• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.184-184
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• 1999

반도체소자의 고집적, 미세화에 따라 MOSFET 소자에서의 고농도, 미세접합이 요구되고 있다. 이러한 고농도, 미세접합을 형성하기 위하여 기존의 저에너지 이온주입법을 대체 또는 병행할 목적으로 플라즈마 이온주입방법이 활발히 연구되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 이온주입방법을 이용하여 (100) 실리콘 기판에 보론을 주입후 열처리하여 형성된 p+층의 도펀트의 활성화와 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. 본 실험에서 (100)실리콘 기판에 도핑할 소스 가스로 BF3을 주입하고, D.C. pulse 플라즈마 도핑시스템을 사용하여 플라즈마 내의 보론이온을 웨이퍼 홀더에 -1~-5kV의 인가된 음전압에 의해 가속시키어 실리콘 웨이퍼에 주입하였다. 주입에너지 -1kV, -3kV, -5kV와 1$\times$1015, 3$\times$1515의 dose로 주입된 실리콘 기판을 급속가열방식(RTP)을 사용하여 $600^{\circ}C$~110$0^{\circ}C$의 온도구간에서 10초와 30초로 열처리하여 도펀트의 활성화와 미세접합을 형성한 후 SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR을 이용하여 플라즈마 이온주입된 도펀트의 거동과 활성화율을 관찰하였고 FT-IR과 TEM의 분석을 통하여 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR의 분석으로 열처리 온도의 증가에 따라 도펀트의 활성화율이 증가하였고, 이온주입 에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose를 증가시키면 접합깊이가 증가함을 관찰하였다. 이온주입으로 인한 기판손상의 분석을 광학적 방법인 FT-IR과 미세구조를 분석할 수 있는 TEM을 이용하여 분석하였다. 이온주입으로 인한 dislocation이나 EOR(End Of Range)과 같은 extended defect가 없었고, 이온주입으로 인한 비정질층도 없는 p+층을 얻을수 있었다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2003.07c
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• pp.1770-1772
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• 2003

본 연구는 국내에서 최초로 제안되고 적용가능성이 입증되어 설계, 제작된 Probe-type Pockets sensor(HY-Pockets Sensor)를 GIS등의 고전압 장비들에 응용한 레이저 부분방전 진단 시스템 개발을 목표로 하고 있다. 이러한 목적으로, 170kV 급 실 규모 GIS내부의 전류 도체에 다양한 곡률 반경의 침 전극을 부착시켜 부분 방전에 기인된 불평등 전계를 형성시켜 개발된 센서의 실규모 적용 가능성을 고찰하였다. 본 레이저 계측 시스템은 He-Ne laser, single multi-mode optical fiber, $2{\times}2$ 50/50 laser to single mode fiber coupler, probe-type Pockets sensor, photo detector 등으로 구성하여 레이저의 진행을 유도하고, 신호의 특성을 분석하였다. probe-type Pockets sensor로부터 의 출력 신호는 photo detector를 통해 전기적 신호로 변환되어 digital oscilloscope에 의해 측정되고, 또한 PC를 통해 데이터의 저장과 통계적, 분석적 처리 과정을 수행하게 된다. 본 연구의 결과로서 부분방전원에서 생성된 방전 신호에 대한 거리에 따른 센서 감도 결정, 그에 대한 센서 감도의 보정 향상, 전계의 세기의 변화에 따른 센서의 선형성 등이 도출되었고, 이러한 실험결과를 통해 실 GIS(170kv급) 내부에서 발생하는 부분방전의 검출에 본 레이저 부분방전 진단 시스템의 적용 가능성이 제시 되었다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.19 no.8
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• pp.94-101
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• 2005

The silent discharge type ozonizer with three electrodes(central electrode, internal electrode, and external electrode) and one discharge gap(discharge gap between internal electrode and external electrode) has been designed and manufactured. It is a silent discharge type ozonizer for which the AC high frequency voltages applied to the central electrode within vacuum discharge tube and the internal electrode for which the external electrode is a ground Ozone is generated by silent discharge in discharge gap. At the moment, discharge characteristics and ozone generation characteristics were investigated in accordance with vacuum of discharge tube, frequency of AC power source, discharge power of ozonizer, and quantity of supplied oxygen gas. In consequence, ozone characteristics proportional to vacuum of discharge tube and frequency of AC power source. The maximum value of ozone can be obtained 7,700[ppm], 460[mg/h] and 70[g/kwh].

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.128-128
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• 2000

박막의 탄성 특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 이러한 방법들은 필름의 두께가 일정 두께 이상이 되어야 정확한 측정이 가능한 방법으로 매우 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang, bridge 방법이 제시되었으며, 이 방법은 간단한 식각 공정을 통해 매우 얇은 박막에도 적용시킬 수 있다는 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 아주 얇은 박막에서도 탄성특성을 평가할 수 있는 freehang 방법을 이용하여 순수한 Diamond-like carbon (DLC) 필름과 Sidl 첨가된 DLC 필름의 탄성 특성을 평가하고자 한다. 실험에서 사용한 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400 Vb로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응 가스는 벤젠(C6H6), 그리고 벤젠과 희석된 실렌(SiH4 : H2 = 10 : 90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 일정량의 Si을 함유시켰다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 변화시켰으며, KOH(5.6mol) 용액을 이용하여 습식 식각을 함으로써 freehang을 제작하였다. 이때 식각액에 의한 DLC 필름의 손상은 관찰되지 않았다. 필름의 잔류 응력을 측정하기 위해 200$\pm$10 혹은 100$\pm$5$\mu\textrm{m}$ 두께의 얇은 (100) Si wafer를 5$\times$50 mm2의 strip 형태로 절단하여 사용하였다. 필름의 압축 잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률은 laser 반사법과 $\alpha$-step profiler를 이용하여 측정하였으며, 이 결과를 Brenner 등에 유도된 식을 이용하여 잔류 응력을 계산하였다. 또한 제작된 frddhang은 광학 현미경과 전자주사현미경에 의해 관찰되었다. 이렇게 제작된 freehang을 이용하여 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류 응력을 박막의 응력-변형률 관계식에 적용하여 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. 측정 결과 필름의 잔류 응력과 biaxial elastic modulus는 필름의 두께가 감소함에 따라 감소하는 경향을 나타냈으며, 같은 두께의 필름인 경우, 식각 깊이에 따른 biaxial elastic modulus 의 변화를 통해 최적의 식각 깊이를 알 수 있었다.

