• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• 한국음향학회지
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• 제20권1호
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• pp.50-55
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• 2001

본 논문에서는 청각모델을 이용하여 음성신호로부터 추출한 특징벡터를 2차원 DCT (discrete cosine transform)방법을 사용하여 가공한 후, 새로운 거리측정 방법에 적용하여 한국어 고립단어 인식 실험을 행하였다. 고립단어 인식은 기존에 많은 방법들이 제안되어졌으나, 본 논문에서 제안한 방법은 고립단어 인식을 위한 특징 파라미터로 2차원 DCT 계수를 사용한 것으로 구현이 간단하며, 간단한 계산식으로 인하여 빠른 인식 시간을 가지는 장점이 있다. 제안한 방식의 타당성 검토를 위하여, 고립단어 인식에서 좋은 인식결과를 나타내는 DTW (Dynamic Time Warping)방법을 사용하여 인식률을 비교하였다[5][6]. 실험결과 제안한 방식은 DTW를 사용한 인식방법에 비하여 화자종속 고립단어 인식에서는 거의 유사한 인식결과를, 화자독립 고립단어 인식에서는 더 높은 인식결과를 얻을 수 있었다. 또한, DTW에 비해 패턴비교를 위한 계산시간에 있어서는 200배 이상의 감소효과를 볼 수 있었다. 제안된 방법은 비교 방법에 비하여 잡음환경에서도 강한 특성을 보였다.

• 자원환경지질
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• 제35권2호
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• pp.137-147
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• 2002

자연에서 일어나는 지질작용과 환경변화는 지표 지질물질 내 원소의 존재량에 큰 영향을 미친다. 이 연구에서는 지구화학적 이상현상이 지질기원인지 인위적 요인에 의한 것인지를 판별해 내는 데에 지구통계 .기법을 적용할 수 있는지를 검증하였다. 경기도 전역의 2,290개 1-2차 수계에서 채취한 하천퇴적물(표사, <150 $\mu\textrm{m}$)의 분석결과를 바탕으로, 역거리 가중 보간법으로 광역 지구화학 지도를 작성하였다 지구통계 기법을 검증하기 위해 경기도 남동부에 저반상으로 분포하는 쥬라기 화강암체를 표본지역으로 선정하여, 445개 집수분지를 대표하는 하천퇴적물 시료의 22가지 원소에 대해 요인분석을 하였다. CO, Cf, SC, MgO, Fe$_{2}$O$_{3}$, V, Ni 등이 서로 상관도가 높은 그룹으로 구분되며, 이들의 낮은 함랑은 화강암의 전암 조성에서의 결핍 특성을 잘 반영한다. Co, Cr, Sc을 각각 종속변수로, 이들 외 다른 6가지 성분을 독립변수로 설정하여 회귀분석을 실시하여, 회귀식으로 계산된 값을 바탕으로 분포도를 작성하였다. 회귀식으로 만든 분포도는 각 변수의 본래 분석치로 나타낸 분포도와 매우 유사한 패턴을 보인다 이와 같이 두 가지 분포도가 유사한 것은 회귀분석에 의한 통계기법이 광역적인 지구화차 자료를 해석하는 데에 타당성을 가짐을 말해 준다. 그러나, 일부 성분에서 두 가지 분포도에서 이상대 영역이 서로 일치하지 않는 경우도 있는데, 이는 기반암의 화학조성과는 무관한 이타 요인에 기인할 가능성이 크다 결론적으로, 회귀분석에 의한 지구통계기법을 적용하여, 국지적인 지구화학적 이상현상이 지질기원이 아닌 인위적인 영향에 기인한 것인지를 효과적으로 판별해 낼 수 있는 것으로 검증되었다.

