• Title/Summary/Keyword: 가열장치

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Development of Uniform Press for Wafer Bonder (웨이퍼 본딩 장비용 Uniform Press 개발)

  • Lee, Chang-Woo;Ha, Tae-Ho;Lee, Jae-Hak;Kim, Seung-Man;Kim, Yong-Jin;Kim, Dong-Hoon
    • Transactions of the KSME C: Technology and Education
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    • v.3 no.4
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    • pp.265-271
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    • 2015
  • The bonding process should be achieved in vacuum environment to avoid air bubble. In this study, we studied about pressure uniformity that became an issue in thermo compression bonding usually. Uniform press is realized by the method that use air spring and metal form spring. The concept of uniform press using air spring is removed except pressing direction in the press processing so angle between the vector of pressure surface and the pressure axis is parallel automatically. Air spring compensate the errors of machining and assembly. Metal form compensate the thermal deformation and flatness error.

붕화금속 나노입자 합성을 위한 RF 열플라즈마 시스템의 전산해석

  • O, Jeong-Hwan;Choe, Su-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.359.2-359.2
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    • 2016
  • 붕소의 높은 융점과 비점으로 인하여 일반적인 합성법으로는 제조가 어려운 붕화금속 나노물질을 효과적으로 합성하기 위하여 열플라즈마의 특성을 전산해석 하였다. RF (Ratio Frequency, 고주파) 열플라즈마 발생기는 일반적인 직류 열플라즈마 발생기와 비교해 볼 때, 전극 침식에 의한 수명 문제나 불순물의 오염 없이 고온의 열플라즈마를 안정적으로 발생시킬 수 있기 때문에 고순도의 나노입자 합성공정에 좋은 조건을 가지고 있다. 그러나 열플라즈마의 고온 부분은 10,000 K 이상의 높은 온도를 가지고 있기 때문에 직접적인 측정으로는 나노입자 합성에 최적의 조건을 찾기가 어렵고, 전산해석을 통하여 여러 변수들에 대한 열플라즈마의 특성을 분석하여야 한다. 해석조건으로 RF 플라즈마의 입력전력은 25 kW로 고정하고 발생기 직경 20~35 mm, 유도코일 감은 수 4~6 회, 첫 번째 코일으로 부터 분말 주입구까지의 길이 10~30 mm, 방전 기체 유량 30~70 L/min에 대한 변수들에 대하여 붕화금속 나노입자 합성에 최적의 조건을 가진 RF 플라즈마의 온도 및 속도분포를 파악하였다. 전산모사 결과 RF 열플라즈마 발생기의 직경 25 mm, 분말주입구 까지의 길이 10 mm, 유도코일 감은 수 6 회, 방전 기체 유량 50 L/min 일 때, 고온영역이 중심부에 넓게 분포하여 붕화금속 나노입자를 합성하는데 최적의 조건이라 파악되었다. 방전 기체 유량 증가에 따라 고온영역의 중심부 분포를 넓게 할 수 있었으나 유량이 증가할수록 플라즈마 속도가 증가하여 붕소를 기화시키기 위한 가열시간이 짧아지므로 방전기체 유량을 조절하여 적절한 속도를 가진 플라즈마를 발생시켜야 한다. 그리고 코일의 감은 수가 증가할수록 10,000 K 이상 고온영역이 출구 쪽으로 확장되어 붕화금속 나노입자를 합성하는데 좋은 조건이 형성되었다. 본 전산해석 결과를 바탕으로 붕화금속 나노입자를 합성하는 RF 플라즈마 발생장치의 설계 및 운전조건을 적용하여 실험과의 비교연구를 통해 붕화금속 나노입자의 합성공정을 최적화 시킬 수 있다.

