$SiH_4$ Soak Effects for Optimization of Tungsten Plug Deposition on TiN Barrier Metal
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 반도체재료
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- pp.54-56
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- 2001