• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.1 no.3
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• pp.332-335
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• 1992

초고진공 시스템에 있어서 시스템을 대기압으로 바람을 넣은 후 정상상태로의 신 속한 원상회복을 위하여 건조질소 통풍(venting) 장치를 고안 제작하였다. 이 장치는 액체 질소 저장통, 증발기 및 여과기로 구성되어 있다. 이 장치에 의한 통풍효과와 다른 방법에 의한 통풍효과를 가스 방출률 측정을 통하여 정성적으로 비교 분석하였을 때, 본 장치가 가 장 낮은 가스 방출률과 가장 빠른 진공회복을 보여주었다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.6 no.1
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• pp.55-62
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• 1993

수소 관련된 species를 포함하지 않고 자기제한특성으로 초박막 성장을 용이하게 제어할 수 있는 N$_{2}$O 가스 분위기에서 실리콘의 산화는 질화된 산화막의 재산화공정 보다 훨씬 간단한 공정이다. N$_{2}$O산화로 형성된 Si-SiO$_{2}$ 계면에서 nitrogen-rich층은 산화막 구조를 강화할 뿐만 아니라 게이트 유전체의 질을 개선하고 산화율을 감소시키는 산화제의 확산 장벽으로 작용한다. 초박막 oxynitride 게이트 유전체가 종래의 열산화 방법으로 제작되었고 oxynitride막의 특성이 AES와 I-V 특성 측정의 결과를 분석하여 연구하였다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.11a
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• pp.96-98
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• 2000

암모니아는 대기 중에서 가장 대표적으로 존재하는 염기성 미량기체로서 SOx나 NOx와 같은 산성기체와 반응하여 대기중 산성도를 중화시키고 2차적 에어로졸을 생성한다. 암모니아가스는 이 반응에 의하여 에어로졸 내에서는 암모늄 이온(${NH_4}^{+}$)으로 존재하게 된다. 산성기체를 중화시킨다는 입장에서 염생성 반응은 산성기체의 제거 기작이 될 수 있으나 이 때 생성된 에어로졸은 주로 PM2.5 이하의 2차적 에어로졸로 존재하여 호흡기장애, 건물 부식, 시정 감소 등의 피해를 주는 오염물질이 된다. (중략)

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.49 no.1
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• pp.35-40
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• 2011

The low caloric LNG, which didn't meet the gas interchangeability of Korea, has been imported from 2005 winter season. Amount of this LNG imports has been increased from year to year. In the near future, very low caloric LNG (calorific value ${\leq}$ 9,500 kcal/$Nm^3$) such as CBM, Shale LNG will be imported large amounts. For this reason, we need a method for monitoring live calorific values(CV) of LNG in each storage tank to supply gasified LNG with interchangeable CV at LNG receiving terminal. This study was conducted to develope the method for measuring the live CVs of LNG in each storage tank using LNG densitometer. For this purpose, the accurate correlation between CV and density of LNG was derived and the uncertainty of this method was evaluated and also the measuring system for CVs was constructed at LNG receiving terminal. To verify this method, the results of measurement using this method were compared with the field data of LNG analysis and the results showed that the deviations were 0.17~0.47%.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.35 no.12
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• pp.867-876
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• 2013

To promote the carbon emission trading scheme and reduce greenhouse gas (GHG) emission as following 'Korean GHG & Energy Target Management System', GHG emissions should be accurately determined in each industrial sector. For the estimation method of GHG emission from waste landfill, there are several error parameters, therefore we reviewed the estimation method and proposed a revised method. Methane generation from landfill must be calculated by the selected method based on methane recovery rate, 0.75. However, this methodology is not considered about uncertainty factor. So it is desirable that $CH_4$ generation is estimated using first order decay model and methane recovery should use field monitoring data. If not, $CH_4$ recovery could be applied from other study results; 0.60 of operational landfill with gas vent and flaring system, 0.65 of operational site with landfill gas recovery system, 0.90 of closed landfill with final cover. Other parameters such as degradable organic carbon (DOC) and fraction of DOC decompose ($DOC_f$) need to derive the default value from studies to reflect a Korean waste status. Proper application of MCF that is selected by operation and management of landfill requires more precise criteria.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.109-109
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• 2000

AC형 PDP에서 보호막은 방전시 내구성(내 sputter)이 약한 유전체를 보호함으로써 panel이 장시간동안 안정된 동작을 하게 하며, 방전시 2차 전자를 많이 방출함으로써 방전전압을 낮추는 기능을 갖는다. 또한 패널의 전압특성을 결정하고 수명을 크게 좌우하며 방전전극을 플라즈마 발광에 의한 이온 스퍼터로부터 보호하고 벽전하에 의한 메모리 기능을 가지도록 하는 역할도 하는 것으로 알려져 있다. 일반적으로 보호막의 재료로는 MgO, ZrO, CeO2등이 있으며 특히 MgO는 보호막으로 널리 쓰이고 있다. 일반적으로 MgO의 증착방법의 전자빔 증착, 스퍼터링, 이온 플레이팅법이 있으며 많은 연구자들이 이러한 증착방법에 성장된 박막들을 연구하고 있다. 그러나 Cs을 이용한 MgO의 증착방법은 그리 널리 알려져 있지는 않다. 따라서 본 연구에서는 Ar/O2/Cs을 이용하여 MgO박막을 sputtering 방법으로 증착하였으며 이들의 특성에 관하여 연구하였다. Target으로는 Mg을 사용하였으며 DC sputtering법으로 MgO를 증착하였다. 기판으로는 실리콘과 유리를 이용하였으며 가스로는 Ar과 O2를 이용하고 Cs의 첨가 유무에 따라 증착하였다. 또한 입력 전력, 공정압력, 그리고 O2 가스량에 따라 박막을 증착하였으며 이에 따른 증착속도, 결정성, 조성비를 $\alpha$-step, XRD, 그리고 XPS를 이용하여 측정하였다. CS 참가할 경우 Ar/O2 가스만을 이용하여 증착했을 때보다 증착속도는 증가하였으며 XRD 분석시 (111), (200) 방향으로 우선 성장하는 것을 관찰할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.136-136
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• 1999

