$HfCl_4$ 와 Si (001) 표면에 결합된 두 개의 수산화기와의 상호작용: 제일원리 연구
(Interaction of $HfCl_4$ with Two Hydroxyl's on Si (001) Surface: A First Principles Study)
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- 반도체디스플레이기술학회지
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- 제8권2호
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- pp.55-58
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- 2009