• Title/Summary/Keyword: 가스밀도

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커패시터에의 적용을 위해 PET 필름에 스퍼터 증착한 ZrO2 박막의 특성

  • Gwon, Neung;Fei, Chen;Ryu, Han;Park, Sang-Sik
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.389.1-389.1
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    • 2014
  • 최근의 환경 및 에너지에 대한 관심으로 수요가 증가하고 있는 하이브리드 및 전기 자동차나 태양광발전, 풍력발전용의 인버터기기에는 고에너지밀도 커패시터가 필수적이 되었다. 높은 에너지 밀도를 요구하는 전력전자, 펄스파워 등의 응용분야에 사용되는 고에너지밀도 커패시터는 PET (Polyethylene terephtalate)와 PP (Polypropylene)와 같은 폴리머 유전체를 사용하는 범용 필름 커패시터가 사용되었으나 사용 요구 조건의 한계에 도달하여, 새로운 유전체를 적용하는 커패시터가 절실히 필요한 상황이다. PET와 PP와 같은 유전체는 유전상수가 2~3의 낮은 값을 가지고 있어 고에너지밀도를 구현하기가 어렵다. 본 연구에서는 새롭게 요구되고 있는 고에너지 밀도 커패시터의의 성능을 만족시키기 위하여 $20{\sim}50{\mu}m$ 두께의 PET 필름상에 세라믹 유전체인 $ZrO_2$ 박막을 스퍼터(Sputter) 증착법에 의해 코팅하여 종래의 필름 커패시터와 세라믹 커패시터의 장점을 갖는 커패시터를 제조하기 위한 박막 유전재료의 개발을 목표로 하였다. 수백 nm~수 ${\mu}m$ 두께의 $ZrO_2$ 박막을 스퍼터링 공정조건에 따라 증착한 후 박막의 결정성, 기판과의 부착성, 증착속도, 유전상수, 절연파괴강도, 온도안정성 등을 XRD, SEM, AFM, EDS, XPS, Impedance analyzer 등에 의해 평가하였다. $ZrO_2$ 유전체막은 상온에서 증착하였음에도 정방정(tetragonal)구조의 결정질로 성장하였고 증착압력이 증가함에 따라 주피크의 세기가 감소하였다. 증착 중 산소가스를 주입하였을 경우에도 결정질막으로 성장하였다. 증착막들은 산소가스의 양이 증가함에 따라 짙은 흰색으로 변하였으며 PET 기판과의 접착력도 약해졌다. 또한 거칠기는 Ar가스만으로 증착한 경우보다 증가하였으며 24~66 nm의 평균 거칠기값을 보였다. PET위에 Ar가스만으로 증착한 $ZrO_2$의 비유전율은 1kHz에서 116~87의 비유전율을 보여 PET에 비해 매우 우수한 특성을 보였다. $ZrO_2$ 막들은 300kV/cm의 전계에서 대략 10-8A 이하의 누설전류를 보였다. 증착가스비를 달리하여 제조된 시편에서도 유사한 누설전류값을 나타내었다. 300 kV/cm 전후의 전계까지 측정한 $ZrO_2$ 막의 P-E (polarization-electric field) 특성을 확인하였는데, 5 mTorr의 압력에서 증착한 막은 253 kV/cm에서 $5.5{\mu}C/cm^2$의 분극값을 보였다. P-E커브의 기울기와 분극량에 따라 에너지밀도가 달라지므로 공정조건에 따라 에너지밀도가 변화됨을 예측할 수 있었다. PET위에 스퍼터 증착한 $ZrO_2$ 유전체막은 5mTorr의 Ar가스분위기에서 제조할 때 가장 안정적인 구조를 보였으며, 고에너지밀도 커패시터에의 적용가능성을 보였다.

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A Study of Hot Gas Velocity Measurement in GCB Using Small-Gap (Small-Gap을 이용한 가스차단기에서의 열가스 속도측정에 관한 연구)

  • Chong, J.K.;Kim, H.K.;Song, K.D.;Park, K.Y.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07b
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    • pp.1044-1046
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    • 2005
  • [$SF_6$] 가스차단기를 개발하기 위해서는 차단기가 동작하는 동안에 차단기 내부에서의 유동 파라메터(압력, 밀도, 온도, 속도 등)의 값을 정확하게 분석하는 것이 매우 중요하며, 특히, 아크가 존재할 경우 열가스 이동속도에 대한 분석은 필수적이다. 본 연구에서는 small-gap 측정시스템을 이용하여 시험용차단기가 동작할 때 차단부에서 발생하는 열가스의 이동속도를 측정하기 위한 연구내용을 정리하였다.

