• Title/Summary/Keyword: $Ta_{3}N_{7}$

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열선 화학 기상 증착법에 의한 실리콘 박막 및 태양전지 특성 (Silicon thin films and solar cells by HWCVD)

  • 김상균;이정철;전상원;임충현;안세진;윤재호;김석기;송진수;박성주;윤경훈
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2005년도 춘계학술대회
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    • pp.205-208
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    • 2005
  • 최근 열선 화학 기상 증착법(HWCVD)은 낮은 온도에서 TFT용 Poly Si 중착을 할 수 있다는 점과 실리콘 박막을 빠른 속도로 증착할 수 있다는 점에서 각광을 받고 있다. 본 연구에서는 HWCVD를 이용하여 태양전지를 제조하고 그 특성을 평가하였다. 조건에 따른 실리콘 박막의 특성 변화를 알기 위해 corning glass 및 실리콘 wafer에 다양한 조건에서 단위 박막(intrinsic layer)을 증착하였고 이 결과를 바탕으로 p/i/n 구조의 태양전지를 제조하였다. Ta 열선 온도는 1700-2000도였고 가스 원료인 $SiH_4$와 수소의 비율을 조절하면서 그 영향을 관찰하였다. 태양전지의 경우 p충과 n충은 PECVD로 증착하였으며 단위박막 및 태양전지 i충 증착시 기판과 열선간의 거리는 7cm, 기판 온도는 $200^{\circ}C$$250^{\circ}C$로 고정하였고 작업압력은 30mTorr였다. 단위 박막 특성 평가를 위해 암/광 전도도, SEM, Raman Scattering, FT-IR등을 사용하였으며 태양전지 특성 평가를 위해 I-V 및 Spectral response를 측정하였다. 열선 온도가 증가함에 따라 증착속도 및 결정화 분율은 증가하였다. 특히 비정질에서 결정질로 전이되는 구간은 매우 좁았으며 여러 분석 방법에서 일치되는 결과를 보였다. $SiH_4$ 유량이 늘어날수록 비정질이 결정질로 바뀌는 열선 온도가 증가하였으며 기판 온도가 낮을 경우 또한 결정으로 바뀌는 열선 온도가 증가하였다. 태양전지의 경우 열선 온도가 증가함에 따라 $V_{oc}$ 및 W가 낮아졌으며 $J_{sc}$, 는 증가하는 경향을 보였으며 결정질 비율이 증가하는 것을 관찰할 수 있었다. 이러한 경향은 quantum efficiency 결과에서도 확인할 수 있었다.용을 반복하면서 석재 내부와 외부의 암석 및 결정에 균열과 미세열극 등이 생성되어 석재 자체의 구조적 안정성에 영향을 주고 있다. 따라서 감은사지 석탑은 지리적 환경 차이로 인해 일반적인 환경의 석조물들과는 다른 형태의 풍화양상을 보이고 있어서 풍화양상 및 풍화형태에 대한 정확한 연구와 이해를 바탕으로 보존대책이 마련되어야 한다.되었다. 이런 모든 시편들을 각 탈염방법에 따라 탈염처리한 후 XRD와 SEM-EDS으로 분석한 결과 인철광과 침철광은 어떠한 변화도 보이지 않았고, 다만 적금광으로 동정된 시편만이 잔존하지 않았다. 철기 제작별 $Cl^-$ 이온 추출량과 탈염효과에 대한 비교 실험은 이온 크로마토그래피 분석 결과와 마찬가지로 단조 철제유물이 주조 철제보다 $Cl^-$ 이온을 많이 가지고 있었으며, 탈염 처리 후에는 $Cl^-$ 이온은 전혀 발견되지 않았다. 이상의 결과 $K_2CO_3$와 Sodium 용액은 탈염처리에서 가장 적합한 탈염처리 용액으로 알수가 있었으며 특히 어떠한 탈염 용액으로 유물을 처리한다 해도 철제유물에 생성된 부식물은 제거되지 않는다는 것을 알게 되었다. 따라서 보존처리자는 유물 표면의 부식 상태만을 보고 처리하기 보다는 철기제작물로 고려하여 처리하는 것이 필요하다. 또한 금속에 부식을 야기시키는 $Cl^-$ 이온과 부식물을 완전하게 제거하여 탈염처리를 하는 것이 유물 부식을 최대한 지연시킬 수 있는 것이라 생각된다.TEX>$88\%$)였다.(P=0.063). 결론: 본 연구에서는 MTHFR C/T & T/T 유전자 다형성이 위암의 발생과 그 위치에 대해 관련이 있는 것으로 여겨지고, 흡연력, 음주력과는 관련이 없는 것으로 여겨진다.험이 커지는 경향을 보였으나, 나이 및 병기, 종양의 크기, MD-BED $Gy_{10}$ 등의 예후 인자를 보정한 다변

