• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.312.2-312.2
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• 2013

태양전지에서 SiNX층은 반사방지막 역할과 표면 페시베이션의 역할을 동시에 하고 있다. SiNx에서 굴절율과 두께는 반사율과 밀접한 관계가 있으며 동시에 표면 소수캐리어 수명에도 큰 영향을 미친다. 따라서 굴절율과 두께를 조절하여 낮은 반사도와 긴 소수캐리어 수명을 가지는 SiNx 박막을 제조하여야 우수한 효율의 태양전지를 제조할 수 있다. 본 연구에서는 다양한 굴절율과 두께의 SiNx 박막을 결정질 실리콘 태양전지에 적용하여 효율과의 상관관계를 해석하였다. SiNx 박막은 PECVD장비를 이용하여 RF파워, 가스혼합량, 증착시간 등을 각각 변화시키며 형성하였다. RF 파워는 100~500 W로 변화 시켰고 혼합가스 변화는 SiH4가스와 NH3가스, Ar가스를 각각 주입하며 증착하였다. RF 파워 300W, 가스혼합량 SiH4 90sccm, NH3 26sccm, Ar 99sccm과 기판 온도 $300^{\circ}C$, 공정시간 58초에서 포면 반사율 1.09%와 굴절률 1.965, 두께 76nm를 갖는 SiNx층을 형성 할 수 있었다. SiNx층을 증착하여 셀을 제작한 결과, 개방전압: 0.612V, 전류밀도: 38.49 mA/cm2, 충실도: 75.62%, 효율: 17.82%를 얻을 수 있었다.

• Tribology and Lubricants
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• 제37권5호
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• pp.164-171
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• 2021

Ultrasonic sensors show various reception characteristics based on the density of the measurement medium; hence, they are used in various fields to benefit from the characteristics of ultrasonic signals. In this study, the reception characteristics according to the thickness of the first matching layer are compared and analyzed for application to gas tank microleak detection. Accordingly, three types of sensors are manufactured with varying thicknesses of the first matching layer, namely 4.8 mm, 5.1 mm, and 5.5 mm; further, a direct measurement method is used wherein the sensor is attached to the inside of the chamber. Experiments are conducted to observe the phase change due to microleakage, which is the most linear in the sensor with the 4.8 mm thick first matching layer. This is assumed to be the result of stable signal transmission and reception with little phase deviations over time because the first matching layer is closest to the ultrasonic wavelength. The other sensors show nonlinear results with increasing thickness of the first matching layer. Through this study, it is found that appropriately selecting the thickness of the first matching layer of the ultrasonic sensor can greatly influence sensor reliability.

• 한국가스학회지
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• 제13권3호
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• pp.15-21
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• 2009

가스하이드레이트는 고압저온 조건하에서 물분자에 의해 가스분자가 포획되어 이루어진 얼음형태의 고체상 결정물로 정의되며, 가스 파이프라인 또는 천연가스 생산시설에서의 하이드레이트 형성은 심각한 유동저해 문제를 야기할 수 있다. 반면에 다양한 분야에 응용 잠재력을 갖고 있는 가스하이드레이트의 저장밀도 특성 및 안정성은 천연가스 저장 및 수송에 획기적인 수단으로 활용될 수 있다. 그러나 형성과정의 복잡성 및 느린 반응, 비용 등의 문제는 여전히 해결해야할 주요과제로 남아 있다. 본 연구에서는 가스하이드레이트의 인공생성에 있어, 압력과 온도, 물함량 대비 가스저장비율, SDS의 농도, 교반 및 비교반 효과와 같은 각 주요인자별로 하이드레이트 생성성능에 미치는 영향을 실험적 방법을 통하여 비교함으로써 그 상관관계를 규명하였다.