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Analysis of the cause of dose delivery errors due to changes in abdominal gas volume during MRgART pancreatic cancer (췌장암 MRgART시 복부가스용적 변화에 의한 선량전달오류 원인 분석)

  • Ha, Min Yong;Son, Sang Jun;Kim, Chan Yong;Lee, Je Hee
    • The Journal of Korean Society for Radiation Therapy
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    • v.32
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    • pp.73-83
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    • 2020
  • Purpose: The purpose of this study is to confirm the matching of the electron density between tissue and gas due to variation of abdominal gas volume in MRgART (Magnetic Resonance-guided Adaptive Radiation Therapy) for pancreatic cancer patients, and to confirm the effect on the dose change and treatment time. Materials and Methods: We compared the PTV and OAR doses of the initial plan and the AGC(Abdominal gas correction) plans to one pancreatic cancer patient who treated with MRgART using the ViewRay MRIdian System (Viewray, USA) at this clinic. In the 4fx AGC plans, Beam ON(%) according to the patient's motion error was checked to confirm the effect of abdominal gas volume on treatment time. Results: Comparing the Initial plan with the average value of AGC plan, the dose difference was -7 to 0.1% in OAR and decreased by 0.16% on average, and in PTV, the dose decreased by 4.5% to 5.5% and decreased by 5.1% on average. In Adaptive treatment, as the abdominal gas volume increased, the Beam ON(%) decreased. Conclusion: Abdominal gas volume variation causes dose change due to inaccurate electron density matching between tissue and gas. In addition, if the abdominal gas volume increases, the Beam ON(%) decreases, and the treatment time may increase due to the motion error of the patient. Therefore, in MRgART, it is necessary to check the electron density matching and minimize the variability of the abdominal gas.

Analysis of z-axis direction of the ion saturation current to the pressure of the process gas in the ICP system (ICP system에서 공정가스와 압력에 따른 z축 방향의 이온포화 전류밀도 변화 분석)

  • Kim, Dong-Hun;Ju, Jeong-Hun;Kim, Seong-Bong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.11a
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    • pp.280-280
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    • 2015
  • 플라즈마 진단법 중 내부에 삽입하여 측정하는 단일 랭뮤어 탐침법은 플라즈마 특성을 정확하게 측정할 수 있다. 탐침에 (-)극을 걸어서 들어오는 전류를 통해서 이온포화 전류밀도를 측정할 수 있다. 본 연구에서는 유도결합플라즈마에 흐르는 가스와 압력에 따라서 변화를 확인하였다. $H_2$, Ar, $CF_4$ gas로 10 mTorr, 70 mTorr, $CF_4$ 주입위치의 조건으로 플라즈마 밀도를 구하였다.

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POLICY & ISSUES 환경정책 - 2012년 기후대기 정책 주요 추진방향

  • Hwang, Seok-Tae
    • Bulletin of Korea Environmental Preservation Association
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    • s.398
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    • pp.6-8
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    • 2012
  • 여름의 폭염, 가뭄, 긴 장마, 가을의 폭우, 겨울의 폭설, 혹한 등등 지구 온난화로 인한 이상(異常) 기후가 어느덧 일상이 되어가고 있다. 후손을 위해 지구를 지킨다는 말보다 당장 지금 세대의 생명과 건강을 지키기 위해서라도 온실가스 감축에 적극 나서야할 형편이다. 이미 배출된, 또 앞으로 배출될 온실가스로 인해 발생하는 기온 상승에 적응하는 일도 게을리 할 수 없다. 기후변화만이 문제가 아니다. 안타깝게도 우리나라는 높은 인구밀도, 산업화 등으로 인해 대기오염도가 OECD 국가 중 최하위 수준이다. 호흡기 질환 등 건강에 직접적인 영향을 미치는 대기질의 개선을 위해 더더욱 노력해야 할 때다.

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Examination of validation for equivalent gas to replace natural gas (천연가스를 모사하는 등가가스의 유효성 검토)

  • Kim, Jong-Min;Lee, Seungro;Lee, Chang-Eon
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.22 no.2
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    • pp.128-135
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    • 2013
  • In order to estimate the combustion characteristics and the gas interchangeability for natural gas with various compositions per each production area, equivalent gas are using to replace natural gas. It is known that an equivalent gas has the same the heating value, the compression factor, the relative density, CO emission and the burning velocity as the original natural gas. However, it is not reported that the flame shape and thermal efficiency and NOx emission by real gas appliance. In this study, equivalent gas was examined the validation to replace natural gas. The CO emission the burning velocity and the flame temperature were reconfirmed, and the flame shape, the NOx emission and the thermal efficiency were numerically and experimentally investigated. As results, there was not a large difference between natural gas and equivalent gas. This result demonstrated that there was no problem using equivalent gas to replace natural gas.

