• 제목/요약/키워드: $TiCl_3$

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ε-Ga2O3 박막 성장 및 MSM UV photodetector의 전기광학적 특성 (Thin film growth of ε-Ga2O3 and photo-electric properties of MSM UV photodetectors)

  • 박상훈;이한솔;안형수;양민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.179-186
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    • 2019
  • 본 연구에서는 $Ga_2O_3$ 박막의 구조적 특성과 Ti/Au 전극을 증착하여 제작된 metal-semiconductor-metal (MSM) photodetector 소자의 광학적, 전기적 특성에 대해 연구하였다. 유기 금속 화학 증착법(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)을 이용해 서로 다른 온도에서 $Ga_2O_3$ 박막을 성장하였다. 성장온도에 따라 $Ga_2O_3$의 결정상이 ${\varepsilon}$-상에서 ${\beta}$-상으로 변화하는 것을 확인할 수 있었다. X-선 회절 분석(X-ray diffraction, XRD) 결과로 ${\varepsilon}-Ga_2O_3$의 결정구조를 확인하였고, 주사 전자 현미경(scanning electron microscopy, SEM) 이미지로 결정구조의 형성 메커니즘에 대해 논의하였다. 음극선 발광(Cathode luminescence, CL) 측정으로 $Ga_2O_3$의 발광성 천이에 관여하는 에너지 준위의 형성 원인에 대해 논의하였다. 제작된 MSM photodetector 소자의 외부 광에 대한 전류-전압 특성과 시간 의존성 on/off 광 응답 특성을 통해 ${\varepsilon}-Ga_2O_3$로 제작한 photodetector는 가시광보다 266 nm UV 파장 영역에서 훨씬 뛰어난 광전류 특성을 보이는 것을 확인하였다.

저압 임팩터를 이용한 대기 에어로졸 입자의 입경분포 측정과 화학조성 자료의 해석 (Characterization of Chemical Composition and Size Distribution of Atmospheric Aerosols by Low-Pressure Impactor)

  • 박정호;최금찬
    • 한국대기환경학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.475-486
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    • 1997
  • The characteristics of atmospheric aerosols were investigated as a function of particle size and water solubility. The atmospheric aerosols were sampled with classifying into 12 size ranges by the use of Andersen low-pressure impactor. Collected aerosol particles were extracted by ultrapure water and filtered to be separated into water-soluble and insoluble components. The concentrations 12 elements in both components were determined by PIXE analysis. And the concentrations of 8 ions in the soluble component were analyzed by ion chromatography. In general, the mass size distribution of particulate matter was represented as a bimodal distribution. The mass size distributions of S$(SO_4^{2-}), K(K^+), Zn and NH_4^+$ skewed to the smaller size range and those of Si, Ca$(Ca^{2+}), Fe, Na^+ and Mg^{2+}$ skewed to the larger size range. They had roughly one peak in the fine and coarse particle region,respectively. On the other hand, the mass size distribution of Ti, Mn, Ni, Cu, $Cl^- and NO_3^-$ were represented as the bimodal distribution. Fe and Si in the aerosol particles extracted into pure water are existing in high insoluble state. Conversely, almost the whole of S is dissolved in water.

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SM 30 C강의 중공 중실축 단면변화 부식피로강도에 미치는 영향 (The influence of the hollow and solid shaft cross sectionof SM 30 C steel on corrosion fatigue strength)

  • 신규동;장백선;김웅집
    • 한국해양공학회지
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    • 제11권2호
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    • pp.28-38
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    • 1997
  • The corrosion fatigue test was conducted in air to investigate the corrosion fatigue strength of SM 30 C steel by which was corroded in the under sea and surface in the conditions of 3.0% NaCl salt solution. The fatigue tests were carried out on a rotary bending testing machine of cantilever type. The corrosion effect of the sea surface conditionwas served more than that of the under sea condition which was due ti the periodic contact of air thus accelerate the corrosion. The difference of the fatgue strength between sea surface and under sea conditions decreased with increase of stree level and corroded period. Inthe case of the solid shaft and thickness 2mm of hollow shaft, the difference of corrosion fatigue strength decreased as stress level and corrosion periodic increasing. Onthe contrary in the case of thickness 1mm of hollow sgaft, the difference of it increased as stress level, corrosionn periooodic increasing and also the condition of corrosion chaanged. The main factors affecting the degradation of fatigue strength due to corrosion were the reduction of sectional area and the increase of surface roughness. The interference phenomenon increase with stress level got higher.

