• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.36-36
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• 1998

• 전자공학회논문지 IE
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• 제44권2호
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• pp.8-13
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• 2007

본 논문에서는 고효율의 유기발광소자 제작을 위해 플라즈마 조건 변화에 따른 ITO 특성을 분석하였다. $N_2$와 $O_2$ 가스로 RF 플라즈마 출력은 100 W, 200 W, 400 W로 가스압력은 12 mTorr, 120 mTorr로 변화실험을 하였다. $N_2$ 가스를 이용하여 플라즈마 처리한 ITO의 일함수는 $4.88{\sim}5.07$ eV의 값을 나타내었고 $O_2$ 가스를 이용하여 플라즈마 처리한 ITO는 $4.85{\sim}4.97$ eV의 일함수를 나타내었다. $N_2$ 가스에서 가스의 압력이 120 mTorr이면서 플라스마 출력이 200 W의 조건에서 RF 플라즈마 처리한 ITO의 특성이 우수하였다. ITO 표면의 rms roughness는 AFM 이미지에서 계산하여 나타낸 수치로써 $N_2$와 $O_2$ 가스가 주입된 플라즈마로 처리된 ITO는 플라즈마 출력이 200 W일 때 각각 $25.2\;{\AA}$과 $30.5\;{\AA}$로 나타났으며 플라즈마 처리되지 않은 ITO는 $44.5\;{\AA}$이었다. ITO 박막의 투과율 측정에서는 $N_2$와 $O_2$ 가스의 압력을 변화시켜도 ITO의 투과율은 거의 변동이 없었다.

• 공업화학
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• 제9권3호
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• pp.383-387
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• 1998

플라즈마 기체 종류($O_2$, $N_2$, and $O_2/N_2$)에 따른 저밀도 폴리에틸렌의 친수성 표면개질에 미치는 영향이 표면에 생성된 기능성 그룹과 물의 접촉각과의 관계로부터 조사되었다. XPS와 FT-IR ATR 분석을 통하여 플라즈마 처리된 LDPE 표면은 카보닐, 카복실 등의 산소 기능기들이 생성되었고, 질소 플라즈마 처리와 산소와 질소 혼합 기체 플라즈마 처리에 의해 표면에 질소 기능기가 생성됨이 확인되었다. rf-출력과 처리시간에 대한 접촉각 변화에서 질소 플라즈마 처리가 가장 작은 값을 나타내었고, 플라즈마 기체 종류에 관계없이 복합매개 변수 [(W/FM)t]가 520~550GJs/kg 부근에서 가장 효과적인 친수성 개질 반응이 이루어지는 최적조건임을 알 수 있었다.

• Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
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• 제22권9호
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• pp.1248-1255
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• 2009

This study was carried out to evaluate the fatty acid composition in Nellore cows supplemented with either linseed (n-3) or canola grains (n-6 and n-9). Fifteen Nellore cows, aged five years and bodyweight 550 kg${\pm}$48 kg, were randomly distributed to the following treatments: CON (control), LIN (linseed) and CAN (canola grains). The cows were fed for 80 days. The concentrations of C18:0, C18:2 n-6 and C20:3 n-6 fatty acid were higher (p<0.10) in CON blood plasma in comparison to follicular liquid. Likewise, PUFA, n-6 contents, PUFA:SFA and n-6:n-3 ratios were higher (p<0.10) in blood plasma. On the other hand, C18:1 n-9, C22:5 n-3, MUFA and n-3 contents were lower (p<0.10) in blood plasma. C18:0, C18:2 n-6, C18:3 n-3, C22:5 n-3, PUFA, n-6, n-3 contents and PUFA:SFA ratio were higher (p<0.10) in LIN blood plasma than in the follicular liquid. Nevertheless, C14:0, C16:0, C16:1 n-7, PUFA, C16:0, C18:1 n-9 and MUFA contents were lower (p<0.10) in LIN blood plasma. On treatment CAN, the C18:0 and SFA contents, and n-6:n-3 ratios were higher (p<0.10) in blood plasma. However, C20:3 n-6, C22:5 n-3, PUFA and n-3 contents were lower (p<0.10) in blood plasma. C16:0, C18:0, PUFA, SFA contents and PUFA:SFA ratio did not differ (p>0.10) among the treatments. C14:0, C16:1 n-7, C18:2 n-6 and n-6 contents were higher (p<0.10) for CON and CAN than LIN. C17:1 n-7, C20:4 n-6 and C 22:0 contents were higher (p<0.10) for CAN than CON and LIN. C18:1 n-9, C18:3 n-3, MUFA and n-3 contents were higher (p<0.10) for LIN and CAN than CON. C20:3 n-6 content and n-6:n-3 ratio were higher (p<0.10) for CON than LIN and CAN. C22:5 n-3 content were higher (p<0.10) for CON and LIN than CAN. The concentrations of fatty acids in blood plasma and follicular liquid were not correlated for any fatty acid, independent of the treatment studied. Canola grain added to the diet of Nellore cows resulted in increased concentrations of fatty acids n-6 and n-3 in follicular liquid.

