Chemical mechanical polishing(CMP) realizes a surface planarity through combined mechanical and chemical means. In CMP process, Preston equation is known as one of the most general approximation of the removal rate. Effects of pressure and relative speed on the mechanical property of Cu CMP has been investigated. On the other hand, The amount of abrasion also increased with changes in pressure and speed, resulting in a proportional increase of temperature during CMP. Especially this temperature is an important factor to change chemical reaction in a Cu CMP. However, when the slurry temperature became higher than $70^{\circ}C$, the removal rate went lower due to abrasives aggregation and scratching occurred on the Cu film. Therefore, it was found that the slurry temperature should not exceed $70^{\circ}C$ during Cu CMP. Finally, authors could increase the pressure, speed and slurry temperature up to a ceratin level to improve the removal rate without surface defects.
초고압 가공처리는 별동의 화학 보존제를 사용하지 않고도 저온에서 식품유래 미생물을 사멸시킬 수 있기 때문에 식품분야에서 주목받는 새로운 가공기술이다. 이러한 초고압 처리의 장점 덕분에 관능적 특성이 우수하고 영양성분이 그대로 보존되는 고품질 식품의 제조도 가능하다. 고압 조건에서의 미생물 사멸정도를 측정하기 위해서는 흔히 실험실 규모의 장비(그림 1)을 사용하여 소량의 미생물 접종액을 처리함으로서 대량 처리시(그림 2)의 양상을 예측할 수 있다. 초기에 개발된 실험실 귬의 초고압 처리장비에는 일반적으로 고압용기 내부에 온도감지 장치가 부착되어 있지 않아, 압력 조건 하에서의 압축발열 및 순간 감압냉각 효과가 제대로 보고되지 않았다. 그러나 가열효과를 고려하지 않으면 초고압 처리기 특유의 가압 특성 대문에 실험 결과의 재현성을 얻기가 힘들고, 특히 대용량 생산설비의 경우 더욱 그러하다. 이론적으로 초고압 처리는 매우 예측 가능한 공정이다. 즉 고압요기 내부에서는 어느 지점이던 간에 압력이 고르게 분포되고, 가열 확산에 근거한 처리공정과는 달리 압력이 모든 지점에 순간적으로 공정상 불균일이 야기될 소지가 있는 부분은 오직 압축에 다른 발열과 열 전달에 의한 온도 편차에 기인한다. 실제로 처리 대상 제품과 압력 전달매체의 압축시 발열정도 차이와 시료, 매체, 고압용기 간의 열 손실 또는 열 흡수 대문에 고압처리 공정에서 온도가 일정하지 않을 수 있다.
최근 원적외선에 대한 붐이 일고 있다. 그 원인은 다양하게 생각할 수 있지만 주요한 원인은 무엇보다도 불황을 타개하려는 기업의 신규사업이다. 특히 섬유 업계에 있어서는 종래의 제품만으로는 발전이 없고, 그 존속마저도 위태로운 상황이다. 이와 같은 배경 아래 섬유 관련 업계에서는 새로운 기능을 부여한 상품의 개발에 여념이 없다. 이들 기능성 섬유의 하나가 원적외선 섬유이다. 원적외선은 1800년 독일 과학자 하셀이 태양광을 스펙트럼으로 나누는 연구 중 눈에 보이는 파장중 적색의 외측에서도 한온계에 감지되는 열선이 있는 것을 발견했다. 그 열선은 눈에는 보이지 않지만 적색광보다는 한온계의 온도 상승이 큰 것을 알았다. 적색광 외측에 있는 열선으로 다른 사람들은 이것을 적외선이라 불렀지만 맥스웰에 의해서 적색광도 적외선과 같은 전자파로서 이론 체계를 붙이게 되었다.