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기공학(氣功學) 발달(發達)에 관한 문헌적(文獻的) 연구(硏究) (A Documentational Study on the Development of Chi-Kung-Hak)

  • 김우호;홍원식
    • 대한의료기공학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.13-59
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    • 1996
  • Dep. of Classics &Medical History, College of Oriental Medicint, Kyung Hee University Today, many people are more interested Today, many people are more interested in preventing the disease than curing it. Chi-Kung(氣功) is the way of Life-Cultivation(養生法) peculiar to the orient, it is reported in china that Chi-Kung has an excellent curative value not only in curing the disease but also in preventing it. But the full-scale study of Chi-Kung is not be made up to now in Korea, so I studied the developmental history of chinese Chi-Kung through the oriental medical books. From this study, I reached the following conclusions; 1. Chi-Kung is naturally derived from the self-preservation instinct to adapt oneself to circumstances of the nature, but in the investigation from the documentational records, it is originated in the treatment method of the Sam-Huang-O-Jae(三皇五帝) period to cure the abnormal circulation of the vital force and blood caused by damp(濕). 2. As the principle and the method of the Life-Cultivation of the Chun-Chu-Jeon-Kook(春秋戰國) period were recorded in Huang-Jae-Nai-Gyung(黃帝內經) detailly and the remedy examples by ancient Chi-Kung such as Tao-Yin(導引), Haeng-Chi(行氣) were presented, we considered that theoretical basis of the development of Life-cultivation and Chi-Kung study was furnished in that period. 3. A famous doctor, Hwa-Ta(華引) lived in Han dynasty, researched the theory and practice of Tao-Yin transmitted from the former generations, as that result, he formed a kind of medical, gymnastics what is called O-Keum-Hi(五禽?). It is considered that 'O-Keum-Hi' is a Tao-Yin method developed more practically and systemetically than the Tao-Yin appeared in the 'Jang-Ja'(莊子) or 'Hoy-Nam-Ja'(淮南子). 4. In Wui-Jin-Nambook-Jo(魏曺南北朝) periods, the contents of Chi-Kung were more abundant under the influence of Buddhism(佛敎) and Taoism(道敎). Galhong(葛洪), the author of 'Po-Bak-Ja'(抱朴子) arranged the ancient Chi-Kung method systematically first of all, Tao-Goeng-Gyung, the author of 'Yang-Seong-Yeun-Myung-Rok'(養性延命錄) recorded the 'Yook-Ja-Geul'(六字訣) first time. 5. There is a new development of Chi-Kung therapy in Soo-Tang-Odae(隋唐五代) periods, especially So-Won-Bang(巢元方), the author of 'Jey-Bang-Won-Hwu-Ron' collected almost all of the Chi-Kung method, for curing the disease formed before Soo(隋) period. From that fact, we supposed that Chi-Kung was utilized more widely in curing the disease. 6. 'So-Ju-Cheon-Hwa-Hu-Peob'(小周天火候法) was adopted as the best orthodox approach under the influence of Nae-Tan-Taoist(道敎內丹學波) in Song-Keum-Won(宋金元) periods, especially in the song dynasty, 'Pal-Dan-Geum'(八段錦) was appearde and assignment of six-Chi(六氣) for bowel and viscera in the 'Yook-Ja-Geul'(六字訣) was decided firmly, that is to say Lung-Si(肺-?), Heart-Kha(心-呵), Spleen-Hoa(脾-呼), liver-Hoe(肝-噓), Kidney-chui(賢-吹), Three-Burner-shi(三焦-?). 7. In Myung-Cheong(明淸) periods, The general practitioner applied the principle of 'Byun-Jeng-Ron-Chi(辨證論治) to the Chi-Kung field, and after Myung dynasty the style of doing 'Yook-Ja-Gyel'(六字訣) was developed to the moving style. 8. Today, in china, the study on the Chi-Kyung is being progressed constantly under the positive assistance of government, Chi-Kung-Hak(氣功學) has taking its place as a branch of study step by step. It is considered that the establishment of Chi-Kung-Hak Classroom(氣功學敎室) and Medical Chi-Kung Center(氣功療法室) for special and systematic research are needed, at the same time the settlement of institutional system for training the Chi-Kung technician(氣功師) is also needed.