Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2017.01a
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pp.141-142
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2017
기존의 상용화된 인체공학적 자세교정 의자나 의학적 치료 솔루션은 상대적으로 고가이며 사용자친화적인 접근성을 제공하기 어려웠다. 본 논문에서는 이 문제점을 해결하기 위해 소형 방석에 압력 센서를 접목하고 사용자에게 교정 상태를 상기시키는 시스템을 연구하고 이를 더 사용자 접근성이 좋은 방식을 고안하고자 한다. PushBullet[1] API를 사용하여 Non-Client Application 중심의 Multi-Device 기반 Push notification 기능을 연구하고 이와 기존의 바른 앉은 자세를 유지하는 자세교정 시스템을 결합한 방식을 제안한다.
본 연구에서는 반도체 제조 공정에 이용되는 가스의 흐름을 감지하고 제어하는 장치를 제안하였다 압력센서를 MFC(Mass Flow Controller)에 의해 제어되는 다음 단의 파이널밸브(Final Valve)와 챔버사이의 가스관에 부착시켜, 이 압력센서의 신호와 공압밸브의 동작 신호를 디지털 회로를 이용하여 실시간으로 제어하도록 하였다. 이로써 반도체 제조 공정 중에 발생할 수 있는 2차 소성물로 인한 가스의 흐름 제어와 관련된 시스템 고장을 LED를 통해 실시간으로 확인 가능하다. 또한 가스누출고장발생 시 반도체 제조 공정의 프로세스를 중단시켜 장비의 손상 및 안전사고를 예방하는 기능도 있다. 본 연구에서 개발된 모듈을 이용함으로써 가스밸브의 오동작에 의한 반도체/디스플레이 제조장비의 신뢰성 향상을 기할 수 있다.
Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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v.6
no.5
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pp.373-377
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2005
In this paper the gas leakage controller in processing chamber for semiconductor manufacturing is proposed. A pressure sensor is connected between the final valve and the numeric valve. A pressure sensor signal and a numeric valve signal are controlled by a proposed digital circuit module. Gas leakage condition, producing by 2nd plasticity in semiconductor process, display at LED. The proposed controller module is useful for monitoring the gas flow for preventing the critical process gas leakage.
This paper is written for the purpose of obtaining the information about the weather easily by the development of weather forecast system sensing temperature, humidity, and atmospheric pressure as key information. For this, data is obtained from the Weather Bureau, and analyzed in order to set a standard of weather forecast from the collected data. The pressure sensor and temperature-humidity sensor are fabricated using the piezoresistive effect of semiconductor, which are used to collect data. The weather forecast system is made using microprocessor.
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2019.01a
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pp.445-447
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2019
4차 산업혁명 시대의 도래에 따라 다양한 사물들과 연결되어 새로운 서비스를 제공하는 사물인터넷 기술이 각광받고 있으며, 실생활에 적용하기 위한 연구들이 지속적으로 진행되고 있다. 본 논문에서는 도서관의 좌석과 좌석에 설치된 조명을 자동으로 관리 및 제어하기 위한 사물인터넷 기술 기반의 스마트 도서관 자동화 모델을 제시한다. 제시된 모델은 좌석과 조명을 자동으로 관리하기 위한 아두이노 보드, 사용자 인터페이스 제공을 위한 모바일 웹 서버, 좌석 상태 관리를 위한 데이터베이스 서버, 그리고 구성요소 간 연동을 위한 게이트웨이로 구성된다. 좌석에 부착된 압력 센서로부터 압력을 감지하여 좌석의 점유 및 비점유 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 조명을 제어하며 사용자에게 잔여 좌석 정보를 제공한다. 이를 통해 사용자에게는 편리함을 제공해주는 것과 동시에 에너지 효율을 극대화하고자 한다.
