이 글에서는 길이의 정밀 측정에 널리 사용되고 있는 여러 종류의 레이저 간섭계에 대하여 그 작동 원리 및 응용 예를 간략하게 살펴보았다. 아울러, 나노 영역에서의 길이 및 각도를 높은 정확도로 측정할 수 있는 X-선 간섭계의 원리 및 응용에 대하여도 간략히 기술하였는데, 이러한 X-선 간섭계를 이용한 정밀 측정기술은 앞으로도 개발의 여지가 많은 새로운 분야이며, 따라서 그 응용 범위도 점차 널리 확대되리라 예상된다.
Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference
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2002.11a
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pp.35-35
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2002
나노미터 표준을 확립하기 위하여 일체식 엑스선 간섭계에 광간섭계를 결합시킨 복합간섭계를 구성하였다. 복합간섭계는 광간섭계의 Zero crossing 지점부터 표준시편이 올려진 미소이동대의 이동거리를 변화된 위상값으로 읽고 그 변화량을 고분해능 변위 측정기인 엑스선 간섭계로 읽어들이는 구조로 구성된다. 본 연구에서는 미소이동대의 위치 변화와 관련된 광간섭계의 위상 안정도, 엑스선 간섭계 및 미소이동대의 위치 안정도 등이 나노미터 영역의 길이 측정에 매우 중요한 요인이 되므로, 미소이동대의 위치 변화시 정지상태에서의 위상 잠김 (phase locking) 안정도를 측정하였다. 마이켈슨 레이저간섭계의 한쪽 팔을 고정시키고 다른 한 팔은 미소이동대 위에 반사거울을 설치하여 미소이동대의 움직임을 측정하였다. 보다 안정된 위상잠김 상태를 확보하기 위하여 PID feedback loop controller를 사용하였다. 측정 결과 위상 변동폭이 0.022 degree 이하의 높은 위상잠김 안정도를 확보하였으며, 이를 길이단위로 환산하면 정지상태에서 약 0.02 nm 이하의 위치 안정도를 나타낸다.
Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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v.47
no.1
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pp.14-19
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2010
In this paper, a novel architecture for device miniaturization of multimode interference-based couplers (MMICs) is proposed by replacing conventionally designed MMICs by cascaded two-section stepped-width or stepped-index MMICs. For the 82% cross coupling efficiency in a stepped-width MMIC, the coupling length of device results in just 6.7% length reduction. However, for a stepped-width and stepped-index MMIC, the coupling efficiency increases to 93% and the length reduction of 9% occurs. Furthermore, with additional incorporation of tapered devices, it shows that a compact MMIC can be designed in which the coupling efficiency is 90% and the length is reduced to 25%.
인접한 독립 접지전극에 접지전류가 인가된 경우 접지전극 상호간 전위간섭을 일으키게 된다. 상용주파수 접지전류에 대한 전위간섭은 많은 분석이 이루어 졌으나, 뇌서지와 같은 고주파수를 포함하는 접지전류에 대한 전위간섭의 분석은 충분히 수행되지 못하였다. 본 논문에서는 상호간 영향을 줄 수 있는 길이 4 m인 수직 접지전극을 대상으로 주파수에 따른 전위간섭의 영향을 분석하였으며, 수직 접지전극의 주변에 나타나는 대지표면전위와 함께 상호 비교 분석하였다. 그 결과, 전위간섭은 접지임피던스의 변화에 의존하는 경향성을 나타내었으며, 수직 접지전극 길이의 1.5배에 해당하는 이격거리에서 접지전극의 전위와 대지표면전위가 거의 일치하는 것으로 나타났다.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.13
no.5
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pp.917-922
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2018
In the conventional interchannel interference self-cancellation (ICI-SC) schemes, the length of sampling window is the same as the symbol length of orthogonal frequency division multiplexing (OFDM). Thus, the number of complex operations to compute the interference coefficient of each subchannel is significantly increased. To solve this problem, we present an approximated mathematical model for the coefficients of ICI-SC schemes. Based on the proposed approximation, we analyze mean squared error (MSE) and computational complexity of the ICI-SC schemes with the length of sampling window. As a result, the presented approximation has an error of less than 0.01% on the MSE compared to the original equation. When the number of subchannels is 1024, the number of complex computations for the interference coefficients is reduced by 98% or more. Since the computational complexity can be remarkably reduced without sacrificing the self-cancellation capability, it is considered that the proposed approximation is very useful to develop an algorithm for the ICI-SC scheme.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.17
no.6
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pp.17-24
