Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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pp.517-517
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2012
높은 전력 효율과 간단한 매칭 네트워크의 구조 등 많은 장점을 갖고 있는 직경 560 mm 페라이트 챔버가 대면적 웨이퍼에 대응하기 위해 개발 되었다. 플라즈마 소스원이 챔버 외곽에 위치해 있는 구조적 특성으로 인하여 아르곤 가스 방전 시 플라즈마 밀도 분포는 챔버 중앙부가 낮게 나타나는 볼록한 모양으로 형성 되는데 헬륨 가스를 적절히 혼합할 시에 밀도 분포가 변화가 관찰된다. 헬륨 가스 혼합 비에 따라 플라즈마 밀도 분포는 균일도가 매우 높아 질 수 있으며 60% 이상의 혼합비에서는 중앙 부분의 밀도가 최대치로 역전되는 오목한 밀도 분포가 나타나기도 한다. 이는 헬륨 가스의 대표적인 특징인 가벼운 질량과 높은 이온화 에너지 등에 기인하는데 이러한 특징을 갖는 헬륨 가스를 주입하게 되면 전자의 energy relaxation length가 늘어나게 되며 ambipolar diffusion 계수가 증가하게 된다. 랑뮈어 프로브를 이용하여 측정된 플라즈마 밀도 분포 변화는 앞서 계산 된 energy relaxation length 및 ambipolar diffusion 계수들의 변화로 설명된다.
Park, Kwoan-Sik;Choi, Yun-Sang;Kim, Hyun-Wook;Song, Dong-Heon;Lee, Soo-Yeon;Choi, Ji-Hun;Kim, Cheon-Jei
Food Science of Animal Resources
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제32권4호
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pp.504-511
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2012
The effects of the addition of wheat fiber on physico-chemical properties and sensory characteristics of pork loin cutlets were investigated to develop pork loin cutlets formulated with different concentrations of wheat fiber (0, 1, 2, 3, and 4%). The moisture content, ash content, pH, and lightness of pork loin cutlets increased with increasing wheat fiber levels (p<0.05). However, the fat content, calorie, redness, hardness, cohesiveness, gumminess, and chewiness decreased with increasing wheat fiber levels (p<0.05). The protein content, yellowness, and springiness of pork loin cutlets did not show significant difference (p>0.05). The sensory evaluation shows the greatest overall acceptability was ranked at the pork loin cutlets added with wheat fiber at 3%. Pork loin cutlets with added wheat fiber could be commercially acceptable meat products, and can be improved quality characteristics. The best results were obtained for pork loin cutlets with addition of 3% wheat fiber.
The effects of whole wheat flour on the Rheological Properties of dough gassing power of yeast S.cerevisiae and breadmaking properties were studied. The blending ratios of whole wheat flour to bread making flour were 0, 25, 50, 75 and water absorption in the farinography increasedlinerly from 62.5%in 100% bread making flour and 77.5% in 100% whole wheat flour. The hardness and cohesiveness of dough prepared with optimum moisture content was constant regardless of the blending ratio of whole wheat flour. whole wheat flour had no effect on the total gas production or the internal gas content in the dough at a constant moisture level but had detrimental effect on the loaf volume. In a dough at the optimum moisture level, whole wheat flour increased the two former parameters sensory evaluation indicated that the replacement in the range of 25 to 50% with whole wheat flour at the optimum moisture level was acceptable
Kim, Jong-Gyu;Kim, Gwan-Ha;Lee, Cheol-In;Kim, Chang-Il
Proceedings of the KIEE Conference
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대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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pp.41-43
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2005
$Cl_2$ 플라즈마에 있어서 Ar 가스의 첨가에 의한 효과를 보기 위해 Ar 첨가 비율 rf 전력, 반응로 압력을 변화시켜가며 그 에너지와 질량을 분석하였다. Ar 첨가 비율에 따른 각 입자들의 질량 분석을 통해서, Ar의 비율이 80% 일 때 물리적, 화학적 반응이 최대가 되는 것을 확인하였다. 또한 Ar 첨가 비율에 따른 각 이온들의 에너지 분석을 통해, Ar 가스의 첨가에 의해 $Cl^+$ 나 $Cl_2^+$ 이온들의 이온 선속은 증가하나 그 에너지가 감소하는 것을 확인하였다. 반응로 압력과 rf 전력의 제어를 통해 이온 전류밀도, 이온 에너지와 전자온도를 제어 할 수 있음을 확인하였고, Ar 첨가 비율을 변화시키면서 전자 밀도 분포 함수의 변화를 관찰하여 이를 통해 Ar 비율에 따른 이온화 비율과 전자 온도, 밀도 등의 관계를 확인하였다.