• 한국조경학회지
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• 제44권3호
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• pp.1-12
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• 2016

본 연구는 설악산 국립공원 내 44번 국도를 대상으로 로지스틱 회귀분석을 실시하여 로드킬이 발생한 지역의 공간적 특성을 분석하고, 분석 결과의 적합도 및 예측도를 평가하여 로드킬 발생 근본 원인을 파악하고자 하였다. 2008년부터 2013년까지 구축된 81개의 로드킬 데이터를 종속변수로 설정하고, 선행연구 및 현장조사를 통해 도출한 경사, 향, 식생, 백두대간 등의 자연환경 요인과 펜스 옹벽 등의 인공시설물, 경작지, 주거지역 등의 토지이용 변수를 독립 변수로 설정하고, 로지스틱 회귀분석을 실시하여 회귀식을 추정하였다. 식생 영급, 하천으로부터의 거리, 펜스 옹벽 등의 설치구간, 주거지역 건물 등의 시설로부터의 거리가 로드킬에 영향을 미치는 변수로 선택되었다. 회귀모형에 포함된 모든 변수들은 유의수준(p<0.01)을 충족하였다. 회귀모형에서 로드킬 발생에 가장 큰 영향력을 보인 변수는 펜스 옹벽 등의 설치구간(회귀계수: -1.0135)으로 나타났으며, 가장 낮은 영향력을 보인 변수는 식생 영급(회귀계수: 0.0001)으로 나타났다. 즉, 펜스 옹벽 등의 설치 구간에서는 로드킬이 일어날 확률이 낮으며, 주거지역 건물 등의 시설로부터의 거리가 가까울수록, 하천으로부터의 거리가 가까울수록, 식생 영급이 커질수록 로드킬 발생이 높아질 수 있다. 추정된 로지스틱 회귀모형 결과로부터 로드킬이 일어날 것이라고 옳게 예측한 확률은 74.1%, 로드킬이 일어나지 않을 것이라고 옳게 예측한 확률은 70.4%로 나타났다. 전체적으로는 옳게 분류한 확률은 72.2%로 비교적 높은 비율을 보였다. 본 연구를 통해 로드킬 저감을 위한 계획 및 정책 수립, 방지시설 설치 계획 등의 공간의사 결정에 객관적 근거로 도움을 줄 수 있을 것으로 사료된다.

• 한국측량학회지
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• 제32권5호
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• pp.469-479
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• 2014

네트워크 RTK 기술은 전리층 및 대류층 지연, 위성 궤도력 오차 등과 같은 거리에 종속된 오차의 보정모델링을 통해 GNSS 측위 정확도를 향상할 수 있는 기법이다. 본 연구에서는 전리층 교란의 극대화 시기인 Cycle24 기간 중, 인천지역 내 20점의 통합기준점을 대상으로 N-RTK (VRS 및 FKP) 측량을 실시하고 초기화시간, 성분별 측위정확도 및 좌표 교차를 비교 분석하였다. 연구결과, 측위정확도는 VRS가 FKP에 비해 우수하였고 두 기법 모두, 고도성분은 수평성분에 비해 2배 이상의 표준편차를 보였는데 이는 전자밀도 변동에 따른 전리층교란과 굴절지수의 변동으로 발생되는 대류층의 요동에 따른 것으로 보인다. 각 통합기준점에서 기법별 초기화는 VRS가 FKP에 비해 빠르게 수렴되었다. 이는 N-RTK를 위한 표준화된 고압축 전송형식의 활용과 국내 이동 통신 인프라에 의한 기준국 보정신호의 신호지연이 최소라는 고려 하에서 두 기법간의 기본원리의 차이, 서로 다른 보정 기준망에 따른 상이한 오차특성 및 FKP 보정값의 비선형 특성에 기인된 것으로 분석된다. 특히, 태양흑점폭발과 플레어로 인하여 우주전파환경의 변화가 발생되는 동안에 정확도의 저하, 초기화시간의 연장, 관측도중 재초기화, 심한 경우 초기화 실패 등의 현상이 발생됨을 확인할 수 있었다.