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크라이오 워터펌프 및 터보분자펌프 복합시스템의 배기성능

  • In, Sang-Ryeol;Lee, Dong-Ju;Han, Myeong-Hui
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.102.2-102.2
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    • 2015
  • 진공 시스템의 기저상태를 지배하는 것은 대부분의 경우 용기 내면에 수십 단원자 층 정도로 흡착되어 있는 물이다. 용기 압력이 10-9 mbar 대가 될 때까지는 잔류기체의 90% 이상이 수분이고 압력을 10분의 1로 떨어뜨리려면 10배의 시간이 더 필요하다는 소위 1/t 법칙은 광범위한 흡착에너지를 가지는 물분자의 표면방출 특성으로 잘 설명되어진다. 용기가열 등 적극적인 표면처리를 하지 않고 전형적인 압력변화 양상은 그대로 유지하면서 절대적인 시간을 줄이는 가장 직접적인 방법은 물 배기속도를 가능한 한 높이는 것이지만 대부분의 고진공 펌프들에서 물배기속도만 더 증가하도록 만드는 것은 쉽지 않다. 크라이오 워터펌프(CWP: cryo-water pump)는 바로 이런 고민을 제대로 해결할 수 있는 유일한 실용적인 방안이라고 말할 수 있다. 다른 기체분자들의 배기는 일단 염두에 두지 않고 물배기만을 열심히 해서 배기시간을 단축하고 도달 진공도를 낮추는 것을 목표로 하는 장치가 CWP이다. CWP는 모든 기체에 반응하는 정통적인 크라이오 펌프에 비해 훨씬 간단하고 저렴하게 만들 수 있으면서도 진공 시스템에 큰 영향을 미칠 수 있지만 그동안은 물배기의 필요성에 대한 인식이 미흡하고, 또 부수적이고 추가적인 비용이 드는 것으로 생각되어 주목을 받지 못했지만 디스플레이와 반도체 산업을 필두로 물분압을 낮추고 생산수율을 높이는 것에 점점 더 관심이 높아지면서 CWP에 대한 수요도 높아지고 있다. CWP의 물배기는 아주 단순한 응축현상에 의존하므로 물리적으로 이해하고 성능을 예측하는 것이 직관적이지만 사용용도에 따라 물 이외의 기체분자들은 잘 통과시키면서 물배기는 최대화하는 최적설계가 요구되거나 터보분자펌프(TMP)와 같이 이질적인 고진공펌프와 조합하여 사용하는 경우 기체 온도 의존성을 고려해야 하는 등 까다로운 점이 있다. 본 보고에서는 CWP+TMP로 구성된 복합진공배기시스템을 설계하면서 CWP만의 물배기성능과 복합 시스템의 물 및 알곤 배기성능을 예측하고, 두 펌프의 상호관계에 대해 분석하며, 실제 만들어진 복합배기시스템을 사용하여 실험적으로 구한 물 및 알곤 배기속도 측정결과에 대해서도 간단하게 논의하려고 한다.

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Biologic rationale of cancer treatment with hyperthermia (고온온열치료장치를 사용한 종양치료의 생물학적 원리)

  • 김명세
    • Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.47-55
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    • 1999
  • 고온온열치료는 radiofrequency, ultrasound , microwave, 원적외선 등을 이용하여 신체의 부분 혹은 전신을 4$0^{\circ}C$ 이상으로 가열하여 암을 치료하는 방법이다. 우리나라에 도 입된 15기의 기계중 현재까지 사용되고 있는 것은 대부분이 radiofrequency를 사용하는 기 계이며 현재 고신의대, 동아의대, 부산메리놀병원, 여의도 성모병원, 영남의대, 전주예수병원 등에서 환자치료에 사용하고 있다. 고온 온열치료제(hyperthermia)는 직접 암세포를 죽이는 작용, 방사선치료나 항암제치료와 병행하여 그 효과를 증강시키는 작용으로 크게 나눌수 있 다. 직접 암세포를 죽이기 위하여는 43$^{\circ}C$이상의 고온을 사용하여야 하나 인체에서는 42.5$^{\circ}C$ 이상으로 가온하기가 쉽지않아 4$0^{\circ}C$~42$^{\circ}C$ 정도의 온도에서 방사선 치료나 항암제 치료효과 를 증진시키는 작용을 임상에서 주로 사용하고 있다. 특히 방사선 치료와 병합 사용시 그 효과가 뛰어나 간암, 난소암, 대장 직장암, 식도암, 위암, 자궁암, 전립선안, 췌장암, 폐암등, 거의 모든 암에서 부작용을 증가시키지 않으면서 그 효율을 1.1-6.14배나 증가시킨다고 보 고되고 있어 지난 10여 년간 제자리걸음을 하고 있는 암의 치료에 희망을 주고 있다. 방사 선 치료와 병합시 효과를 증대시키는 기전은 1)세포의 핵 합성기 (S-phase)는 방사선 치료 에는 매우 저항력이 강하여 잘 죽지 않으나 고온온열치료에는 예민함으로 암세포는 정상조 직에 비해 산소가 부족하여 염기성대사(anaerobic metabolism)를 많이 함으로 그 부산물인 유산 (lactic acid)이 많이 생성됨으로 정상조직보다 pH가 낮아 암 조직이 정상조직에 비해 고온온열치료에 더 잘 듣는 원인이 된다. 3) 영양이 부족한 상태의 세포는 고온온열치료에 훨씬 예민하다. 4) 암조직은 혈관상태가 정상조직에 비해 좋지 않음으로 정상조직보다 쉽게 가온이 되며, 일단 가온된 온도는 잘 식지 않음으로 정상조직에 비해 훨씬 효율적이다. 5)고 온온열치료는 4$0^{\circ}C$~43.5 $^{\circ}C$정도에서만 이 작용이 일어남으로 정상인체에서 43$^{\circ}C$이상의 가온 은 쉽지 않음으로 이 효과는 암조직에서 주고 일어나게 된다. 6)고온온열치료는 방사선치료 후에 생기는 손상의 재생을 억제함으로 방사선의 치료효과를 높인다. 7)38.5$^{\circ}C$~41.5$^{\circ}C$의 낮 은 온도에서도 암조직의 산소 상태를 호전시켜 방사선 치료효과를 증대시키는 역할을 한다.

