Microstructures and Electrical Properties of $Mn_xCo_yNi_zO_4$ Thin Film by RF Magnetron Sputtering System
(RF sputtering에 의한 $Mn_xCo_yNi_zO_4$ 박막의 미세구조와 전기적 특성)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2000.10a
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- pp.190.2-190
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- 2000