비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 STR304 스테인리스강 박막에서의 질소와 산소의 첨가 효가
(Effect of $N_2$ and $O_2$ Properties of STS304 Stainless Steel Films Synthesized by Unbalanced Magnetron Sputtering Process)
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- 한국표면공학회지
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- 제34권2호
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- pp.89-96
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- 2001