D.C Magnetron Reactive Sputtering 법으로 증착한 $PbTiO_3$ 박막의 열처리에 따른 c-축 배향성의 변화
(Effect of Annealing on c-axis Orientation of $PbTiO_3$ Thin Films by D.C magnetron Reactive Sputtering)
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- 한국세라믹학회지
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- 제33권7호
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- pp.802-808
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- 1996