O, Seung-Ju;Lee, Hyo-Chang;Lee, Jeong-Gyu;Lee, Yeong-Gwang;Jeong, Jin-Uk
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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pp.440-440
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2010
$SF_6$ 기체 및 Ar/$SF_6$ 혼합 기체 방전은 실제 반도체 및 디스플레이 공정에서 널리 쓰이고 있지만, 측정상의 어려움으로 인하여 정량적인 데이터 및 기본 연구가 부족한 실정이다. 본 연구는 유도 결합 Ar/$SF_6$ 혼합 기체 플라즈마에서 다양한 압력과 혼합 가스 비율에 따른 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구에 관한 내용이다. 낮은 가스 압력에서 $SF_6$ 기체의 혼합 비율이 증가함에 따라서 상대적으로 적은 전자 밀도 감소와 전자 온도의 증가가 보였다. 하지만, 높은 가스 압력에서 $SF_6$ 기체의 혼합 비율이 증가함에 따라 상당한 전자 밀도 감소와 급격한 전자 온도 증가 (~ 9 eV)가 관찰되었다. 이러한 전자 온도와 전자 밀도의 극적인 변화는 $SF_6$ 기체 증가에 의한 전자-중성종 충돌과 음이온 생성으로 인한 것으로 여겨지며, 유체 모델 및 전자 가열 모드를 고려하여 해석하였다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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pp.133-133
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2010
중성입자빔 입사장치(neutral beam injection, NBI)의 중성빔 에너지 효율은 이온원의 수소 이온밀도 분율이 결정한다. 이온원에서 만들어진 $H^+$, $H_2^+$ 그리고 ${H_3}^+$는 중성화 과정(neutralization) 중 해리(dissociation) 때문에 각각 입사 에너지의 1, 1/2 그리고 1/3을 가진 중성입자가 된다. 중성빔 에너지 효율 제고하기 위해서는 이온원의 전체 이온 중 단원자 수소 이온 밀도 증가가 필요하다. 유도결합형 수소 플라즈마 이온원에서 RF 안테나 주파수에 따른 플라즈마 밀도와 단원자 수소 이온 밀도 비율 변화를 관찰하였다. RF 플라즈마에서 가스 압력이 결정하는 전자의 운동량 전달 충돌 주파수 대비 높은 RF 안테나 주파수(13.56 MHz)와 낮은 RF 안테나 주파수(수백 kHz)의 전력을 인가하였으며, Langmuir 탐침, 안테나 V-I 측정기 그리고 QMS(quadrupole mass spectrometer)을 이용하여 플라즈마 특성을 진단하였다. 플라즈마 밀도와 수소 이온 밀도 분율은 플라즈마 가열 메커니즘과 수소 플라즈마 내 반응 메커니즘에 의해 결정된다. 플라즈마 가열 메커니즘에 따른 실험 결과에 대한 RF 안테나 주파수 효과는 플라즈마 트랜스포머 회로 모델을 통해 해석하였으며, 수소 플라즈마 내 반응은 0-D 정상 상태의 입자 및 전력 평형 방정식 결과로 해석하였다.
Optimal grinding condition was examined by changing only the size of screen opening with fixing other factors to produce coal fines of particle sizes required for circulating fluidized bed gasifier. At least 85 wt% of the coal particles should fall into the size range of 0.045~1.0 mm for efficient gasification. In this study, hammer mill was used to grind Chinese low rank lignite coal following grinding condition designed by Taguchi method. The analysis of signal to noise ratio showed that optimum grinding condition for the gasifier was 3 mm in primary screen size and 1.3 mm in secondary screen size on the 95% level of significance.
상용 CFD(Computational Fluid Dynamics) 프로그램인 PHOENICS를 이용하여 245kV $SF_6$ 가스 차단기의 진상소전류 차단성능을 평가하였다. 소전류 차단시에는 아크가 발생 즉시 소호되므로 $SF_6$ 가스를 전리가 일어나지 않은 냉가스로 취급할 수 있다. 그러므로 PHOENICS를 이용하여 극간의 $SF_6$ 가스밀도 및 전계의 변화를 계산하였으며 이것으로부터 극간 $SF_6$ 가스의 절연내력(Dielectric Strength)을 계산하였다. 계산된 $SF_6$ 가스의 절연내력과 아크 소호 후 극간에 인가되는 회복전압(Recovery Voltage)을 비교하여 차단기의 진상소전류 차단성능을 평가하였다. 245kV 차단기에는 전계를 완화하기 위한 목적으로 차단부에 쉴드가 설치되어 있으며 이 쉴드에 의한 소전류차단성능의 변화를 해석하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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