• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.23 no.10
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• pp.121-127
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• 2009

This paper reviews a basic data of the surface discharge characteristics for tefton resin in not only pure $N_2$, $N_2:O_2$(80[%]:20[%], I-Air) and $N_2:O_2$(60[%]:40[%]) mixture gas as environment-friendly insulation Gas also $SF_6$. Used electrodes are Knife to Knife. With the changing distance of electrodes and pressure, we can find it, surface discharge voltages and surface dielectric strengths, respectively. Surface discharge Voltages of I-Air are more higher than the other $N_2/O_2$ mixture gases. Moreover, we can obtain that the surface dielectric strengths of $SF_6$ are two times about I-Air, approximately.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.241-241
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• 2012

$SF_6$와 $NF_3$는 디스플레이 장치의 제조공정 중 $SiN_x$박막을 건식식각공정에서 사용되고 있다. 이 논문에서는 이 두 가스에 대한 건식식각의 특성을 관찰하기 위해서 CCP-RIE를 이용하여 가스와 산소의 유량비($SF_6$/$O_2$>, $NF_3$/$O_2$), 압력, 전력 비(13.56 MHz/2 MHz)를 변화시키는 다양한 공정조건하에서 실험을 진행하였다. 이 실험에서 $NF_3$를 이용한 $SiN_x$ 박막 건식식각률이 $SF_6$를 이용한 건식식각률보다 모든 공정 조건하에서 높게 나타났다. 불소원자의 OES 강도와 V/I probe 를 이용하여 건식식각률과 비례하는 상관관계 변수를 발견하였고 이를 플라즈마 변수와 관련하여 해석하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.10a
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• pp.149-150
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• 2006

기중, $SF_6$ 가스 및 절 연유에서 부분방전시 방사되는 전자파의 주파수 특성을 분석하였다. 비슷한 구성의 부분방전 발생장치(PD Cell)에서 절연유에서의 부분방전이 가장 최고 높은 주파수의 신호가 발생하였으며 $SF_6$ 가스 하에서 비교적 높은 주파수의 부분방전 신호가 발생하였다. 또한 부분 방전의 종류에 따라 전자파 방전신호가 수직 편파되어 있음을 알 수 있었나. 본 결과는 전자파를 이용한 변전기기의 부분방전 측정기술 개발에 응용할 예정이다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 2003.11a
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• pp.393-395
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• 2003

현장에서 많이 사용되고 있는 GIS에 결함이 발생하면 치명적인 사고로 진전될 수가 있다. 본 논문은 모의 GIS내 도전성 금속이물질 존재 시 발생되는 부분방전 신호를 절연 진단 방법중 하나인 UHF법을 이용하여 부분방전 시 방사되는 방사전자파의 스펙트럼을 분석해 금속이물질이 SF$_{6}$ 가스부분방전에 미치는 영향을 측정하였다. 이러한 연구는 현장 GIS 및 SF$_{6}$ 가스절연 전력설비에서 금속이물질에 의해 발생되는 절연파괴 사고의 방지에 중요한 역할을 할 것으로 사료된다.

• Proceedings of the KSR Conference
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• 2000.11a
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• pp.740-747
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• 2000

This paper describes insulation characteristics and partial discharge for the SF6 gas insulated transformer. The characteristic of gas insulated transformer and the degradation sequence of solid insulation under SF6 gas atmosphere were explained. The model electrode system of the types that the aramid papers were inserted between two sphere electrodes was prepared. The partial discharge tests were carried out to that system and the insulation characteristics were considered.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1996.07c
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• pp.1807-1809
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• 1996

The axial discharge at switching operations of EHV $SF_6$ disconnector can lead to the breakdown to the enclosure. Precursor in periphery zone leads to formation of leader over some time delay. Injected charge value depends on electric field and gap geometry. The calculation method for parameters of $SF_6$ insulation for DS in EHV-GIS is suggested by using the new criterion of leader inception in connection with periphery field nearby the boundary of streamer zone.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.1356-1357
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• 2008

교류 펄스전압을 이용하여 글라이딩 아크 플라즈마 반응기에서 지구 온난화의 주요 원인으로 꼽히는 PFCs(Perfluoro compounds) 가스의 일종인 $SF_6$에 관한 분해 연구를 하였다. 가스의 농도를 조절하기 위하여 압축공기를 사용하였고 각각의 유량을 MFC를 통하여 조절하였다. 반응기 내의 양전극사이에 인가하는 전압을 아크가 발생하는 7kV$\sim$10kV 사이를 1kV 단위로 가변하였고 유량을 변화시켜가며 실험한 결과 높은 전압과 낮은 유량일 때 높은 분해율 특성을 보였다. 기본 방전 특성을 오실로 스코프를 통하여 관찰 분석하였다. 각 가스들의 분해율과 분해후 가스 성분분석은 글라이딩 아크 플라즈마와의 반응후 가스를 포집하여 FT-IR을 통하여 분석하였다.

• 전기산업
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• v.15 no.4
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• pp.39-51
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• 2004

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.11d
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• pp.43-45
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• 2002

가스차단기의 성능은 노즐재질, 접점분리 속도 차단기의 치수 그리고 마크시간 등에 좌우되며 이러한 일련의 현상을 고찰하기 위한 유동현상을 모의하기 위해서는 기본적으로 두 접점의 상대운동 및 접점 사이에서 발생하는 아크 플라즈마(arc plasma)에 의한 전도, 대류, 복사현상 뿐만 아니라 아크전류에 의한 로랜츠힘(Lorentz's force), 용삭(ablation)에 의한 화학작용 등과 같은 매우 복잡한 물리적 현상을 고려해야 한다. 본 연구에서는 차단과정 중 대전류 영역에서의 아크특성과 마크에서 방출되는 강한 복사에너지에 의해 발생하는 PTFE 증기에 의한 영향을 고려하기 위해서 상용 CFD 프로그램인 PHOENICS에 아크 모델링과 고온에서의 $SF_6$-PTFE 혼합가스의 물성치 대입을 위한 보조 프로그램을 작성하여 해석을 수행하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.11a
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• pp.333-333
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• 2015

본 연구에서는 디스플레이 패널 식각에 있어서 전극인 구리 박막 표면에 $SF_6/O_2$ 플라즈마 사용 시 발생되는 Corrosion 현상을 분석하기 위해 $SF_6/O_2$ 가스의 조성비를 변화하며 실험을 진행하였다. 유도결합 $SF_6/O_2$ 플라즈마를 이중 랭뮤어 탐침과 광 분광법을 이용한 플라즈마 진단을 통해 $SF_6/O_2$의 조성비의 변화에 따른 플라즈마 상태를 분석하고, $SF_6/O_2$ 플라즈마 조성비를 변화시켜 구리 박막의 표면을 처리한 후 발생되는 Corrosion과 Corrosion이 구리에 미치는 영향을 조사하기 위해 XPS, SEM, 4 point probe 등을 이용하였다.