• Title/Summary/Keyword: 건식공정

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Phosphating and Electrodeposition Properties of Zinc Based Alloy Plating by Dry Process (건식공정에 의해 제작된 아연계 합금도금 강판의 인산염처리 및 전착도장 특성)

  • Lee, Gyeong-Hwang;Park, Jong-Won;Na, Hyeon-Ju;Gwak, Yeong-Jin;Kim, Tae-Yeop;Yun, Seung-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.266-267
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    • 2012
  • 아연계 합금도금강판은 내식성이 향상되는 반면 아연 이외의 원소 성분에 의해 고온다습에서 변색되기 쉽기 때문에 이를 억제하기 위한 후처리 기술이 필요하다. 또한, 아연계 합금도금 강판이 자동차 부품으로 적용되기 위해서는 변색 억제를 위해 처리한 후처리제가 쉽게 제거되어 인산염처리 공정에서 도금 표면에 인산염결정이 용이하게 형성되어야 한다. 본 연구에서는 건식공정으로 제작된 아연계 합금도금 강판에 우레탄계 알칼리 후처리제를 도포하고, 고온다습 환경에서의 변색 억제 특성과 적정 부착량에서의 인산염처리 및 전착도장 특성에 대해 평가하였다. 두 형태의 후처리제는 건식 아연계 합금도금 강판에 도포 직후 표면에 간섭색을 나타내었으며, 첨가제를 통해 간섭색 제어가 가능하였다. 또한, 두 형태의 후처리제 모두가 고온다습 환경에서 무처리 강판에 비교하여 월등히 우수한 변색 억제 효과를 보였으며, 인산염처리 및 전착도장이 양호하게 얻어지는 것을 알 수 있었다.

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The Optimization of Semiconductor Processes for MMIC Fabrication - Si$_3$N$_4$ deposition, GaAs via-hole dry etching, Airbridge process (MMIC 제작을 위한 반도체 공정 조건들의 최적화 - Si$_3$N$_4$증착, GaAs via-hole건식식각, Airbridge공정)

  • 정진철;김상순;남형기;송종인
    • Proceedings of the IEEK Conference
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    • 1999.06a
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    • pp.934-937
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    • 1999
  • MMIC 제작을 위한 단일 반도체 공정으로써 PECVD를 이용한 Si₃N₄의 증착, RIE를 이용한 CaAs via-hole건식식각, 그리고 airbridge 공정조건을 위한 실험 및 분석 작업을 수행하였다. Si₃N₄의 증착 실험에서는 굴절률이 2인 조건을, GaAs via-hole 식각 실험에서는 최적화된 thru-via의 모양과 식각률을 갖는 조건을, airbridge 실험에서는 polyimide coating 및 건식 식각 조건과 금 도금 및 습식 식각의 최적 조건들을 찾아내었다.

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Development of the Vacuum Drying Process for the PWR Spent Nuclear Fuel Dry Storage (경수로 사용후핵연료 건식저장을 위한 진공건조공정 개발)

  • Baeg, Chang-Yeal;Cho, Chun-Hyung
    • Journal of Nuclear Fuel Cycle and Waste Technology(JNFCWT)
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    • v.14 no.4
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    • pp.435-443
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    • 2016
  • This paper describes the development of a dry operation process for PWR spent nuclear fuel, which is currently stored in the domestic NPP's storage pool, using a dual purpose metal cask. Domestic NNPs have had experience with wet type transportation of PWR spent nuclear fuel between neighboring NPPs since the early 1990s, but no experience with dry type operation. For this reason, we developed a specific operation process and also confirmed the safety of the major cask components and its spent nuclear fuel during the dual purpose metal cask operation process. We also describe the short term operation process that was established to be completed within 21 hours and propose the allowable working time for each step (15 hours for wet process, 3 hours for drain process and 3 hours for vacuum drying process).