• 한국재료학회지
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• 제14권4호
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• pp.265-269
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• 2004

Plasma nitrocarburising and post oxidation were performed on SCM435 steel by a pulsed plasma ion nitriding system. Plasma oxidation resulted in the formation of a very thin ferritic oxide layer 1-2 $\mu\textrm{m}$ thick on top of a 15～25 $\mu\textrm{m}$ $\varepsilon$-F $e_{2-3}$(N,C) nitrocarburized compound layer. The growth rate of oxide layer increased with the treatment temperature and time. However, the oxide layer was easily spalled from the compound layer either for both oxidation temperatures above $450^{\circ}C$, or for oxidation time more than 2 hrs at oxidation temperature $400^{\circ}C$. It was confirmed that the relative amount of $Fe_2$$O_3$, compared with $e_3$$O_4$, increased rapidly with the oxidation temperature. The amounts of ${\gamma}$'-$Fe_4$(N,C) and $\theta$-$Fe_3$C, generated from dissociation from $\varepsilon$-$Fe_{2-3}$ /(N,C) phase during $O_2$ plasma sputtering, were also increased with the oxidation temperature.e.

• Carbon letters
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• 제5권3호
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• pp.103-107
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• 2004

The atmospheric pressure plasma treatments ($Ar/O_2$ and $Ar/N_2$) of activated carbon fibers (ACFs) were carried out to introduce hydrophilic functional groups on carbon surfaces in order to enhance the hydrogen chloride gas (HCl) adsorption. Surface properties of the ACFs were determined by XPS and SEM. $N_2$/77 K adsorption isotherms were investigated by BET and D-R (Dubinin-Radushkevich) plot methods. The HCl removal efficiency was confirmed by HCl detecting tubes (range:1~40 or 40~1000 ppm). As experimental results, it was found that all plasma-treated ACFs showed the decrease in the pore volume, but the HCl removal efficiency showed higher level than that of the untreated ACFs. This result indicated that the plasma treatments led to the conformation of hydrophilic functional groups on the carbon surfaces, resulting in the increase of the interaction between the ACFs and HCl gas.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제37권3호
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• pp.27-33
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• 2000

선택성을 향상시키기 위해서 BPSG(Borophosphosilicate glass) 위에 형성한 TiN 패턴을 로(furnace) 열처리와 질소 플라즈마 처리를 한 후 유기 화학 기상 증착법(MOCVD； Metal Organic Chemical Vapor Deposition)으로 구리 박막을 증착하였다. 먼저 650℃∼750℃에서 열처리한 후 150℃에서 구리 박막을 증착시켰을 때 750℃에서 열처리한 경우 TiN 표면 위에만 선택적으로 구리 증착이 일어났다. 질소 플라즈마 처리를 한 경우도 마찬가지로 BPSG 위에 구리 핵 형성이 억제됨을 알 수 있었다. 플라즈마 처리 온도를 증가시킬수록 BPSG 위의 구리 핵 형성이 더 효과적으로 억제되었다. 열처리와 플라즈마 처리 후 증착된 기판 표면을 TOF-SIMS(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)로 분석하였을 때 플라즈마 처리가 BPSG 표면의 구리 증착 작용기인 0-H(hydroxyl)기를 제거하여 구리의 선택성이 향상되었다고 해석하였다.

• 열처리공학회지
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• 제24권1호
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• pp.3-9
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• 2011

Plasma nitriding of stainless steels has been investigated over a range of temperature from 400 to $500^{\circ}C$ and time from 10 to 20 hours. Characterization of systematic materials was carried out in terms of mechanical properties and corrosion behaviors. The results showed that plasma nitriding conducted at low temperatures not only increased the surface hardness, but also improved the corrosion resistance of STS 316L, STS409L, and STS 420J2. It was found that plasma-nitriding treatment at $500^{\circ}C$ resulted in increasing the corrosion performance of STS 409L and STS 420J2, while STS 316L was observed with server and massive damage on surface due to the formation of CrN.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.214-215
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• 2007

Etch rates and surface chemistry of phenol formaldehyde-based photoresist after short time $O_2\;and\;N_2O$ radio frequency (RF) plasma treatment depending on exposure time were investigated. It was found that the etch rate of photoresist sharply increased after discharge turn on and reached a limit with increase in plasma exposure time in both gases. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis showed that the surface chemical structure become nearly constant after the treatment of 15 sec. Concentration of surface oxygen-containing groups after processing both in oxygen and in $N_2O$ plasmas is similar.

• 폴리머
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• 제36권3호
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• pp.302-308
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• 2012

본 연구의 목적은 대기압 플라즈마 처리된 평판형 폴리프로필렌(polypropylene, PP) 필름 표면 위에 폴리비닐피롤리돈(poly($N$-vinyl-2-pyrrolidone), PVP)을 그래프트 공중합시키기 위한 최적 조건을 찾는데 있다. 대기압 플라즈마 처리 조건은 RF power 200W, Ar 유속 6 LPM, 처리시간 30초, 처리 후 노출시간은 5분으로 고정하였다. 그래프트 공중합에서는 중합 시간, 중합 온도, 비닐피롤리돈($N$-vinyl-2-pyrrolidone, NVP) 농도의 조건을 각각 달리하여 표면 그래프트도의 변화를 조사하였다. 그 결과, 중합 시간 6시간, 중합 온도 $90^{\circ}C$, NVP 농도 40%에서 가장 높은 그래프트도를 나타내었다. ATR-FTIR, X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), SEM 분석을 통해서도 PVP의 도입을 확인할 수 있었다.