가장 오래된 금속성형법 중의 하나인 열간 단조는 재결정온도-고상선(강재의 경우, 일반적으로는 1,200-l,28$0^{\circ}C$)의 온도로 재료를 가열하여 간단한 형상의 소재로부터 하나 또는 둘 이상의 공정을 통하여 최종제품을 생산해내는 소성가공법이며, 이것은 절삭 가공에 비하여 재료의 손실이 적으며, 생산속도가 빠르고 또한 단류선(flow line)의 방향으로 인장강도, 충격강도 등의 기계적 강도가 커야 할 필요가 있는 제품의 대량 생산에 적합한 가공법이다.
기계 공작의 목적은 금속을 필요에 따라 새로운 형태로 가공하려는 것이다. 보통 이 과정은 공구와 가공물의 두 고체간 접촉에 의해서 이루어지게 된다. 이때 상호접촉은 금속의 소성유동이나 필요 없는 부분을 제거(절삭 가공)하도록 하므로써 새로운 형태로 만드는 과정을 의미한다. 새로운 모양을 만드는데는 높은 마찰과 높은 온도 및 공구의 마모를 동시에 수반한다. 따라서 기계공작유는 이러한 작업 과정의 효과적인 수행과 전반적인 능률에 영향을 미치게 된다. 소성 가공과정에서는 금속의 연성에 의해서 재료가 파괴됨 없이 가공물을 변형 하므로써 모양을 변화 시킨다. 여기에는 연속 과정과 불연속 상태 과정으로 구분되고 그에 따라 윤활의 목적이 다르게 된다. 기계 공작유에 관한 참고 서적은 많이 있으나, 공작유 첨가제의 화학작용과 그 기능에 관한 것은 거의 없고, 부분적인 논문은 많이 있으나 정리된 것은 많지 않아서 이 모든 자료에 의해 가공융의 첨가제에 관련된 화학 작용등 중요 사항을 구체적으로 살펴 보기로 한다.
피스톤형의 extruder를 사용하여 조건별 보리의 extrusion 가곡적성을 검토하였다. 비교 검토된 가공조건으로서는 원료 보리가루의 수분함량 15, 25, 35%, 겉보기 전단속도 118, 534, $1169sec^{-1}$, extrusion 온도 90, 120, 150, $180^{\circ}C$가 조합되어 사용되었다. extrusion에서의 보리가루의 물성적 특성과 가공된 제품의 품질을 측정하였다. 사용된 전단속도 범위에서 보리가루는 평균유동계수 0.28을 갖는 의가소성의 물성적 특성을 보여주고 있었다. 제품의 종합적 외관, 다이 팽윤(die swell), 밀도, 가수복원성, 복원시 팽윤, 호화도등을 고려하고, 실제의 extrusion가공시 전단속도의 조정을 감안한다면 수분함량 $25{\sim}35%$와 $120^{\circ}C$ extrusion 온도 조건이 국수류와 같은 제품에 적합한 가공조건이었고, 수분함량 25%와 $150^{\circ}C$ extrusion온도 조건이 스넥이나 후레이크 제품의 가공에 좋은 것으로 나타났다. 고온의 고수분함량에서의 extrusion시 extrusion제품의 수분함량은 에너지수지로부터 상당히 잘 예측될 수 있었다.
질칼로이-4에 있어서 flow stress strain rate 의존성을 냉간가공 및 소둔된 시편에 대해 20$0^{\circ}C$-45$0^{\circ}C$ 온도 구간에서 응력이완 실험으로 조사하였다. 전체 실험온도에서 In-3-ln i 관계식은 $10^{-5}$-$10^{-3}$ sec$^{-1}$ strain rate의 구간에 걸쳐 선형관계를 보였다. 냉간 가공된 질칼로이 -4의 strain rate sensitivity, m값은 30$0^{\circ}C$에서 최소값을 보인 반면, 소둔된 시편의 경우 30$0^{\circ}C$와 45$0^{\circ}C$에서 최소값들을 보였다. 최소값의 m이 나타나는 온도는 가공시효값이 극대값을 보이는 온도와 일치한다는 사실이 확인되었다. m값의 감소는 활동자유전위들이 산소원자에 의해 pinning된 결과로 유발되는 가공 시효와 관련된 것으로 고려된다. 그리고 소둔된 시편이 45$0^{\circ}C$에서 가지는 최소 m값은 철 원자들로 인한 가공 시효에서 기인된 것으로 생각된다.
