• 한국광학회지
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• 제10권5호
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• pp.373-378
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• 1999

투명한 유전체 박막과 관련된 측정 분야는 반도체 산업의 발전과 함께 급속히 성장하고 있으며, 회로의 고집적화 추세에 맞추어 고정밀도의 측정 성능을 요구하고 있다. 최근 웨이퍼의 광역 평탄화를 위한 CMP(chemical mechanical polishing)공정의 도입으로 인하여 박막의 두께뿐만 아니라 미세 형상에 대한 측정 요구가 증가하고 있다. 이 논문에서는 기존의 비접촉 표면 형상 측정법의 하나인 백색광 주사 간섭법을 이용하여 박막의 두께 형상을 측정하여 새로운 측정 알고리즘 제시하고자 한다. 이 방법은 기존의 백색광 간섭 신호 해석법의 하나인 주파수 분석법과 비선형 최소 자승법을 이용함으로써 구현된다. 그리고 실험을 통하여 개발된 알고리즘의 타당성을 검증한다.

• 비파괴검사학회지
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• 제22권4호
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• pp.393-401
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• 2002

원자력 발전소나 화학공장 등에서 사용되는 보편적인 부재중 하나인 압력배관은 사용중에 내부에 부식 등의 원인으로 결함이 발생되어 구조적 강도나 안전에 문제를 야기한다. 따라서, 이런 결함의 검출은 중요한 문제이다. 현재 신뢰성이 인정되어 사용되는 기존의 비파괴검사법으로는 초음파 X선 그리고 와전류에 의한 방법 등이 있다. 그렇지만 이러한 방법들은 검사하고자 하는 대상과 거의 접촉에 가까운 형태로 검사가 진행되고 있으며, 결함은 넓은 영역에 걸쳐 한번에 검출되지 못하고 탐촉자나 필름이 위치하는 부분으로 검사영역이 한정되는 단점이 있다. 그래서 검사에 많은 시간과 경비가 소모되고 있다. 본 연구에서는 이러한 단점들을 극복할 수 있는 레이저를 이용한 전자 전단 간섭법으로 결함을 측정하였다. 그리하여 압력용기의 내부에 존재하는 다양한 결함의 유무와 결함의 방향을 변위구배를 나타내는 간섭무늬로 검출하고, 검출된 결함에 위상 이동법을 적용하여 정량적으로 측정할 수 있었다. 본 연구는 두 편으로 구성된다. 그 첫 번째는 전자 전단 간섭법을 이용한 압력용기의 내부결함 검출에 관한 연구이고, 두 번째는 그 측정시스템의 오차분석에 관한 연구로 구성되어 있다.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제13권5호
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• pp.917-922
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• 2018

기존의 채널간간섭 자기소거법에서는 표본화창의 길이를 직교 주파수분할다중화의 심볼 길이와 동일하게 정하였다. 이로 인하여 각 부채널의 간섭계수를 구하기 위한 복소연산량이 급격이 증가된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 논문에서는 채널간간섭 자기소거법에서 나타나는 간섭계수에 대한 근사식을 제시한다. 또한, 제시된 근사식을 기반으로 표본화창의 길이를 제한시킬 때 간섭계수의 평균자승오차와 복소연산량을 분석하였다. 그 결과, 제시된 근사식은 원식에 비하여 평균자승오차 면에서 0.01% 미만의 오차를 가지는 것으로 나타났다. 이에 비하여 부채널의 수가 1024인 경우 간섭계수 계산을 위한 연산량은 98% 이상 감소되는 것을 확인하였다. 따라서 제시된 근사식은 자기소거 능력은 거의 변화시키지 않으면서도 연산량을 현저히 감소시킬 수 있으므로 채널간간섭 자기소거법 알고리즘 개발에 유용하게 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

• 한국음향학회지
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• 제5권3호
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• pp.44-49
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• 1986

회로의 간편성에 최대 역점을 두어 PLL을 이용한 정현파 간섭음을 실시간으로 제거하는 방식을 제안하였다. SC 여파기를 이용한 적응 노치 여파기ㅘ 적응 대역 여파기를 자기 동조법으로 구동시킴으 로써 간섭음을 제거하였다. SC 여파기의 구동 스위칭 주파수는 제거하려는 신호 주파수으 L49배가 되 도록 하엿으며 소자의 동작 특성상 4KHz의 간섭음 제거 대역을 갖게 된다. 노치 여파기는 6차 여파기 이고 감쇄도는 중심 주파수에서 약 -56dB이다.

