• 한국세라믹학회지
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• 제37권7호
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• pp.625-631
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• 2000

In this study, the characteristics and sinterablities of TiO2 powders which were fabricated on sol-gel process and supercritical fluid process were examined. The powders fabricated on sol-gel process were amorphous. The particle size and shape were changed with the amount of water used for hydrolysis of titanium ethoxide. The powders were changed from amorphous to crystalline by heating at 400℃. The crystalline anatase TiO2 powders were directly prepared in ethanol supercritical fluid condition that temperature was 270±3℃ and pressure was 7.3 MPa. It's primary crystalline size was 20 nm and agglomerated as spherical shape whose size was 0.7∼1㎛. The powders prepared on sol-gel process were not sintered densely at 900℃ because of abnormal grain growth. However, the powders which prepared on supercritical fluid process were sintered densely at the comparatively low temperature of 800℃ by ideal growth of grain, which are fired at 900℃.

• 청정기술
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• 제26권4호
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• pp.304-310
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• 2020

다양한 건축재료에 광촉매(TiO2)를 적용하기 위하여 TiO2-mayenite를 제조하였다. TiO2는 졸-겔법을 사용하여 titanium isopropoxide (TTIP)와 urea를 1:1의 비율로 고정하여 합성하였다. 그 후 온도범위 400 - 700 ℃로 소성하여 온도에 따른 특성을 분석하였다. TiO2의 물리 및 화학적 특성은 BET, TGA 그리고 XRD를 통해 분석되었다. 질소산화물 제거 실험은 KS L ISO 22197-1에 의거하여 1 시간 동안의 NO의 농도변화를 측정하여 확인하였다. 제조된 입자들은 600 ℃ 이하에서 아나타제 결정구조를 나타내었고, TiO2 (urea)-400에서 2.35 µmol h-1의 가장 높은 질소산화물 제거율을 나타내었다. TiO2-mayenite는 TiO2 분산 용액을 스프레이하는 방법(s/s)과 졸-겔 상태의 용액을 스프레이 하는 방법(g/s)으로 제조하였다. BET와 XRD 분석을 통하여, 제조된 TiO2-mayenite는 졸-겔 상태의 용액을 스프레이 하여 제조한 5-TiO2 (g/s) 입자가 열처리에도 결정구조를 유지하는 것을 확인하였다. 또한 질소산화물 제거 실험에서도 5-TiO2 (g/s)-500 입자에서 0.55 µmol h-1의 가장 높은 제거율을 나타내었다. 결론적으로 TiO2-mayenite를 제조하기 위하여 TiO2는 졸-겔 상태에서 mayenite에 결합시켜야 결정구조를 유지하며, 높은 질소산화물 제거 능력을 나타내는 것을 확인하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.79-81
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• 2004

$TiO_2-SnO_2$ thin films are fabricated using sol-gel method. The thickness of thin films increase about $0.03{\sim}0.04{\mu}m$ every a dipping. The permittivity and dissipation factor of $TiO_2-SnO_2$ thin films decrease with increasing frequency. Thin films show semiconductive characteristics above $400^{\circ}C$.

• 전기학회논문지
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• 제57권6호
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• pp.1012-1016
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• 2008

[ $TiO_2-V_2O_5$ ] sol was fabricated using sol-gel method and $TiO_2-V_2O_5$ thin films were fabricated using dip-coating method. $V_2O_5$ sol was added 0.01mole, 0.03mole, 0.05mole into $TiO_2$ sol. As a results of crystalline properties, $V_2O_5$ peaks were not found in spite of $V_2O_5$ additive. Thickness of thin films increased $0.1{\sim}0.25{\mu}m$ every a dipping. Capacitance of thin films increased with increasing heat treatment temperature and it increased largest at $700^{\circ}C$. Capacitance of thin films decreased with increasing $V_2O_5$ additive and it increased largest at 0.01mole. Because adsorption time and desorption time of thin films was about 2 minutes 40 seconds and about 3 minutes 40 seconds respectively, adsorption time was faster about 1 minutes than desorption time.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제25권8호
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• pp.620-625
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• 2012

The sol-gel method has been widely used to synthesize the $TiO_2$ for dye sensitized solar cells and has advantages of easily fabrication process, controlling the $TiO_2$ phase and getting transparent thin-film composed of the $TiO_2$. In this paper, we synthesized the crystalline $TiO_2$ by sol-gel method controlled by the quantity ratio of Nitric acid and Ammonium hydroxide additives. The best efficiency result was obtained by 0.05 M Ammonium hydroxide and that results of Voc, Jsc, FF, and efficiency were 0.68 V, 3.28 mA/$cm_2$, 58.14 and 5.21%, respectively.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1992년도 추계학술대회 논문집
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• pp.59-62
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• 1992

