• Title/Summary/Keyword: 간섭측정

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Simultaneous Measurements of Local Phase and Reflectivity Variation of a Surface Using Multiport Homodyne Interferometer (다출력단 호모다인 간섭계를 이용한 위상 및 반사율 분포의 동시 측정)

  • 정희성;김종회;조규만
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.60-61
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    • 2000
  • 표면 형상을 측정하는 방법은 샘플표면의 평평도, 곡률, 거칠기, 깊이 측정등의 수많은 상업적 응용을 위해 광범위하게 개발되어왔다. 이중에서도 특히 간섭현상을 이용한 광 표면 프로파일러는 표면의 3차원 구조를 측정하는데 있어서 subangstrom의 매우 높은 깊이 분해능을 가지므로 샘플 표면의 정밀 진단에 많이 사용되어 왔다. [1,2] 광 간섭 현미경은 기본적으로 광위상 변화를 검출하여 그것을 표면구조변화로 바꾸어주는 역할을 한다. 그러나 광위상 변화는 샘플 표면의 구조뿐만 아니라 물질 변화와 박막두께 변화에도 민감하므로 순수한 표면구조측정은 샘플이 단일물질인 경우에만 달성된다는 문제점이 있다. 따라서 이러한 광위상 측정과 관련된 ambiguity를 해결하기 위해서는 일반적인 광 간섭 현미경에서 얻어지는 위상데이터와 더불어 물질변화를 분석할 수 있는 다른 추가적인 데이터가 필요하다. 이러한 필요성 때문에 우리는 광위상 뿐만 아니라 반사율 분포도 동시에 측정할 수 있는 새로운 방식의 다출력단 호모다인 간섭계(Homodyne I/Q Interferometer; HIQI)를 구성하였으며[3], 그 실험장치도는 [Fig. 1]과 같다. HIQI는 in-phase and quadrature 검출방식에 기반을 두며, 이 검출방식은 PBS에서 반사되는 빛살과 투과되는 빛살 사이의 위상차가 $\pi$/4라는 실험결과로부터 달성된다. HIQI는 샘플 표면의 3차원 구조 뿐만 아니라 광학적 특성의 2차원 분포도 동시에 얻을 수 있다. (중략)

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Protection Ratio for Eureka 147 DAB System against NTSC TV Signal Interferer (NTSC TV 간섭원에 대한 Eureka 147 DAB 시스템의 혼신보호비)

  • Jeong, Young-Ho;Kim, Geon;Yang, Kyu-Tae;Lee, Soo-In
    • Proceedings of the Korean Society of Broadcast Engineers Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.223-227
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    • 2002
  • Eureka 747 DAB 시스템의 혼신보호비는 AM, FM, PAL, SECAM, DAB 등의 동일채널 및 인접채널 간섭원에 대한 조사가 수행되었으나, NTSC TV 간섭원에 대해서는 분석되지 않았다. Eureka 141 DAB 시스템 대부분이 TV 대역인 Band III에서 운용되는 상황을 고려한다면, NTSC TV 간섭원에 대한 혼신보호비 분석은 반드시 필요하다. 본 논문에서는 Eureka 147 DAB 시스템과 아날로그 NTSC TV 시스템간의 혼신보호비중 NTSC TV 간섭원에 대한 Eureka 147 DAB 시스템의 혼신보호비 측정을 위한 간섭환경 설정방법 및 DAB송수신기를 이용한 BER 측정방법, 그리고 측정결과를 제시한다.

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광자쌍의 간섭

  • Kim, Tae-Su;Kim, Heon-O
    • Optical Science and Technology
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    • v.11 no.3_4
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    • pp.5-11
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    • 2007
  • 제1형의 SPDC에서 발생한 광자쌍의 얽힘특성과 연관된 간섭실험들을 소개하였다. 양자역학적으로 두-광자 간섭현상은 간섭계에서 동시계수가 가능한 경로에 대한 확률진폭들의 결맞음으로부터 일어나며, 이는 측정과정에서의 경로에 대한 구별 불가능성과 연관된다. HOM 간섭계에서는 BS에 도달하는 두 광자의 시간차가 없을 때, BS의 출구에서 광자들이 쌍을 이루는 시간적인 두-광자 간섭효과를 관측하였다. SPDC에서 발생하는 넓은 파장영역의 광자들 중에서 서로 다른 두 파장의 광자쌍을 선택하는 경우에도 동시계수측정에서 두 광자의 경로를 구별할 수 없는 경우에는 두 광자의 진동수 차이에 해당하는 주기로 동시계수가 변하는 간섭효과를 관측할 수 있다. 또한 HOM 간섭계에서 BS에 입사하는 두 광의 각도를 변화시키면 광자쌍의 공간적인 4차 간섭현상을 관측할 수 있다

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Diffraction grating interferometer of large equivalent wavelength for flatness testing of rough surfaces (거친 표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계)

  • 황태준;김승우
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.15 no.1
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    • pp.56-62
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    • 2004
  • We present a diffraction grating interferometer of large equivalent wavelength specially designed for flatness testing of rough surfaces. Two transmission diffraction gratings are illuminated on the object under test by use of two measurement beams with different angles of incidence, which yields a large equivalent wavelength. This interferometer design minimizes unnecessary diffraction rays and the systematic error caused by the diffraction gratings, and provides a large working distance and easy alignment. To improve the measurement accuracy, phase shifting technique is applied and the equivalent wavelength error caused by defocus is calibrated. Test results obtained from mirror surfaces and machined rough surfaces are discussed.