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카드뮴이 양서류의 체축 형성에 미치는 독성 효과 (Toxic Effect of Cadmium on the Amphibian Axis Formation)

  • 김윤경;정해문
    • Toxicological Research
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    • 제11권1호
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    • pp.37-42
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    • 1995
  • Effect of cadmium on the early amphibian development was analyzed through FETAX (Frog Embryo Teratogenesis Assay: Xenopus). Embryos manifested concentration-dependent mortality and realformations; shortage of anterior-posterior axis gut realformation, ocular anomalies, bent notochord, misshapen dorsal fin, and derreal blisters. The treatment with 1.5ppm cadmium solution caused 100% mortality and concentration of lppm did not kill the embryos that caused 100% anomaly. The teratogenic index (TI = LC50 /EC50) was 2.8 indicating that $CdCl_2$ is teratogenic for Xenopus laevis. Embryos that were pulsetreated with at early to late blastula stage (St. 3-9) and mid to late blastula stage (St. 6-10) showed relatively strong resistance to cadmium, but the embryos treated at gastrula stage (St. 10-13) showed high mortality. And the embryos treated at tailbud stage (after St. 25) showed highest mortality of any other early stages. Effects of temperature were studied through pulse- treatment during gastrula stage at $20^{\circ}C$ and $30^{\circ}C$. The embryos treated with 7.5ppm at $30^{\circ}C$ and 15ppm at $20^{\circ}C$ caused 100% mortality respectively, indicating that higher temperature had more severe toxic effect. One of the most peculiar effect of cadmium at gastrulation was distortion of the tail. The probable cause of toxic effect of Cd was discussed.

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Purification of Filamentous Bacteriophage M13 by Expanded Bed Anion Exchange Chromatography

  • Tau Chuan;Chee Kin;Wen Siang;Beng Ti;Wan, Wan-Mohammad;Arbakariya
    • Journal of Microbiology
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    • 제42권3호
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    • pp.228-232
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    • 2004
  • In this paper, we investigated the development of a simplified and rapid primary capture step for the recovery of M13 bacteriophage from particulate-containing feedstock. M13 bacteriophage, carrying an insert, was propagated and subsequently purified by the application of both conventional multiple steps and expanded bed anion exchange chromatography. In the conventional method, precipitation was conducted with PEG/NaCl, and centrifugation was also performed. In the single step expanded bed anion exchange adsorption, UpFront FastLine$\_$TM/20 (20mm i.d.) from UpFront Chromatography was used as the contactor, while 54$m\ell$ (H$\_$o/=15cm) of STREAMLINE DEAE (p=1.2 g/㎤) from Amersham Pharmacia Biotechnology was used as the anion exchanger. The performance of the two methods were evaluated, analysed, and compared. It was demonstrated that the purification of the M13 bacteriophage, using expanded bed anion exchange adsorption, yielded the higher recovery percentage, at 82.86%. The conventional multiple step method yielded the lower recovery percentage, 36.07%. The generic application of this integrated technique has also been assessed.

수열합성법에 의해 성장된 ZnO 나노와이어의 성장제어 및 특성연구

  • 김종현;김성현;조진우;이성화;정대용
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.35.1-35.1
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    • 2011
  • 수열합성법으로 제작된 ZnO 나노와이어는 저온 MBE (Molecular Beam Epitaxy) 방식과 달리 Ti, Au와 같은 촉매로 부터 성장이 끝난뒤 나노와이어 끝에 남는 촉매를 제거해야할 필요가 없으며, 저온에서 합성이 가능하기 때문에 현재 연구가 많이 되고 있는 방법중에 하나이다. 본 연구에서는 수열 합성법을 이용하여 금속촉매 또는 AZO로 seed를 형성한 후 기판 위에 균일한 크기의 ZnO 나노막대를 성장시키고 성장밀도 및 길이의 간편한 제어를 하였다. 이를 위해 계면활성제인 PEI (Polyethyleneimine) 첨가 및 Chloride ($Cl_-$)를 조절하여 ZnO 나노와어의 성장밀도를 조절 하고자 하였다. 실험방법으로는 전구체인 Zn(NO3)2${\cdot}$6H2O와 HMT에 Chloride 계열인 Ammonium chloride 와 Kcl 의 몰농도를 각각 조절하고 PEI를 첨가하여, ZnO 나노와이어를 성장하였다. 성장된 ZnO 나노와이어의 특성을 평가하기 위해 field emission scanning electron microscopy (FE-SEM)을 이용하여 광학적인 특성을 측정하였으며, 결정성을 조사하기 위해 X-ray diffraction (XRD)을 이용하여 분석하였다. 또한 scanning PL 장비를 통해 photoluminescence양을 측정하고 ZnO 나노와이어의 응용 가능성을 평가하였다.