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Fabrication of Semiconductor-Insulator-Semiconductor Solar Cells and their Characteristics (SIS 태양전지의 제조 및 그 특성)

  • Kim, Jin-Seop;Lee, Deok-Dong;Lee, U-Il
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.18 no.4
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    • pp.21-26
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    • 1981
  • SnO2/n-Si and ITO/n-Si SIS solar cells have been fabricated ty mears of electron-beam deposition. The optimum oxidation and heat-treatment condition for SnO2/n-Si cells and ITO/n-Si cells are 50$0^{\circ}C$-5min., 30$0^{\circ}C$-10min., and 50$0^{\circ}C$-5min., 30$0^{\circ}C$-20min. respectively. The open-circuit Voltage(Voc), short-circuit current density(Jsc), fill factor(FF), and efficiency (η) under AMI(100mW/$\textrm{cm}^2$) illumination were 0.4V, 34mA/$\textrm{cm}^2$, 0.44, and 6.0%(active area efficiency, 6.9%) for SnO2/n-Si solar cells, and 0.44V, 36mA/$\textrm{cm}^2$, 0.53, and 8.45%(active area efficiency, 9.71%) for ITO/n-Si solar calls.

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A study on the Temperature Control of Insulated Open-End Water Vessel (밑이 트인 단열수조의 온도제어에 관한 연구)

  • Han, Seung-Hun;Bae, Cherl-O;Ahn, Byong-Won
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • v.36 no.8
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    • pp.1097-1103
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    • 2012
  • There are many fish farms being cultivated in the southwestern cost of South Korea. Because the farms cultivating use the basic method that inflow and circulate sea-water, slight negligence and bad design cause major negative impact on fish deaths. Also, the optimal temperature for each specie of fishes has already been proven to differ on each specie. Maintaining this environment, regardless of seasons, is very difficult and that requires research to develop. In this paper, basic characteristics of heat and mechanism of heat transfer are studied. Based on this, Open-end water vessel is designed and constructed using sandwich-insulation panels and simulated to store the heat in certain isolated space. This study confirmed that it is possible to keep constant temperature by this method, in large areas of water where it is insulated by heat insulator. and equipped with heater in Open-end water vessel where the other part is heated. The AC power controller maintains the constant temperature required and the temperature controller detects and displays the temperature by using the micro-processor.

A Numerical Study on Phonon Spectral Contributions to Thermal Conduction in Silicon-on-Insulator Transistor Using Electron-Phonon Interaction Model (전자-포논 상호작용 모델을 이용한 실리콘 박막 소자의 포논 평균자유행로 스펙트럼 열전도 기여도 수치적 연구)

  • Kang, Hyung-sun;Koh, Young Ha;Jin, Jae Sik
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.41 no.6
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    • pp.409-414
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    • 2017
  • The aim of this study is to understand the phonon transfer characteristics of a silicon thin film transistor. For this purpose, the Joule heating mechanism was considered through the electron-phonon interaction model whose validation has been done. The phonon transport characteristics were investigated in terms of phonon mean free path for the variations in the device power and silicon layer thickness from 41 nm to 177 nm. The results may be used for developing the thermal design strategy for achieving reliability and efficiency of the silicon-on-insulator (SOI) transistor, further, they will increase the understanding of heat conduction in SOI systems, which are very important in the semiconductor industry and the nano-fabrication technology.