Numerical Modeling of Current Density and Water Behavior at a Designated Cross Section of the Gas Diffusion Layer in a Proton Exchange Membrane Fuel Cell (고분자전해질 연료전지의 동작압력에 대한 가스 확산층의 위치 별 전류밀도 및 수분거동에 대한 수치해석)

  • Kang, Sin-Jo;Kim, Young-Bae
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.36 no.2
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    • pp.161-170
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    • 2012
  • There are many factors to consider when attempting to improve the efficiency of fuel cell operation, such as the operation temperature, humidity, stoichiometry, operation pressure, geometric features, etc. In this paper, the effects of the operation pressure were investigated to find the current density and water saturation behavior on a cross section designated by the design geometry. A two-dimensional geometric model was established with a gas channel that can provide $H_2$ to the anode and $O_2$ and water vapor to the cathode gas diffusion layer (GDL). The results from this numerical modeling revealed that higher operation pressures would produce a higher current density than lower ones, and the water saturation behavior was different at operation pressures of 2 atm and 3 atm in the cathode GDL. In particular, the water saturation ratios are higher directly below the collector than in other areas. In addition, this paper presents the dependence of the velocity behavior in the cathode on pressure changes, and the velocity fluctuations through the GDL are higher in the output area than in inlet area. This conclusion will be utilized to design more efficient fuel cell modeling of real fuel cell operation.

A Study on Cogeneration System Using 5ton/day Scale Downdraft Waste Wood Gasifier (5톤/일 하향류식 가스화기를 이용한 폐목재 가스화 열병합 발전기술 연구)

  • Yoon, SangJun;Kim, YongKu;Lee, JaeGoo;Kim, KiSe;Kang, ByungChan
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.174.2-174.2
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    • 2011
  • 최근 유가상승과 석유, 천연가스의 가채 매장량의 한계등과 함께 온실가스에 의한 지구온난화 방지를 위하여 미국, 유럽국가 및 캐나다 등에서는 바이오매스를 이용한 에너지 회수 기술개발에 많은 관심과 연구를 수행하고 있다. 바이오 매스는 에너지 밀도 대비 존재하는 지역이 광범위하여 발생, 수집, 수송에 따른 비용이 많이 소요되는 특성이 있어 산지에서 직접처리하거나 수집하여 대규모처리등과 같이 여러 가지 현장상황에 따라 적정한 플랜트 운용의 유연성을 갖추고 있어야 한다. 일반적으로 바이오매스로부터 중소형으로 분산형 발전이나 수소제조를 위해서는 직접 연소법 보다는 가스화 방식을 이용하고 있는데, 연소에 의해 열을 생산하여 전기를 생산하는 방식은 스팀터빈을 이용하는 것이며, 스팀터빈은 소형 운용이 어렵기 때문이다. 본 연구에서는 폐목재로부터 합성가스제조를 위하여 5톤/일 규모 가스화기를 제작하였으며, 타르 및 수트와 같은 미반응 물질을 제거할 수 있는 집진, 세정장치를 설계 및 제작하였다. 또한 합성가스에 함유된 현열로부터 열회수를 위하여 열교환기를 설치하였으며, 정제된 합성가스를 이용하는 가스엔진을 통하여 열병합 발전시스템 연계운전을 수행하였다. 운전 실험을 폐목재 가스화 3톤/일 규모로 수행하였으며, 평균 1,500kcal/$Nm^3$의 발열량을 갖는 합성가스를 생성시킬 수 있었다. 사이클론, 스크러버 및 기수분리 장치를 이용하여 정제된 합성가스는 합성가스 엔진을 통하여 72kW 이상의 전력생산이 가능하였다. 열교환기를 통하여 평균 15,000kcal/h의 배열 회수가 가능하였으며, 바이오매스 가스화 합성가스를 이용한 열병합 발전이 가능함을 입증하였다.

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Numerical modeling of ICP-nitriding system using CFD-ACE+ (CFD-ACE+를 이용한 ICP-nitriding system의 수치 모델링)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.268-268
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    • 2009
  • 고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 연료 전기 분리판용 질화 장치를 플라즈마를 모사할 수 있는 3차원 전산 유체 역학 프로그램인 CFD-ACE+를 이용하여 해석하였따. 내장형 안테나 타입의 유도 결합 플라즈마의 전자 온도, 밀도 균일성, 가스 유동, 얇은 기판이 촘촘히 적재 되었을 경우의 플라즈마 특성을 모사하였다.

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