국내의 기능성 난연성 섬유 제조기술은 원사 자체에 난연제가 포함된 상태인 난연 PET 원사나, 일반 PET 원단에 후방염 처리한 원단이 사용되기에 난연 방염성능이 만족스럽지 못하고 친환경적이지 못한 실정이다. 오늘날 세계 난연섬유 시장 규모는 10조원에 이르고 있으며 국내에서도 화재에 대한 경각심이 높아지는 추세이므로 기능성을 갖춘 고부가가치 난연소재의 개발이 시급하다. 폴리페닐렌술피드(PPS)는 내열성 및 내화학약품성이 뛰어난 열가소성 고분자로 용융방사가 가능하다. 난연성이 높은 양모섬유 또는 아크릴계 난연섬유, 아라미드 섬유 등은 비용 문제로 범용화에 한계가 있으므로 비교적 저렴한 PPS 섬유가 개발될 경우 범용화를 기대할 수 있다. 현재는 PPS 섬유가 특수한 용도에 주로 사용되고 있으나 우수한 난연 특성을 이용하여 일반 용도로의 사용 및 수요가 급격히 늘어날 것으로 예상되며 우선적으로 인테리어용 원단, 특히 커튼이나 소파용 원단으로 용도 전개가 가능할 것으로 판단하였다. 본 연구에서는 소파용 PPS 원단의 후가공 조건의 선정 및 불소계 발수방오가공을 위한 최적의 조건을 선정하고자 하였다. Padding(wet pick up율 $80{\pm}3%$)-Drying($105^{\circ}C$, 2.5min)-Curing은 시간은 1분으로 고정시킨 후, 온도를 150, 160, 170, 180, 190, $200^{\circ}C$에서 처리하여 Yellowness값을 측정한 결과, 온도가 높아질수록 Yellowness값이 커지는 것으로 미루어 보아 PPS원단은 높은 열에 영향을 받아 황변 현상이 일어나는 것으로 사료된다. 특히 $180^{\circ}C$를 기점으로 값에 큰 변화를 보였으므로 최적의 열처리 온도는 $170^{\circ}C$로 선정하여 이후의 실험을 진행하였다. 또한 큐어링 시간이 황변에 미치는 영향을 분석한 결과 온도에 의한 영향에 비해 적은 편으로 사료되었으나, 1.5min을 기점으로 Yellowess값이 높아졌으므로 최적의 열처리 시간을 1분으로 선정하였다. 최종 가공조건인 $170^{\circ}C$, 1분에서 처리한 시험포는 처리전 원단과 비교하였을 때, ${\Delta}$Yellowness가 2.84 정도로 나타났다. 그 후, PPS 원단에 불소가공제 (TG-991N, 동인텍스켐)의 적정 농도를 선정하기 위해 1~7%까지 농도를 높이며 처리한 결과, 불소가공제의 농도가 높아짐에 따라 황변현상이 나타남을 알 수 있었다. 농도가 높아짐에 따라 Yellowness값은 증가하다가 4% 이후 완만해지는 것을 알 수 있었으므로 IPA/Water Drop test와 발수도시험 (KS K 0590;2008)을 통해 적정 농도를 선정하였다. PPS 원단은 불소가공제의 농도가 높아짐에 따라 발수도가 우수해졌으며, 가공제 농도 3% 처리만으로도 우수한 발수도를 나타내었으나 100% 발수를 위해서는 가공제 농도가 5% 이상 처리되어야 하는 것을 확인할 수 있었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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