• 한국주조공학회지
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• 제21권3호
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• pp.187-191
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• 2001

가스분무장치를 이용하여 제조된 304 stainless steel 분말의 미세응고조직 특성을 투과전자현미경으로 관찰하였다. 분말이 sandwich 현상으로 존재하도록 구리로 전기도금한 후 tripod jig 를 이용하여 기계적 연마하여 TEM 시편을 제작하였다. 이 방법으로 제조된 TEM 시편은 넓은 지역에서 200KV 로 가속된 전자가 투과하기에 충분히 얇았으며, 작은 분말의 경우에는 분말 전체를 관찰할 수 있었다. 제한시야회절법(SADP)을 이용하여 100 ${\mu}m$ 이하 분말의 결정구조를 조사한 결과에 따르면 가스분무법으로 급냉응고된 대부분의 분말은 austenite 상으로 응고되었으며, 모든 austenite 분말은 크기에 관계없이 쌍정조직 (twinstructure)이 발견되었으며 그 밀도 역시 아주 높았다. 그러나 직경이 2 ${\mu}m$ 이하의 분말에서는 큰 과냉 (supercooling) 효과에 의하여 준결정상인 bcc 상으로 응고됨을 발견하였다.

• 한국진공학회지
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• 제4권1호
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• pp.77-84
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• 1995

LCD용 다결정 실리콘 TFT의 제조에 요구되는 고품위의 다결정 실리콘 박막을 60미만의 저온 공정으로 제조하는 기술로 비정질 박막의 고상 결정화(solid phase crystallization) 가 유망하다. 본 연구에서는 고진공 화학증착기를 이용하여 증착된 비정질 실리콘 막의 고상결정거동에 대해 연구하였다. 고상 결정화 속도 및 결정화 후의 결정성(결정립 크기 및 결함 밀도) 화학증착시의 증착가스의 종류(SiH4 혹은 Si2H6), 공정 압력, 증착 온도 등에 민감한 영향을 받으며 Si2H6가스의 사용, 증착 압력의 증가, 증착온도의 감소는 최종 결정립의 크기를 현저히 증가시킨다. 또한 증착전의 기초 진공도를 높임으로써 반응기 잔류 가스에 의한 산소나 탄소 등의 막내 유입이 감소되어 결정화 속도가 증가하고 결정성이 향상되었다.

• 자원ㆍ환경경제연구
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• 제9권1호
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• pp.93-125
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• 1999

본 연구에서는 네트워크 특성을 반영하여 생산성을 분할함에 있어 1인당 소비량 효과, 소비자 밀도 효과, 시스템 규모 효과 등을 추가적인 원인요소로 고려하는 네트워크 산업 생산성 분석 방법론을 제시하고, 이 방법론을 천연가스산업에 적용하여, 한국, 미국, 캐나다, 프랑스, 이태리, 일본의 가스산업 생산성에 대한 국제비교분석을 수행하였다. 실증분석 결과, 미국과 캐나다의 경우, 생산성 증대(productivity growth)의 가장 주요한 요소가 1인당 소비량 증대 효과로 나타났으며, 일본과 프랑스의 경우 기술진보, 그리고 이태리의 경우 주로 소비자 밀도변화를 통해 생산성 증가가 이루어졌음을 알 수 있었다. 한국의 경우에는 시스템 확장과 1인당 소비량 증가가 생산성을 증가시킨 주요 요인으로 나타났다. 또한 생산성 수준 격차의 국제비교 결과, 한국의 생산성 수준은 일본을 제외하고 가장 낮은 수준에 있으며, 이러한 생산성 격차 (productivity difference) 의 주원인은 1인당 소비량 차이에서 발생한 것으로 분석되었다. 따라서 생산성 증대를 위해서는 1인당 소비량 증진을 위한 산업 정책의 추진이 가장 긴요한 것임을 알 수 있었다.

• 월간 기계설비
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• 통권43호
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• pp.76-82
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• 1994

본 논문에서는 도시공해 방지를 위해 도시가스를 사용하는 경우 거주자의 생활 수준이나 단지의 밀도 및 난방부하 설정 등에 다소 차이는 있으나 소규모 고층아파트(공동주택)의 난방방식중 중앙난방 방식과 개별난방 방식의 초기 시설비, 연료비, 시설 관리비의 경제성을 검토하고 난방 시스템의 지침을 제시하였다. 전체 공사비(초기투자비)는 개별난방 방식이 중앙난방 방식 보다 약2$\%$정도 절감 되었다. 난방비와 시설관리에 따른 인건비 면에서도 난방의 경우 개별난방 방식이 중앙 난방방식에 비하여 난방과 하절기 운수만을 별도로 사용하는 경우 개별난방방식이 중앙난방방식보다 난방비가 9$\%$정도 더 들었으며, 시설관리 인건비 면에서는 중앙 난방 방식보다 개별난방 방식이 66.7$\%$ 적게 들었다. 전체적으로 중앙난방 방식보다 개별난방 방식이 초기투자비 및 유지관리 면에서 경제성이 우수함이 확인되었다. 본지에서는 삼익건설 기획관리부 홍도유 과장이 $\ulcorner$공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성에 관한 연구$\lrcorner$ 자료를 지난 1월호엔 지면관계로 게재하지 못했음을 알려 드린다.