• 토지주택연구
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• 제13권4호
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• pp.73-89
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• 2022

코로나19의 확산으로 공원의 역할이 강조되고 있다. 사회적 거리두기를 비롯한 방역지침 하에 사람들은 안전하게 머물 곳으로 공원을 찾고 있다. 이러한 변화에 맞추어 공원은 물리적, 위치적 특성에 따라 팬데믹 적응 방안으로서 연구될 필요가 있다. 본 연구는 접근성과 통행기능을 가지는 선형공원의 잠재력을 주변 토지이용 특성에 따라 분석하고자 하였다. 대상지는 경의선 숲길 공원의 연남동 구간부터 염리동 구간까지로 설정하였으며, 집계구 경계와 토지이용 특성을 기준으로 네 개의 구간으로 나누었다. 총 생활인구 수를 종속변수로, 코로나19를 포함한 외부 활동에 영향을 미치는 요인들을 독립변수로 설정하여 구간별 다중회귀분석을 실시하였다. 분석 결과는 다음과 같다. 첫째, 상권과 선형공원의 상호작용이 다양할수록 팬데믹 영향이 크게 작용하였다. 둘째, 다양한 상업시설이 밀집할수록 계절성보다 단기적 날씨변화에 민감하게 반응하였다. 이에 본 연구는 주변 토지이용 특성에 따라 선형공원의 이용에 차이가 있음을 시사한다. 나아가 선형공원에 도시의 위기를 극복하고 녹지 접근 형평성을 높일 수단으로 잠재력이 있음을 밝힌다.

• 전자공학회논문지
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• 제50권6호
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• pp.62-71
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• 2013

TDOA (time difference of arrival)와 FDOA (frequency difference of arrival)를 동시에 사용하는 신호원 위치추정 방법은 단일 정보를 이용하는 경우에 비해 높은 정확도를 가지며 이동 신호원의 속도 추정이 가능하다는 장점을 가지고 있다. 최근 종속 미지변수를 정의한 후 비반복적으로 해를 구하는 방법들이 제안되고 있으나 전자전 환경과 같이 수신단과 신호원 간의 거리가 상대적으로 먼 경우에는 추정 정확도가 낮고 모든 수신단 쌍이 동일한 기준 수신단을 공유하여야 한다는 운용상의 제약이 존재한다. 따라서 본 논문에서는 비선형 LS 최적해를 반복계산을 통해 얻어내는 Gauss-Newton 기법을 적용하여 이동 신호원의 위치좌표와 속도벡터를 추정한다. 또한 이동 신호원의 위치와 속도 추정 결과를 효과적이고 정량적으로 분석하기 위해 CRLB (Cramer-Rao lower bound) 행렬을 각각의 부공간으로 분해하여 2차원 공간상에 독립된 CEP (circular error probable) 평면으로 도시한다. 모의실험을 통해 주어진 수신단 배치와 조합에서 이동 신호원의 위치 및 속도 추정 성능을 확인하고 분석 결과를 제시한다.

• 한국조경학회지
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• 제42권3호
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• pp.1-12
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• 2014

도시의 공원녹지는 지역 주민들의 신체활동과 건강증진을 위해서 중요한 역할을 담당할 수 있기 때문에, 본 연구에서는 공원녹지의 다양한 특성과 신체활동 및 건강증진 목적의 공원녹지 이용의 상호관련성을 분석하고자 한다. 설문조사는 경상남도 창원시에 거주하는 541명의 주민들을 대상으로 공원녹지의 이용패턴과 주관적인 근린환경 인식을 파악하기 위해서 실시하였다. 사례지역에 대한 공원녹지의 접근성과 물리적 근린환경에 대한 공간정보를 구축하기 위해서 지리정보시스템(GIS)을 이용하였다. 다중회귀분석은 공원녹지의 특성과 신체활동 목적의 공원녹지 이용횟수, 자가인식 건강수준, 그리고 체질량지수(BMI)와의 상호관련성을 규명하기 위해 수행하였다. 거주지로부터 200m 이내에 분포하는 공원녹지의 출입구와 공원의 개수, 집 주변에서 운동하는 사람을 많이 볼 수 있거나, 저렴하게 이용할 수 있는 운동시설이 많다고 느낄수록 신체활동의 증가에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 집 주변 공원녹지까지의 거리가 가깝고, 공원녹지의 개수가 많고, 면적이 넓을수록, 보행이 편리할수록, 공동주거지역의 비율이 높을수록 자가인식 건강수준(perceived health level)에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 거주지로부터 400m 이내에 분포하는 공원녹지의 개수, 보행환경의 안전성, 공동주거지역의 비율, 도로비율, 교차로 밀도 등이 BMI와 상호관련성이 있는 것으로 나타났다. 독립변수인 공원녹지의 특성과 종속변수인 신체활동 목적의 공원녹지 이용횟수 및 자가인식 건강수준 사이의 다중회귀분석 결과, 유의수준 10% 이내에서 의미가 있는 회귀모형이 도출되었다. 본 연구는 공원녹지와 근린환경의 특성이 지역주민들의 신체활동과 건강에 미치는 영향을 규명함으로써, 향후 신체활동 목적의 공원녹지의 이용을 증진하고 비만을 감소시키기 위한 목적의 조경계획을 수립하는데 활용 가능할 것이다.