박막의 탄성특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 최근에는 탄성특성을 평가할 수 있는 간단한 방법으로 기판 식각 기법을 이용한 freehang, bridge 방법이 제시되었다. 이중에서 bridge 방법은 간단한 식각 기법을 이용하여 얇은 박막에서도 탄성 특성을 평가할 수 있는 방법으로 제시되었다. 그러나 식각 과정에서 발생하는 patch 부분의 under-cut으로 인해 정확한 bridge의 길이를 측정할 수 없게 되어 오차가 발생하고 있다. 본 연구에서는 bridge 방법에서 발생하는 오차를 줄이기 위한 방법으로, patch 부분에 etch-stop을 제작해 줌으로서 식각 과정에서 발생하는 under-cut을 효과적으로 제거시켰다. Etch-stop은 2장의 mask를 align key를 이용하여 제작하였다. 먼저 산화막이 형성되어 있는 Si 기판위에 mask 1을 이용하여 patch 부분을 lithography 작업하고, 습식 식각 공정을 한 뒤 DLC 필름을 증착시킨다. 다음으로 mask 2를 이용하여 bridge pattern을 제작하고, DLC 필름을 증착시킨 후 lift-off 기술과 산화막 등방식각 공정을 통해 bridge를 제작하였다. 이렇게 제작된 bridge를 통해 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류응력과 함께 박막의 응력-변형률 관계식에 적용시켜 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. Sidl 첨가된 DLC 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400V로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응가스는 벤젠(C6H6)과 희석된 실렌(SiH4:2H=10:90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 함유된 Si의 양을 조절하였다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 조절하였다. 필름의 잔류응력은 압축잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률을 laser 반사법을 이용하여 측정하고, 이 결과를 Brenner 등에 의해 유도된 식을 대입하여 계산하였다.

• Korean Journal of Agricultural and Forest Meteorology
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• v.22 no.2
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• pp.79-91
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• 2020

Accurate assessment of greenhouse gas emissions is a cornerstone of every climate change response study, and reliable assessment of greenhouse gas emission data is being used as a practical basis for the entire climate change prediction and modeling studies. Essential, fundamental technologies for estimating greenhouse gas emissions include an on-site monitoring technology, an evaluation methodology of uncertainty in emission factors, and a verification technology for reductions. The closed chamber method is being commonly used to measure gas fluxes between soil-vegetation and atmosphere. This method has the advantages of being simple, easily available and economical. This study presented the technical bases of the closed chamber method for measuring methane fluxes from a rice paddy. The methane fluxes from rice paddies occupy the largest portion of a single source of greenhouse gas in the agricultural field. We reviewed the international and the domestic studies on automated chamber monitoring systems that have been developed from manually operated chambers. Based on this review, we discussed scientific concerns on chamber methods with a particular focus on quality control for improving measurement reliability of field data.

• Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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• v.22 no.2
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• pp.177-186
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• 2002

This paper describes the magnetic flux leakage(MFL) type non-destructive testing(NDT) system to detect the 3D defects in underground gas pipe. Magnetic systems with permanent magnets and yokes are analyzed by 3D non-lineal finite element method(FEM) with optimum design. In case of under-saturation of gas pipe, sensing signals are too weak to detect. In case of over-saturation, the changes of the sensing signals are too low to detect the defects sensitively. So, the operating points of the magnetic system are optimized to increase the changes of the MFL signals. The effects of the depth and size of the defects on the sensing signals are analyzed to define the range and resolution of the MFL sensors. To increase the sensor's sensitivity, the back-yoke sensors are introduced and tested.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2002.05a
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• pp.11-20
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• 2002

This paper describes the magnetic flux leakage(MFL) type non-destructive testing(NDT) system to detect the 3D defects on underground gas pipe. Magnetic systems with permanent magnets and yokes are analyzed by 3D non-lineal finite element method(FEM) with optimum design. In case of under-saturation of gas pipe, sensing signals are too weak to detect. In case of over-saturation, the changes of the sensing signals are too low to detect the defects sensitively. So, the operating points of the magnetic system are optimized to increase the changes of the MFL signals. The effects of the depth and size of the defects on the sensing signals are analyzed to define the range and resolution of the MFL sensors. To increase the sensor's sensitivity, the back-yoke sensors are introduced and tested.