Studies on the Kimchi Pasteurization -Part 1. Method of Kimchi Pasteurization with Chinese Cabbage Kimchi and its Effect on the Storage- (김치의 순간살균방법(瞬間殺菌方法) -제1보(第-報). 배추 김치의 순간살균방법(瞬間殺菌方法)과 살균효과(殺菌效果)-)

  • Lee, Nam-Jin;Chun, Jae-Kun
    • Applied Biological Chemistry
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    • v.24 no.4
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    • pp.213-217
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    • 1981
  • A Kimchi pasteurizer consisting of preheating, holding, cooling and liquid separation sections was built with copper tubing coil and glasses. The liquid portion of a Chiness Cabbage Kimchi prepared with 3% NaCl solution was preheated and held for 3 minutes at sterilization temperature. Thereafter it was cooled momentarily and recombined with the untreated solid part of Kimchi At four different temperatures of $68^{\circ}$, $75^{\circ}$, $81^{\circ}$ and $85^{\circ}C$ Kimchi was sterilized and examined for the sterilization effects by measuring acid and pH changes of the Kimchi when stored at $15^{\circ}C$. The shelf-life of sterilized Kimchi was prolonged by two folds compared with the untreated one. When Kimchi was sterilized at different maturing stages. the less cured one prolonged its shelf-life more effectively.

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A Study on the Effects of Fin Length on Natural Convection Heat Transfer from a Inclined Flat Plate (경사평판에서의 핀길이가 자연대류 열전달에 미치는 영향에 관한 연구)

  • 천대희
    • Fire Science and Engineering
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    • v.12 no.1
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    • pp.3-8
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    • 1998
  • This study has been conducted experimentally on the effects of natural convection heat transfer characteristics for inclined flat plate with vertical fin in air. The effects of various fin length, flat plate inclined angle and Grashof number are mainly investigated The experimented results are as follows: The mean heat transfer coefficient increase according to the decrease of H/S in the various fin lengh. The mean heat transfer coefficient at H/S-0.5, 1.0, 1.5 for Gr=2.11$\times$103. $\theta$=00 increase by 107%, 43%, 15% than H/S=2.0. The mean heat transfer coefficient decrease with the increase of $\theta$ the inclined angles. The mean heat transfer coefficient at Gr=2.97$\times$103 is constant, at $\theta$= 00 for H/S=0.5 decrease by 33% than $\theta$=90$^{\circ}$. The mean heat transfer coefficient increase as Grashof as Grashof number increase. The mean heat transfer coefficient at Gr=2.31$\times$103, Gr=2.61$\times$103, Gr=2.97$\times$103 for H/S=1.0, $\theta$=0$^{\circ}$increase by 9%, 16%, 28% than Gr=2.11$\times$103.

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Fabricaton of PEMFC separators with conducting polymer composites by injection molding process and evaluation of moldability and electrical conductivity of the separators (전도성 복합재료를 이용한 PEMFC용 separator 사출성형 제조 및 전기전도성 평가)

  • Yoon, Yong-Hun;Lim, Seung-Hyun;Kim, Dong-Hak
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.11 no.4
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    • pp.1361-1366
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    • 2010
  • This research aims to develop polymer composites which can be used for PEMFC separators by injection molding process. Considering the moldability and stiffness, we used PPS(Poly(phenylene sulfide)) and PP(Polypropylene) as base resin. In order to improve electrical conductivity and physical properties, we chose glass fiber, carbon fiber, carbon black, and both expanded graphite and synthetic graphite. The 3 type composites are prepared for injection molding of PEMFC separators. and CAE(Computer Aided Engineering) analysis was conducted to optimize injection processing parameters(injection pressure, heat time, mold temperature etc.). We did successfully fabricate the separators by injection molding, and measure the electrical conductivity of the samples by using four point probe device. Conclusively, PP/SG/CB composite showed better both electrical conductivity and moldability than the others.