• 한국환경생태학회지
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• 제34권5호
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• pp.446-453
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• 2020

본 연구에서는 태백산국립공원 주요 탐방로 입구에 설치된 탐방객 자동 계수기 데이터를 이용하여 탐방로별 일간 탐방객수에 영향을 미치는 요인을 분석하고, 이를 바탕으로 탐방로를 유형화하였다. 일일 탐방객수를 종속변수로 다중회귀분석 실시한 결과, 개천절이나 눈축제 등 행사는 모든 탐방로의 탐방객수에 영향을 미쳐, 태백산국립공원의 일일 탐방객수를 결정하는 가장 큰 요인인 것으로 분석되었다. 3일 이상 휴일이 연속되는 연휴와 일반 공휴일도 대부분의 탐방로의 일일 탐방객수에 영향을 미쳤다. 강수량은 비산행 목적의 탐방객이 많은 탐방로의 탐방객수에는 부(-)의 영향을 미쳤으나, 산행 목적의 탐방객이 많은 탐방로의 탐방객수에는 유의미한 영향을 미치지 않아, 산행 목적 탐방객들은 날씨가 궂더라도 산행을 강행하는 것으로 나타났다. 기온은 산행 목적의 탐방객이 많은 탐방로의 탐방객수에는 정(+)의 영향을 미쳤으나, 눈축제가 열리는 당골광장 인근의 탐방로의 탐방객수에는 부(-)의 영향을 미쳐, 눈축제의 영향권인지 여부가 탐방로 관리에 결정적 요인이었다. K-mean clustering을 이용하여 18개 탐방로를 유형 분류한 결과, 태백산국립공원의 탐방로는 눈축제에 영향을 받는 유형(유형 1)과, 가까운 거리에 볼거리가 많아 비산행 탐방객이 많은 유형(유형 2), 그리고 산행을 목적으로 온 탐방객들이 대부분인 유형(유형 3)의 3개 유형을 분류할 수 있었다. 탐방로 유형별 탐방객 행태와 불법 행위 유형이 다르므로, 유형별 특성에 맞춰 탐방로 관리방안을 마련하여야 할 것이다.

• 한국인구학
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• 제19권2호
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• pp.175-205
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• 1996

