Inductively Couppled Plasma를 이용한 $Ba_{1-x}Sr_xTiO_3$ 박막이 건식 식각
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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- pp.207-208
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- 1997