Heating Experiment of Fireproof Board using the Dry Process Bottom Ash and Oyster Shell (굴 패각과 건식공정 바텀애시를 사용한 내화보드의 가열실험)

  • Jung, Ui-In;Kim, Bong-Joo;Kim, Jin-Man
    • Journal of the Korea Institute of Building Construction
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    • v.16 no.3
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    • pp.193-199
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    • 2016
  • This study is a research about performance of fireproof board using industrial waste such as oyster shell and dry process bottom ash through the heating test and conclusions were obtained as follows. Test samples show back side temperatures as follows : in $300^{\circ}C$, $103.1{\sim}125.1^{\circ}C$, in $600^{\circ}C$, $201.1{\sim}210.1^{\circ}C$, in $900^{\circ}C$, $249.2{\sim}276.9^{\circ}C$. In the test, temperature increases of specimens of fireproof board are kept at certain temperatures hence it could be concluded that the specimens withstand high temperatures. According to the test, it could be concluded that fireproof board made by smaller particles shows better performance up to $600^{\circ}C$ while at higher temperatures, fireproof board made by bigger particles shows better performance. It is estimated that fireproof board made by particles of bigger size has more pore structure and it delays heat conduction.

Study on Carbon Dioxide Control by Using Dry Sorbent in Fludized Bed (유동층에서 dry sorbent를 이용한 CO2 제어에 관한 연구)

  • Lee, Sang-Sup;Kim, Min-Choul;Yoo, Jeong-Seok;Moon, Gil-Ho;Oh, Kwang-Joong
    • Clean Technology
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    • v.9 no.4
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    • pp.179-187
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    • 2003
  • The technology of fluidized bed to use dry sorbent can be new technology that reduce the operating cost and make efficient operation. Therefore, this study investigated $CO_2$ control by dry sorbents with operating variables in a fluidized bed, compared with fixed bed for $CO_2$ adsorption capacity and pressure drop, and presented the $CO_2$ adsorption capacity of activated carbon, molecular sieve 5A, molecular sieve 13X, and activated alumina. As the results of this study, the basic data could be achieved for operation of fluidized bed process, and fluidized bed process presented relatively high $CO_2$ adsorption capacity and low pressure drop with the increase of gas velocity. In addition, molecular sieve 5A showed 1.1~3.0-fold later breakthrough point and 1.1~2.7-fold higher adsorption capacity than the other dry sorbents.

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Development of Filter Sorting Process for Cigarette Butt Recycling and Extraction of Cellulose Acetate (담배꽁초 재활용을 위한 필터 선별공정 개발 및 셀룰로오스 아세테이트의 추출)

  • Minseon Park;Minjung Jung;Noh-sup Lee;Soochul Rhee;Namhoon Lee
    • Journal of the Korea Organic Resources Recycling Association
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    • v.32 no.2
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    • pp.5-14
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    • 2024
  • A study approached the development of a process for efficiently recycling discarded cigarette butts, reported as a major source of microplastic pollution in aquatic environments. Cigarette butts were sorted to extract filters, and cellulose acetate, the raw material of the filters, was extracted to a high degree of purity. The sorting of filters from cigarette butts was conducted through both wet and dry processes, each with optimized sorting conditions. Wet stirring sorting considered factors such as solid-liquid ratio, stirring speed, and stirring temperature. The highest efficiency of wet stirring sorting, at 46.21%, was observed with a solid-liquid ratio of 1:45, stirring speed of 200 rpm, and stirring temperature of 50℃. Dry wind power sorting took into account moisture content and residence time. The filter sorting efficiency reached its peak at 57.10% with a moisture content of 20% and a residence time of 5 minutes. There was no significant difference in the recovery rate of cellulose acetate between the two sorting processes. Dry wind power sorting was deemed a more advantageous process in terms of energy and environmental considerations within the scope of this study.

The Wet and Dry Etching Process of Thin Film Transistor (박막트랜지스터의 습식 및 건식 식각 공정)