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고밀도 반응성 이온 식각을 이용한 IrMn 자성 박막의 식각

  • 이태영;소우빈;김은호;이화원;정지원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.168-168
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    • 2011
  • 정보화 사회가 도래함으로 개인별 정보 이용량이 급격히 증가하였고 스마트폰과 같은 모바일 기기의 개발로 정보 이용량이 최고치를 갱신 중이다. 이러한 흐름 속에 사람들은 빠른 처리 속도와 고도의 저장 능력을 요구하게 되고 이에 따라 새로운 Random Access Memory에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 현재 Dynamic Random Access Memory (DRAM)가 눈부신 발전과 성과를 이룩하고 있지만 전원 공급이 중단 될 경우 저장된 내용들이 지워진다는 단점을 가지고 있다. DRAM의 장점에 이러한 단점을 보완할 수 있는 차세대 반도체 소자로 주목 받고 있는 것이 Magnetic Random Access Memory (MRAM)이다. DRAM에서 Capacitor와 유사한 기능을 하는 MTJ stack은 tunneling magnetoresistance (TMR) 현상을 나타내는 자기저항 박막을 이용하여 MRAM 소자에 집적된다. 본 연구에서는 MRAM의 자성 재료로 구성된 MTJ stack을 효과적으로 식각하고 우수한 식각 profile을 얻는 동시에 재증착의 문제를 해결하는데 목적을 둔다. 본 IrMn 자성 박막의 식각 연구는 유도결합 플라즈마 반응성 이온 식각 (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching: ICPRIE)법을 이용하여 진행되었다. 특히 본 연구에서는 종래의 $Cl_2$, $BCl_3$ 그리고 HBr과 같은 부식성 가스가 아닌 부식성이 없는 $CH_4$가스를 선택하여 그 농도를 변화시키면서 식각하였고 더 나아가 $O_2$를 첨가하면서 그 효과를 극대화하려고 시도하였다. IrMn 자성 박막의 식각 속도, TiN 하드 마스크에 대한 식각 선택도 그리고 profile 등이 조사되었고 최종적으로 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)를 이용하여 식각 메카니즘을 이해하려고 하였다.

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전해액 조성에 따른 구리박막의 전기적 특성 변화에 대한 연구 (Electrical Properties of Electroplated Cu Thin Film by Electrolyte Composite)

  • 송유진;서정혜;이연승;나사균
    • 한국재료학회지
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    • 제19권6호
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    • pp.344-348
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    • 2009
  • The electrolyte effects of the electroplating solution in Cu films grown by ElectroPlating Deposition(EPD) were investigated. The electroplated Cu films were deposited on the Cu(20 nm)/Ti (20 nm)/p-type Si(100) substrate. Potentiostatic electrodeposition was carried out using three terminal methods: 1) an Ag/AgCl reference electrode, 2) a platinum plate as a counter electrode, and 3) a seed layer as a working electrode. In this study, we changed the concentration of a plating electrolyte that was composed of $CuSO_4$, $H_2SO_4$ and HCl. The resistivity was measured with a four-point probe and the material properties were investigated by using XRD(X-ray Diffraction), an AFM(Atomic Force Microscope), a FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope) and an XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy). From the results, we concluded that the increase of the concentration of electrolytes led to the increase of the film density and the decrease of the electrical resistivity of the electroplated Cu film.

염수 환경에서 Inconel 718의 국부 부식 거동 (Localized Corrosion Behavior of Inconel 718 in a Chloride-Containing Aqueous Solution)

  • 이준섭;이예진;권순일;신정호;이재현
    • Corrosion Science and Technology
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    • 제20권6호
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    • pp.361-366
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    • 2021
  • Localized corrosion behavior of Ni-based Inconel 718 alloy was investigated by electrochemical anodic polarization techniques in NACE TM 0177 A solution of 5 wt% NaCl + 0.5 wt% acetic acid at room temperature. After the solution heat treated at 1080 ℃ for 2.5 h, Inconel 718 was age-hardened at 780 ℃ for 8 h. The microstructure of the alloy surface was investigated by optical microscopic or scanning electron microscopic technique. The austenitic phase with the presence of metal carbides was observed on the surface of Inconel 718. Metal-carbides such as Nb-Mo and Ti-carbide with diameters of approximately 10 and 3 ㎛, respectively, were formed in Inconel 718. Anodic polarization results revealed that localized corrosion was observed at the interface between austenitic phase of a substrate and metal carbides. Difference in electrochemical property between a metal carbide and an austenitic substrate could provide an initiation site for localized corrosion of Inconel 718 surface.