• 월간 기계설비
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• 통권44호
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• pp.90-101
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• 1994

본 논문에서는 도시공해 방지를 위해 도시가스를 사용하는 경우 거주자의 생활 수준이나 단지의 밀도 및 난방부하 설정 등에 다소 차이는 있으나 소규모 고층아파트(공동주택)의 난방방식중 중앙난방 방식과 개별난방 방식의 초기 시설비, 연료비, 시설 관리비의 경제성을 검토하고 난방 시스템의 지침을 제시하였다. 전체 공사비(초기투자비)는 개별난방 방식이 중앙난방 방식 보다 약2$\%$정도 절감 되었다. 난방비와 시설관리에 따른 인건비 면에서도 난방의 경우 개별난방 방식이 중앙 난방방식에 비하여 난방과 하절기 운수만을 별도로 사용하는 경우 개별난방방식이 중앙난방방식보다 난방비가 9$\%$정도 더 들었으며, 시설관리 인건비 면에서는 중앙 난방 방식보다 개별난방 방식이 66.7$\%$ 적게 들었다. 전체적으로 중앙난방 방식보다 개별난방 방식이 초기투자비 및 유지관리 면에서 경제성이 우수함이 확인되었다. 본지에서는 삼익건설 기획관리부 홍도유 과장이 $\ulcorner$공동주택에 있어서 중앙식과 개별식 가스난방의 경제적 특성에 관한 연구$\lrcorner$ 자료를 이번 3월호를 끝으로 게재한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.278-278
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• 2011

수소 중성입자빔을 이용한 silicon etching은 기존의 silicon etching 공정 가스(Fluorine이나 Chlorine 계열의 가스) 사용 시 배출되는 유해 가스로 인한 지구 온난화 방지 및 폐기물 처리에 추가적인 비용이 발생하지 않는 친환경 etching 공정이다. 본 연구에 사용된 수소 중성입자빔을 발생시키기 위한 플라즈마 소스는 낮은 압력에서 높은 플라즈마 밀도를 발생시킬 수 있는 ECR 플라즈마 소스를 사용하였으며 중성입자빔의 에너지를 조절할 수 있는 중성화판과 플라즈마로부터의 전하손상을 방지할 수 있어 charge free 공정을 가능하게 하는 Limiter로 구성되어 있다. 본 연구에서는 플라즈마 밀도, 공정 압력 그리고, 중성입자빔의 에너지를 조절하여 수소 중성입자빔을 이용한 poly-crystal silicon과 a-Si:H 간의 etch rate와 etching selectivity를 관찰하였다.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2006년도 추계학술발표대회
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• pp.291-294
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• 2006

본 연구는 화재로부터 인명과 재산을 보호하기 위한 자동 소화 시스템으로서 마이컴을 사용하여 고신뢰성, 고정밀도, DIGITAL화를 추구하는 시스템을 개발 하였다. 기존의 소화 방제 시스템들은 스프링클러를 사용하여 물로 화재를 진압하고 있으며 이러한 시스템은 비용이 많이 들고 대량의 물을 사용하고 있기 때문에 수손피해($80{\sim}120{\ell}/min$)가 있고 대용량 펌프 및 $47,000{\ell}$의 저장시설이 필요하다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 시스템은 이산화탄소($CO_2$ 가스나 하론1301 가스 또는 질소 가스를 분사하여 대기 중의 산소를 희석시키거나 질소의 양을 증가시키는 방법으로 화재를 진압하는 시스템을 개발 하였다. 개발된 시스템은 고가의 장비 즉, 전산실, 통신기기실, 전기실, 발전기실, 케이블실, 제어실, 필름 보관실 등에 사용되어 장비를 보호하고 인명의 피해를 최소화하는데 사용될 것 있다.