In this study, $TiO_2$ thin films are fabricated by Sol-Gel method and dielectric, electric and humidity sensing properties have been investigated. The structure of Sol can be changed by controlling for hydrolysis reaction condition. The uniformity of the surface on $TiO_2$ thin films is confirmed by SEM. The permittivity of $TiO_2$ thin films increases according to heat treatment temperature, whereas the conductivity of $TiO_2$ thin films decreases according to heat treatment temperature, As the results of measuring humidity sensing properties of $TiO_2$ thin films fabricated as humidity sensor, it is confirmed to have good humidity sensing properties in high humidity and low frequency.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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• pp.58.1-58.1
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• 2009

나노 임프린트 리소그래피 기술은 기존의 노광 장비를 이용하는 기존의 리소그래피 공정에 비해 저렴한 공정으로 대면적 패터닝이 가능한 차세대 리소그래피 기술이다. 나노 임프린트 리소그래피는 기존의 나노 리소그래피 기술과는 다르게 기능성 무기물 물질을 직접 패터닝 할 수 있는 기술이다. 본 연구에서는 $TiO_2$ 나노 패턴을 를 기존의 증착, 리소그래피, 식각 등의 공정을 거치지 않고, sol-gel법과 나노 임프린트 리소그래피를 이용하여 직접 전사하는 기술에 대해 연구 하였다. 본 연구에서는 Tetrabutylorthotitanate를 precusor로 하는 ethanol 기반의 $TiO_2$ sol을 제작하여 이용하였다. PDMS mold를 임프린팅용 몰드로 사용하였으며, 이러한 PDMS mold는 노광 기술과 반응성 이온 식각을 이용하여 제작된 master mold로 부터 복제되었다. 제작된 sol을 Si wafer에 spin coating하여 넓게 도포한 후, wafer위에 PDMS mold를 밀착 시킨다. 이후, 5 bar의 압력과 $200^{\circ}C$의 온도에서 나노 임프린트 리소그래피 공정을 진행하여 $TiO_2$ gel 패턴을 형성한다. gel 상태의 $TiO_2$ 패턴을 anealing 공정을 통해 다결정질 TiO2 나노 패턴으로 제작하였다. 제작된 패턴을 scanning electron microscope(SEM)를 이용하여 확인하고, XRD 및 EDX를 이용하여 분석하였다.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제25권2호
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• pp.130-136
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• 2008

$xTiO_2$-$ySiO_2$ system photocatalysts were developed by sol-gel method based on the change of production parameters, and their structure of crystallization and the specific surface area were measured. Considering the efficiency of the ethanol and phenol degradation using the catalyst, the conclusions were obtained as follows: By means of X-ray analysis of $xTiO_2$-$ySiO_2$ powder that is obtained from Titanium and Silicon alkoxide by sol-gel process, it is shown that crystal structure of anatase type is a dominating structure and, on the other hand, the structure of rutile also partly exists. The increase of $SiO_2$ contents causes the decrease of the degree of crystallization of the gel, whereas the specific surface area preferentially increases. It is shown that more than 90% of ethanol and phenol are degraded when reaction time is about three and an hours, and the maximum degradation rate of ethanol and phenol is shown in $60TiO_2$-$40SiO_2$ catalyst.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제22권12호
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• pp.1366-1370
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• 2001

Thin films of the SiO2-TiO2-PDMS composite material have been prepared by the sol-gel dip coating method. Acid catalyzed solutions of tetraethoxy silane (TEOS) and polydimethyl siloxane (PDMS) mixed with titanium isopropoxide Ti(OiPr) were used as precursors. The optical and structural properties of the organically modified 70SiO2-30TiO2 composite films have been investigated with Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR), UV-Visible Spectroscopy (UV-Vis), Differential Thermal Analysis (DTA) and prism coupling technique. The films coated on the soda-lime-silicate glass exhibit 450-750 nm thickness, 1.56-1.68 refractive index and 88-94% transmittance depending on the experimental parameters such as amount of PDMS, thermal treatment and heating rate. The optical loss of prepared composite film was measured to be about 0.34 dB/cm.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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• pp.248-248
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• 2009

GaN 기반 LED 소자의 ITO 표면에 sol-imprinting 기술을 이용하여 잔여층 없이 $TiO_2$ 나노 패턴을 형성하였다. 알콕사이드 계열의 $TiO_2$ sol과 Si 몰드로부터 복제된 PDMS 몰드를 사용하여 표면에 패턴을 형성하고, 이 후 annealing을 통해 내부에 남아있던 불순물을 제거하고 다결정 $TiO_2$을 형성하였다. 표면에 형성된 $TiO_2$ 나노 패턴이 LED 소자 내부에서 발생한 빛의 전반사를 억제하기 때문에 소자의 광추출 효율이 증가하였다.