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2000
1960년 Jawan 등이 1.15㎛ 파장을 포함한 6개의 발진파장을 갖는 He-Ne 레이저의 연속 발진을 성공시킨 이후 레이저는 단색성이나 빛의 진직성을 이용하는 계측에서 특히 정밀길이측정에서 매우 중요하게 사용되고 있다. He-Ne 레이저의 발진선폭은 80㎑로써 길이표준기로 사용되었던 Kr-86 스펙트럼선의 선폭(400㎒)의 5,000 분의 1에 해당되는 매우 좁은 선폭을 갖고 있다.(중략)
공작기계 및 측정기계 등은 여러 가지 요인에 의해서 오차를 갖게 되지만, 이들이 갖는 계통오 차는 정밀한 측정과 보정알고리즘에 의해 보정이 가능하다. 보정을 위한 측정방법은 여러 가지가 있지만 측정정밀도가 높은 헤트로다인레이저간섭계가 가장 많이 사용되고 잇다. 따라서 이글에 서는 헤트로다인레이저간섭계의 측정원리와 측정방법과 그 응용예를 소개하였다. 헤트로다인레 이저간섭계는 외부광학기를 교체하여 측정 가능한 길이, 각도, 진직도의 측정이 가능하므로 이 들에 대한 원리와 사용방법을 소개하였으며, 실예로 본 연구소에서 사용중인 제품과 개발한 제 품에 적용하여 시스템 오차의 측정방법과 보정방법을 통해 시스템의 정밀도가 향상됨을 보여 주었다. 헤트로다인레이저간섭계를 이용하여 측정시에도 측정기 자체가 갖고 있는 오차요인 즉, 빛의 속도가 일정하지 않고 공기의 습도, 온도 및 압력에 의해 결정되는 파장변화에 의한 오차와 피측정물의 온도변화에 의한 오차 등을 고려하여야 한다. 이런 이유로 측정시에는 센서를 사용 하여 현재 환경에 대한 영향을 자동으로 보상하든지 수동으로 온도 및 파장의 값을 기입하여 보정을 실시하여야 한다.
A method for measuring the wavefront error and the modulation transfer function(MTF) of large aperture optics using an unequal path interferometer is presented. A bidirectional shearing interferometer is used for collimation testing of the measurement system. A large aperture Fizeau interferometer with long optical path difference measures the wavefront error of the optics under test by using a $\Phi$ 400 mm off-axis parabolic mirror. The MTF is also measured at the wavelength of the interferometer by changing the laser light into partially incoherent light. Test results of a $\Phi$ 300 mm Cassegrain type satellite telescope made in Korea are presented.
A new signal processing algorithm for white light interferometry has been proposed and investigated theoretically. The goal of the algorithm is to determine the absolute optical path length of an interferometer with very high precision (<< one optical wavelength). The algorithm features cross-correlation of interferometer fringe scans and hypothesis testing. The hypothesis test looks for a zero order fringe peak candidate about which the cross-correlation is symmetric minimizing the uncertainty of misidentification. The shot noise limited performance of the proposed signal processing algorithm has been analyzed using computer simulations. Simulation results were extrapolated to predict the misidentification rate at Signal to-Shot noise ratio (SNR) higher than 31 dB. Root-mean-square phase error between the computer-generated zero order fringe peak and the estimated zero order fringe peak has been calculated for the changes of three different parameters (SNR, fringe scan sampling rate, coherence length of light source). Results of computer simulations showed the ability of the proposed signal processing algorithm to identify the zero order fringe peak correctly. The proposed signal processing algorithm uses a software approach, which is potentially inexpensive, simple and fast.
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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v.30
no.5A
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pp.376-381
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2005
In this paper, we propose a new wavelength locking structure which uses the Michelson interferometer equipped with a movable arm. The proposed one consists of LD driver, Michelson interferometer, automatic temperature controller, automatic power controller, and signal processor. This structure can provide the wavelength locking capability of a resolution below 0.0005nm(=62.4MHz) and cope easily with an external environment variation using movable arm of Michelson interferometer to give a good stability.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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