• Resources Recycling
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• v.9 no.6
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• pp.23-30
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• 2000

Since most of the waste plastics are incinerated and landfilled for the plastic treatment, the environmental friendly processes must be introduced. The plastic utilization of plastic to the blast furnace as a substitutional fuel was developed as a useful recycling method of waste plastics, and commercialized in several ironmaking company in Europe and Japan. Present study was carried out to understand the effect of plastic injection on blast furnace process continuously by using the foundry blast furnace in POSCO. The coke replacement ratio turned out to be 0.98 with the waste plastic injection up to 13.8 kg/thm of injection rate, and there were no significant effect of the kinds of injection plastics on the replacement ratio in this test operation. The permeability in the furnace became worse and the heat load in the lower part of blast furnace was increased with increasing the injection rate of waste plastics. As the rate of plastic injection were increased, the top gas utilization and shaft efficiency were also decreased from the Rist diagram analysis.

• Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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• v.29 no.6
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• pp.654-660
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• 2018

The dependence on global fossil fuels has been gradually reducing all over the world. Some countries which recognized the important of environmental values were joining to carry out international GHG goals. Our country has also participated with high targets (37% reduction compared to BAU 2030 years). So we need to supply materials of lower GHG value such as a bio-diesel. Bio-alcohol is one of the similar bio-fuels that can be reducing GHG. A lot of countries had tried to commercialize through various R&D for bio-alcohol. In this study, we analyzed the fuel characteristics of bio-alcohol fuel produced by domestic technology. And we evaluated a possibility to use as vehicle fuel through mixing of bio-alcohol and gasoline. The mixed fuels were satisfied with 2.3 wt% of oxygen content that is standard of the petroleum and petroleum alternative fuel business Act. We tried to evaluate a emission characteristic of vehicle by mixed fuel. In accordance with the results we tried to find a correlation between fuel and emission.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.25 no.3
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• pp.127-137
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• 2021

The launch complex(LC) is composed of various facilities. The launch control system that operates remotely those of LC spends much time and labor for developing and verifying its control algorithms. The verification of algorithms is performed by the software developer entering simulated state values based on the test procedure and checking the output result according to the algorithm flow. These verification processes should be performed repeatedly, thus the human errors are easily occurred. In this paper, an efficient automated verification method with a script test procedure is proposed to minimize human errors and shorten the verification duration. We also present the results of the algorithm verification tests for the cases of the compressed gases supply system and the electro pneumatic panel system of LC.

• Explosives and Blasting
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• v.40 no.2
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• pp.1-14
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• 2022

Numerical simulation is the most widely used methods for evaluating blasting performance. This study, conducted the numerical analysis of shock chamber model to evaluate the pressure confine effect of the stemming material and plug device. The stemming effect was compared and evaluated with that of the STF-based stemming material currently under development and sand, which is a commonly used blast stemming material. Furthermore, to verify of enhancement the confine effect inside blast hole pressure, three types of stemming plugs were adopted for the numerical analysis. The numerical simulation results revealed that the STF-based stemming materials were superior to the general stemming material. Also, It is evaluated that the STF-based stemming and Plug system can not only prevent detonation gas from overflowing the borehole prematurely, but also prolong the action time and scope of detonation gas in the borehole effective.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.26 no.1
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• pp.28-37
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• 2022

The burning rate estimation method of solid propellants, based on closed bomb tests, has been introduced. The composition of the combustion gas is determined by using CEA and the Noble-Abel equation of state for high pressure operation conditions. Covolume taking into account the collision among molecules due to the actual volume of the molecule is modeled by LJ potential. A cubic form function is applied to calculate the volume change of propellant grains during combustion. The estimated burning rates of five different grain configuation at high pressure are fairly compared with BRLCB results within the maximum error of 6%.

• Journal of Advanced Technology Convergence
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• v.2 no.3
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• pp.17-24
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• 2023

I am designing a research paper with the aim of studying hybrid vehicles. Hybrid vehicles, as the next-generation automobiles, feature a combination of internal combustion engines and battery engines, resulting in a revolutionary reduction in fuel consumption and harmful gas emissions compared to conventional vehicles. The electric motor in hybrid cars derives power from a high-voltage battery installed within the vehicle, which is recharged during vehicle motion. In contrast to traditional cars, which often experience energy losses due to idling caused by traffic congestion, hybrid systems optimize efficiency by skillfully managing the interplay between the internal combustion engine and the electric motor. This approach effectively addresses the inherent drawbacks of gasoline or diesel engines.Hybrid cars offer an array of benefits, including improved fuel efficiency, environmental friendliness, cost-effectiveness, and reduced noise emission. Consequently, they are progressively becoming a favored alternative among a growing number of individuals. This research endeavor has the potential to contribute towards curbing environmental pollution and dedicating efforts to future automotive research.