Implantable flexible sensor using polymer/metal multilayer processing technique for telemetrical real-time blood pressure monitoring is presented. The realized sensor is mechanically flexible, which can be less invasively implanted and attached on the outside of blood vessel to monitor the variation of blood pressure. Therefore, unlike conventional detecting methods which install sensor on the inside of vessel, the suggested monitoring method can monitor the relative blood pressure without injuring blood vessel. The major factor of sudden death of adults is a disease of artery like angina pectoris and myocardial infarction. A disease of circulatory system resulted from vessel occlusion by plaque can be preventable and treatable early through continuous blood pressure monitoring. The procedure of suggested new method for monitoring variation of blood pressure is as follows. First, integrated sensor is attached to the outer wall of blood vessel. Second, it detects mechanical contraction and expansion of blood vessel. And then, reader antenna recognizes it using telemetrical method as the relative variation of blood pressure. There are not any active devices in the sensor system; therefore, the transmission of energy and signal depends on the principle of mutual inductance between internal antenna of LC resonator and external antenna of reader. To confirm the feasibility of the sensing mechanism, in vitro experiment using silicone rubber tubing and blood is practiced. First of all, pressure is applied to the silicone tubing which is filled by blood. Then the shift of resonant frequency with the change of applied pressure is measured. The frequency of 2.4 MHz is varied while the applied pressure is changed from 0 to 213.3 kPa. Therefore, the sensitivity of implantable blood pressure is 11.25 kHz/kPa.
Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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2003.02a
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pp.330-331
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2003
분포형 광섬유 센서시스템은 일정한 길이의 연속적인 광섬유 및 광케이블을 매질로 하여 길이 방향에서 생기는 투과율 또는 산란 특성의 변화를 통해 물리량의 변화와 그 위치를 감지하는 시스템을 말한다. 그 중에서 광섬유 내부의 브릴루앙 산란효과를 이용하여 광케이블 주위에 진동, 압력등에 매우 민감한 분포형 광섬유센서를 구성하고 외부로부터의 침입 유무와 위치를 파악함과 동시에 주요시설물의 감시 및 진단이 가능하도록 한다. (중략)
Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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2023.11a
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pp.132-133
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2023
라즈베리파이를 이용하여 폭설로 인한 비닐하우스 붕괴 위험을 감지하고 이를 예방하는 장치를 구현하였다. 비닐하우스 상부에 설치된 압력센서를 이용해 눈이 쌓였음을 판단하고 일정량 이상이 쌓였다고 판단되면 서보모터를 이용한 제설기를 작동시킨다. 사용자는 애플리케이션을 통하여 회원가입, 로그인을 할 수 있고 제설기의 자동 또는 수동제어 여부를 결정할 수 있다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2015.08a
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pp.71-71
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2015
반도체 및 디스플레이 소자 제조를 위한 진공 플라즈마는 다양한 공정 조건하에서 다양한 공정 가스의 물리화학적 반응에 의한 박막의 형석 및 식각 반응을 유도한다. 실 공정 하에서 기체 성분의 환경 조건에 의하여 박막층 및 식각 구조 형성에 심각한 영향이 발생할 수 있으며, 공정 조건에서 기체 압력을 완벽하게 컨트롤 하는 것은 현실상 불가능하므로 기체 부분압력이 실시간으로 반드시 모니터링 되고 이를 피드백으로 하여 압력 변수가 조정되어야 완벽하게 공정을 제어할 수 있다. 이를 위하여 현장에서 플라즈마 공정을 실시간 in-situ 모니터링 할 수 있는 다양한 진단 방법이 도입되고 있으며 접촉신 진단 방법은 플라즈마와 섭동으로 인한 교란을 유발하고, 이온에너지 측정의 한계가 존재하며 비접촉식 방법 중의 하나인 유도형광법(LIF)은 측정 물질의 제한으로 인하여 플라즈마 내에 존재하는 다양한 가스 종의 거동을 살필 수 없는 등 현실 적용 측면에서 실 공정에 적용하는데 단점이 존재한다. 공정 상태 및 RF에 의한 영향을 주고받지 않고, 민감한 공정 변화의 감지 및 혼합가스를 사용하는 실시간 공정 진단을 위하여 비접촉 광학 측정 방식인 발광 분광 분석법(optical emission spectroscopy, OES)이 각광받고 있으며, 본 강습에서는 분광학의 기본 개념 및 OES를 이용한 진공 플라즈마 진단 방법에 관한 전반적인 개요를 설명하도록 한다
The absolute silicon pressure sensors are fabricated using SDB(silicon direct bonded) wafer. The fabricated pressure sensors consist of four bridge type piezoresistances and a diaphragm which plays a role of mechanic amplifier to supplying pressure. In order to make the diaphragm cavity in low vaccum condition, we anodically bonded Si diaphragm with pyrex 7740 glass in 0.02mmHg, at $400^{\circ}C$. The sensitivity and offset voltage of the fabricated sensors were $30.4{\mu}V/VmmHg$ and 30.6mV, respectively.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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