 파장 영역에서의 반사율을 측정하였다. ICP 식각 조건을 변화시켜 5% 이하의 낮은 반사율을 갖는 높이가 높고 쐐기 형태의 실리콘 SWS를 도출하였다.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.13 no.3 s.55
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• pp.119-126
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• 2009

This study investigated the fire resistance of RC columns applying Fiber addition method, Fire board attaching method, and Fire proof sparying method. The results were summarized as following. The test showed that increase of fiber content, as expected, decreased the fluidity of fresh concrete, but for the types of fiber, the specimens containing nylon(NY) was favorable. The incline of fiber content also affected on the air content of concrete, which the specimens adding polypropylene(PP) fiber was the lowest, followed by a less decrease in polyvinyl alchhol(PVA) and then NY respectively. For the compressive strength at 28days, it was over 50MPa and showed slight increasing tendency by rising fiber contents. After the fire test completed, control concrete exhibited the severe demage, while the specimens containing more than 0.05vol.% of PP and NY was able to protect from spalling. In the case of splay, the partly spalling occurred at the all finishing material, however the RC columns were protected from spalling. For the methods attached with boards, all RC columns were protected except the dry attaching method. The reduced weight ratio was favorable because it was below 8 % except for plain concrete.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.8 no.6
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• pp.994-999
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• 1997

The sintering properties of hydroxyapatite isolated from tuna bone and hydroxyapatite-containing wollastonite sintered by solid-state reaction was investigated. As the sinterability of hydroxyapatite dependent upon the particle size by dry milling, it showed a sintering. But the hydroxyapatite-containing wollastonite was appeared good sinterability. On X-ray measurements, the major phases of hydroxyapatite-containing wollastonite by solid state reaction at $1250^{\circ}C$ were identified as hydroxyapatite and pseudowollastonite(${\alpha}-CaSiO_3$). And the phases appeared as whitlockite [$Ca_3(PO_4)_2$] by decomposition of hydroxyapatite at higher temperature above $1250^{\circ}C$. The shapes of microstructure on SEM images changed from porous to dense bulk by elevating temperature. The mean bending strength of hydroxyapatite-containing wollastonite sintered by solid-state reaction at $1300^{\circ}C$ was about 18 MPa, it was close to the cancellous bone's maximum strength, 20 MPa.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.26 no.4D
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• pp.671-678
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• 2006

In this study, to describe vehicle-structure dynamic interaction phenomena with 1/4 vehicle model, nonlinear Hertzian contact spring and nonlinear contact damper are adopted. The external loads acting on 1/4 vehicle model are selfweight of vehicle and geometry information of running surface. The constraint equation on contact surface is implemented by the Penalty method with stabilization and the reaction from constraint violation. To describe pitching motion of various vehicles two types of the displacement constraint equations are exerted to connect between car bodies and between bogie frames, i.e., the rigid body connection and the rigid body connection with pin, respectively. For the time integration of dynamic equations of vehicles and structure Newmark time integration scheme is adopted. To reduce the error caused by inadequate time step size, adaptive time-stepping technique is also adopted. Thus, it is expected that more versatile dynamic interaction phenomena can be described by this approach and it can be applied to various railway dynamic problems with low computational cost.