적조생물의 구제 -2. 황토에 의한 적조생물의 응집제거- (Removal of Red Tide Organisms -2. Flocculation of Red Tide Organisms by Using Loess-)

  • 김성재
    • 한국수산과학회지
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    • 제33권5호
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    • pp.455-462
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    • 2000
  • 점증하는 적조로부터 수산피해를 줄이는 것은 시급한 문제이다. 황토를 살포하여 적조생물입자를 응집 제거하는 것이 하나의 방법이 되고 있다. 황토를 이용하여 적조생물입자에 대한 응집실험을 한 결과는 다음과 같다. 본 실험에 사용한 황토입자의 입도 분포는 정규분포를 보여주는 하나의 peak로 나타났으며, 입자의 평균 지름은 $25.0 {\mu}m$이고, 약$84.5{\%}$의 황토입자가 $9.8-55.0{\mu}m$의 범위에 속하며 변동계수는 $65.1{\%}$이었다. 황토의 금속성분을 분석한 결과는 규소 (Si)가 $48{\%}$, 알루미늄 (Al)이 $35{\%}$, 철 (Fe)이 $11{\%}$로서 $94{\%}$를 차지하며 나머지 $48{\%}$는 칼릅 (K), 구리 (Cu), 아연 (Zn), 티타늄 (Ti) 등으로 구성되어 있었다. 전자현미경 사진에 나타난 황토입자의 표면은 거칠고 다공질이며 부정형의 입자로 되어 있었다. 황토입자는 $10^(-3)M$ NaCl의 수용액 중에서 pH가 증가함에 따라 negative zeta potential 값이 증가하여 pH 9.36에서 -71.3mV를 나타내고 이후 거의 일정한 값을 나타내었으며, pH 1.98에서 +1.8 mV를 나타내어 amphoteric surface charge를 가지는 물질의 성질을 나타내었다. 전하결정이온은 $H^+, OH^-$ 이온이고, pH 2 부근에서 PZPC를 나타내었다. 용액의 전해질이 NaCl일 경우 $10^(-2)M (pNa=2)$ 이상의 농도에서는 $Na^+$ 이온의 농도가 증가함에 따라서 황토입자의 negative zeta potential 값은 일률적으로 감소하다가 $Na^+$ 이온의 농도가 1M (pNa=0)이 되었을 때 zeta potential은 0에 근접하였다. 용액의 전해질이 2 :l electrolyte ($CaCl_2$$MgCl_2$)의 경우 $Ca^(+2)$ 이온의 농도가 증가함에 따라서 황토입자의 negative zeta potential 값이 일률적으로 감소하다가 약 $10^(-3)M (pCa=3)$의 농도에서 등전점을 나타내고 전하역전이 일어났다. 해수중의 황토와 적조생물 입자는 비슷한 negative zeta potential을 나타내었고, 점토 중에서 해사가 가장 큰 negative zeta potential을 나타내었다. 해수중에서 황토입자와 적조생물입자의 EDL은 해수에 포함된 고농도의 염류 농도로 인하여 극히 얇게 압축되고, 이런 상태에서 두 입자가 상호 접근할 경우 모든 간격에서 LVDW attractive force의 절대값이 EDL repulsive force의 절대값보다 항상 큰 값을 나타낸다. 해수중에서 황토입자와 적조생물입자는 모든 간격에서 negative total interaction energy 값 (attractive force)을 나타내어 항상 용이하게 floe을 형성할 수밖에 없는 조건에 있다. 적조생물입자의 응집제거 효율은 황토의 농도가 증가함에 따라서 지수함수적 ($Y=36.04{\times}X^(0.11); R^2=0.9906$)으로 증가하였으며, 황토의 농도 800mg/l까지 급격한 증가를 보이다가 황토의 농도가 계속 증가함에 따라서 완만한 증가를 나타내었다. 적조생물은 황토 6,400mg/l에서 거의 $100{\%}$ 응집제거 되었다. 황토 800 mg/l을 사용하고 G-value를 $1, 6, 29, 139 sec^(-1)$로 단계적으로 증가시킴에 따라 응집제거 효율은 지수함수적으로 증가하였다. 이는 응집반응의 효율을 높이기 위해서는 황토입자와 적조생물입자 사이에 충분한 충돌이 일어날 수 있도록 교반하는 것이 매우 중요함을 나타내 주는 것이다. $800mg/l$의 농도에서 황토는 철을 함유하지 않은 다른 점토보다 $28.8{\~}60.3{\%}$ 더 높은 처리효율을 나타내었다. 황토에는 >SiOH의 음전하단과 수중의 phenolphthalein alkalinity를 소모하는 수화금속화합물의 양전하단이 공존하며, 이 수화금속화합물에 의하여 황토가 나머지 점토 특히 해사와 다른 응집특성을 보여주는 것으로 생각된다.

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