  • Park, Choon-Sik;Hur, Chang-Wu
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.13 no.7
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    • pp.1393-1398
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    • 2009
  • Conventionally, etching is first considered for microelectronics fabrication process and is specially important in process of a-Si:H thin film transistor for LCD. In this paper, we stabilize properties of device by development of wet and dry etching process. The a-Si:H TFTs of this paper is inverted staggered type. The gate electrode is lower part. The gate electrode is formed by patterning with length of 8 ${\mu}$m${\sim}$16 ${\mu}$m and width of 80${\sim}$200 ${\mu}$m after depositing with gate electrode (Cr) 1500 ${\AA}$under coming 7059 glass substrate. We have fabricated a-SiN:H, conductor, etch-stopper and photo resistor on gate electrode in sequence, respectively. The thickness of these thin films is formed with a-SiN:H (2000 ${\mu}$m), a-Si:H(2000 ${\mu}$m) and n+a-Si:H (500 ${\mu}$m), We have deposited n-a-Si:H, NPR(Negative Photo Resister) layer after forming pattern of Cr gate electrode by etch-stopper pattern. The NPR layer by inverting pattern of upper gate electrode is patterned and the n+a-Si:H layer is etched by the NPR pattern. The NPR layer is removed. After Cr layer is deposited and patterned, the source-drain electrode is formed. In the fabricated TFT, the most frequent problems are over and under etching in etching process. We were able to improve properties of device by strict criterion on wet, dry etching and cleaning process.

플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링

  • Jo, Jun-Hwan;Gong, Dae-Yeong;Seo, Chang-Taek;Yun, Seong-Ho;Jo, Chan-Seop;Kim, Bong-Hwan;Lee, Jong-Hyeon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.373-375
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    • 2011
  • 최근 태양전지 연구에서 저가격화를 실현하는 방법 중 하나로 폐 실리콘 웨이퍼를 재생하는 방법에 관하여 많은 연구가 진행되고 있다. 그러나 기존 웨이퍼 재생공정은 높은 재처리 비용과 복잡한 공정등의 많은 단점을 가지고 있다. 결정형 태양전지에서 저가격화 및 고효율은 태양전지를 제작하는데 있어 필수 요소 이다. 그 중 결정질 태양전지 고효율을 위한 여러 연구 방법 중 표면 텍스쳐링(texturing)에 관한 연구가 활발하다. 텍스쳐링은 표면반사에 의한 광 손실을 최소화 하여 효율을 증가시키기 위한 방법으로 습식 식각과 건식 식각을 사용하여 태양전지 표면 위에 요철 및 피라미드구조를 형성하여 반사율을 최소화 시킨다. 건식식각은 습식식각과 다른 환경적 오염이 적은 것과 소량의 가스만으로 표면 텍스쳐링이 가능하여 많은 연구가 진행중이다. 건식 식각 중 하나인 RIE(reactive ion etching)는 고주파를 이용하여 플라즈마의 이온과 silicon을 반응 시킨다. 실험은 RIE를 이용하여 SF6/02가스를 혼합하여 비등방성 에칭 및 피라미드 구조를 구현하였다. RIE 공정 중 SF6/02가스는 높은 식각 율을 갖으며 self-masking mechanism을 통해 표면이 검게 변화되고 반사율이 감소하게 된다. 이 과정을 통해 블랙 실리콘을 형성하게 된다. 블랙 실리콘은 반사율 10% 이하로 self-masking mechanism으로 바늘모양의 구조를 형성되는 게 특징이며 표면이 검은색으로 반사율이 낮아 효율증가로 예상되지만 실제 바늘 모양의 블랙 실리콘은 태양전지 제작에 있어 후속 공정 인 전극 형성 시 Ag Paste의 사이즈와 표면 구조를 감안할 때 태양 전지 제작 시 Series resistance를 증가로 효율 저하를 가져온다. 본 연구는 SF6/02가스를 혼합하여 기존 RIE로 형성된 바늘모양의 구조의 블랙 실리콘이 아닌 RIE 내부에 metal-mesh를 장착하여 단결정(100)실리콘 웨이퍼 표면을 텍스쳐링 하였고 SF6/02 가스 1:1 비율로 공정을 진행 하였다. metal-mesh 홀의 크기는 100um로 RIE 내부에 장착하여 공정 시간 및 Pressure를 변경하여 실험을 진행하였다. 공정 시간이 변경됨에 따라 단결정(100) 실리콘 웨이퍼 표면에 피라미드 구조의 균일한 1um 크기의 블랙 실리콘을 구현하였다. 바늘모양의 블랙 실리콘을 피라미드 구조로 구현함으로써 바늘 모양의 단점을 보완하여 태양전지 전기적 특성을 분석하여 태양전지 제작시 변환 효율을 증가시킬 것으로 예상된다.

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