영세산업장의 미혼 근로여성들이 당면하고 있는 성에 대한 갈등을 해결하고 삶의 질을 향상시키는 데 대한 사회적 요구가 증가하고 있으나 이에 대한 구체적 대안이 마련되지 못하고 있는 실정이다. 이에 본 연구는 이들 미혼 근로여성들이 삶의 질을 결정하는 여러 요인들을 조사하고 이들 요인이 성에 대한 태도나 행위에 미치는 영향을 분석하여 영세산업장 보건관리정책의 기초자료로 제공하고져 시행되었다. 이 연구는 경인지역에 위치한 일부 중소규모의 제조업에 근무하고 있는 306명의 미혼 근로여성을 대상으로 자기기입식 설문조사방법으로 조사하였고, 성에 대한 지식 및 행태를 종속변수로 하고 삶의 질을 평가할 수 있는 건강행태 및 건강상태, 작업조건에 대한 만족도, 작업환경에 대한 인식 등을 독립변수로 대수회귀분석을 적용하여 분석하였다. 응답자들의 특성은 대부분 19세부터 20대 초반의 고등학교 이상의 학력을 가진 성인기로 이행중인 준비과정에 속한 집단이다. 이들은 대부분 자신들이 스스로 건강하지 못하다고 인식할 뿐만 아니라 높은 음주율과 불규칙한 식습관 등 건강한 삶을 위한 노력이 부족하다. 근무조건에 대해 대부분 불만족하고 유해한 작업환경에 노출되어 있다고 인식하고 있다. 피임방법에 대한 인지율은 높은 편이지만 임신원리 등 성에 대한 구체적이 지식은 낮고 성이나 가족계획에 대한 교육경험이 매우 낮았다. 성에 대한 태도로서 혼전순결에 대해서는 비교적 보수적이었지만 과반수 이상이 혼전 동거를 허용하는 태도를 보였으며 혼전 성경험은 약 15%정도였다. 대수회귀분석 결과 혼전 순결에 대한 개방적 태도에는 가족수가 적은 경우, 하숙이나 자취를 하는 경우, 성지식이 높은 경우, 근무기간이 긴 경우 등이 영향을 미쳤고, 성경험과 상관성이 높은 변수는 근무기간이 짧은 경우, 피임지식이 높은 경우였다. 성경험은 성에 대한 개방적 태도와는 달리 준비되지 않은 상태에서 경험한 후 피임에 관심을 갖는 것으로 해석된다.증가시켰으며 특히 그 중 고학력 여성의 노동수요 증가가 두드러졌다. 요약하면, 한국의 경우 풍부한 고학력 남성노동력의 공급과 비육체노동직에서 여성노동에 대한 수요의 완만한 증가로 여성노동참여에 관한 교육의 효과는 미미할 수 밖에 없다.W.Y 조국은 북쪽으로 279.5m, 그리고 X.Y 조국은 북서쪽으로 224.3m 편위하여, Loran - C 위치가 GPS 위치보다 약 250m 더 편위 된 것을 알 수 있었다.경우 본 논문에서 계산한 각 침로교각에 대한 최소피항개시거리와 안전피항개시거리을 미리 염두해 두고 피항조선을 하게 되면, 감각에 의한 조선방법으로 야기되는 충돌해난사고를 지양 할 수 있으리라 사료된다.만도에 따른 유의적인 증가를 (p<0.05)보여주었으나 여자의 경우는 유의적인 차이가 없었다. TG의 수치는 남자의 경우 KI가 110%미만인 그룹은 $102.9\pm108.2mg/dl,$ 120% 이상인 그룹은 $112.2\pm40.0mg/dl로$ 비만도가 증가함에 따라 TG가 증가되었으나 유의적인 차이는 없었으며, 여자의 경우 유의적인 차이가 없었다. 남자의 경우 HDL-C은 비만도가 증가함에 따라 유의적으로 감소하는 경향을 보였으나(p<0.05) 여자의 경우는 유의적인 차이가 없었다. 6. 조사 대상자의 체지방량 측정결과 체기방률은 남자의 겨우 16.4% 여자의 겨우 24.0%로 나타나 여자의 체지방률이 남자보다 높았다. 7. 신체계측치, 혈압, 혈청 지질간의 상관관계를 살펴보면 TC, TG는 KI, BMI와 유의적인 양의 상관관계를 보였고 (p<0.01), HCL-C은 비체중, BMI, LBM, TBM와 유의적인 음의 상관관계를 보였으며, (p<0.01), KI, SBP와도 음의 상관관계를 보였다. (p<0.05), LCL-C는 KI와 유의적이인 양의 상관관계를 나타내었으며 (p<0.01) BF%, TBF, BMI와도 양의 상관관계를 나타냈었다. (p<0.05).