• 한국정밀공학회지
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• 제15권12호
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• pp.113-119
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• 1998

Recently Electronic Speckle Pattern Interferometry(ESPI) has been studied because it has the advantages to be able to measure the whole-field surface deformations of engineering components and materials in industrial areas with noncontact. The speckle patterns to be formed with interference phenomena of scattering light from rough surfaces illuminated by laser light have phase informations of surface deformations. In this study we used this interference phenomena and the phase shifting method to measure the inplane deformations, together with the use of digital image equipment to process the informations contained in the speckle pattern and to display consequent interferograms on TV monitor. FEA was performed before experiments and we obtained good agreement between the experimental results and FEA.

• 한국광학회지
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• 제9권5호
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• pp.326-332
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• 1998

층상평행판의 접착불량을 홀로그래피 간섭법을 이용하여 가시화함으로써 내부결함을 비파괴 탐상하였다. PZT로 측정 대상을 진동시키면서 실시간 홀로그래피 방법으로 접착불량의 특징이 간섭 무늬에 이상무늬로 나타나는 특성주파수를 찾고, PZT의 위치를 변화시키며 시간평균법으로 홀로그램을 구하였다. 재생된 상에서 결함 부분을 영상처리한 후 이들을 합성하여 층상평행판의 전체 면적에 걸친 내부결함 분포를 구하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제13권2호
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• pp.84-93
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• 1996

Non-destructive inspection techniques using laser have been broading their application areas as well as growing their measurement skills together with the rapid development of circumferential technology like fiber optics, computer and image processing. The ESPI technique is already on the stage of on-line testing with commercial products in developed country nations. Especially, this technique is expected to be applied to the nuclear industry, automobile and aerospace because it is proper for the vibration measurement and it can be applied to objects of a high temperature. This paper describes the use of the ESPI system for measuring vibration patterns on the reflecting objects. Using this system, high-quality Jo fringes for identifying mode shapes are displayed. A bias vibration is introduced into the reference beam to shift the Jo fringes so that fringe shift algorithms can be used to determine vibration amplitude. Using this method, amplitude fields for vibrating objects were obtained directly from the time-average interferograms recorded by the ESPI system.

• 한국정밀공학회지
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• 제26권1호
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• pp.97-104
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• 2009

There is a many kinds with nondestructive testing such as RT and UT representatively. Referred before two testing methods there is a limit which is spatial such as nuclear pipe, small vessel, sealing up vessel. So a new technique needs to overcome the limit which is spatial. shearography will be able to overcome the limit which is spatial. This paper introducing shearography which was known as non-contact full-field testing method and It is an interferometric technique for measurement of surface deformation such as displacement or displacement gradient. Also, a research about internal defect of the flange welding zone was accomplished. About variation with method pressurized with the Gaseous Nitrogen. Phase map where is various were measured according to changing a sheared direction, size of crack and loaded pressure. Consequently, crack quantitatively to be detected qualitatively was measured by using shearography.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1997년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.91-95
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• 1997

ESPI(Electronic Speckle Pattern Interferometry) is new optical measuring method to be able to measure the surface deformations of engineering components and materials in industrial areas. Conventional measuring method of surface deformation such as the strain gauge have many demerits because it is contact and point-to-point measuring one. But ESPI that is non-contact, whole field measuring method can overcome previous disadvantages. The speckle pattern to be formed with interference phenomena of scattering light from rough surfaces illuminated by laser light have phase information of surface In this study we used this interference phenomena and the phase shifting method to measure the in- plane deformation, together with the use of digital equipment to process the information contained in the speckle pattern and to display consequent inter ferograms. Finally we obtained good agreement between the experimenta results and those of FEM..

• 한국정밀공학회지
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• 제19권12호
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• pp.20-26
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• 2002

Deformation phase can be obtained by using Least-Square fitting. In extraction of phase values, Least-Square Fitting is superior to usual method such as 2, 3, 4-Bucket Algorithm. That can extract almost noise-free phase and retain 2 $\pi$ discontinuities. But more fringes in phase map, 2 $\pi$ discontinuities are destroyed when that are filtered and reconstruction of deformation is not reliable. So, we adapted Least-Square fitting using an isotropic window in dense fringe. Using Sine/cosine filter give us perfect 2 $\pi$ discontinuities information. We showed the process and result of extraction of phase map and filtering in this paper.