Construction of Precision Measurement Interferometer for Standard Ball Diameter (표준구직경 정밀측정 간섭계 제작)

  • Chang, Kyung-Ho;Lee, Yong-Jae;Suh, Ho-Suhng;Do, Jin-Yeol;Kang, Si-Hong
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.8 no.4
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    • pp.347-353
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    • 1999
  • We constructed an interferometer for precise measurement of the ball diameter, and measured the diameter of steel ball with a diameter of 78 mm. The interferometer was consisted of etalon to instal ball between two parallel plates and placed on the monolithic flexure to be moved parallel. The ball diameter was calculated from phase difference of one pair of signals interfered between the both sides of ball and two parallel plates, and the signals was observed by photodetectors with scanning the etalon. The results showed that the diameter of steel ball was 78.1893544 mm and measurement uncertainty of 29 nm in confidence level of 95.5%.

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Nano-scale high-accuracy displacement measurement using the Michelson laser interferometer controlled with a feedback circuit (되먹임 회로로 제어하는 Michelson 레이저 간섭계를 이용한 Nano-scale 미세변위 측정)

  • Ahn, Seong-Joon;Oh, Tae-Sik;Ahn, Seung-Joon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.8 no.5
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    • pp.1007-1012
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    • 2007
  • A novel Michelson interferometer controlled with a feedback circuit(MIFC) has been developed and its performance has been evaluated. This new interferometer can measure the displacement of the sample by directly reading the feedback bias applied to the PZT whose piezoelectric characteristic is known. The experimental result showed that the step height the silicon membrane measured by using MIFC was actually same with the value measured by SEM, which confirms that MICS is an easy and accurate method for the nano-scale displacement measurement.

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Interference Elimination Method of Ultrasonic Sensors Using K-Nearest Neighbor Algorithm (KNN 알고리즘을 활용한 초음파 센서 간 간섭 제거 기법)

  • Im, Hyungchul;Lee, Seongsoo
    • Journal of IKEEE
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    • v.26 no.2
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    • pp.169-175
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    • 2022
  • This paper introduces an interference elimination method using k-nearest neighbor (KNN) algorithm for precise distance estimation by reducing interference between ultrasonic sensors. Conventional methods compare current distance measurement result with previous distance measurement results. If the difference exceeds some thresholds, conventional methods recognize them as interference and exclude them, but they often suffer from imprecise distance prediction. KNN algorithm classifies input values measured by multiple ultrasonic sensors and predicts high accuracy outputs. Experiments of distance measurements are conducted where interference frequently occurs by multiple ultrasound sensors of same type, and the results show that KNN algorithm significantly reduce distance prediction errors. Also the results show that the prediction performance of KNN algorithm is superior to conventional voting methods.

Rotational Prism Stitching Interferometer for High-resolution Surface Testing (고해상도 표면 측정을 위한 회전 프리즘 정합 간섭계)

  • In-Ung Song;Woo-Sung Kwon;Hagyong Khim;Yun-Woo Lee;Jong Ung Lee;Ho-Soon Yang
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.34 no.3
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    • pp.117-123
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    • 2023
  • The size of an optical surface can significantly affect the performance of an optical system, and high spatial frequency errors have a greater impact. Therefore, it is crucial to measure the surface figure error with high frequency. To address this, a new method called rotational prism stitching interferometer (RPSI) is proposed in this study. The RPSI is a type of stitching interferometer that enhances spatial resolution, but it differs from conventional stitching interferometers in that it does not require the movement of either the mirror tested or the interferometer itself to obtain sub-aperture interferograms. Instead, the RPSI uses a beam expander and a rotating Dove prism to select particular sub-apertures from the entire aperture. These sub-apertures are then stitched together to obtain a full-aperture result proportional to the square of the beam expander's magnification. The RPSI's effectiveness was demonstrated by measuring a 40 mm diameter spherical mirror using a three-magnification beam expander and comparing the results with those obtained from a commercial interferometer. The RPSI achieved surface testing results with nine times higher sampling density than the interferometer alone, with a small difference of approximately 1 nm RMS.

표면 형상측정을 위한 큰 등가파장 회절격자 간섭계

  • 황태준;이혁교;김승우
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.178-179
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    • 2000
  • 표면 형상측정은 산업계에서 요구되는 고부가가치 기계부품들의 표면 정보의 확보와 향상에 반드시 필요하다. 이는 정밀부품의 정상적인 기능 수행에 대한 판별과 예측에 중요한 위치를 차지한다. 광원파장의 1/4 이상의 단차를 측정할 수 없는 기존의 간섭계는 이러한 큰 단차와 거친 표면을 가지고 있는 기계가공된 표면들을 측정하는데 어려움이 있다. (중략)

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Fabrication of Metal-based and AIGaAs/GaAs-based Mesoscopic Ring Structures and Characterization of their Quantum Interference Phenomena (금속과 AlGaAs/GaAs의 중시적 고리구조의 제작 및 양자간섭 현상의 측정)

  • 박경완;이성재;신민철;이일항;김주진;이후종
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.4
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    • pp.433-438
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    • 1993
  • 전자의 파동성에 기인하는 여러 가지 양자간섭 현상을 연구하기 위하여, 금속의 미세고리구조을 제작하였다. 전자의 양자간섭과 가간섭 역충돌 효과에 의한 자기저항의 진동형상이 관측되었으며, 자기저항의 비주기 섭동 현상과 비국재현상도 관찰되어 중시적 전기 전도도의 일반식에 의하여 설명되었다. 또한 AlGaAs/GaAs 의 이차원 전자가스총을 이용한 고리구조도 제작되어, 양자 효과와 탄동적 수송의 영역에서 자기저항이 측정되었다.

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