RF 스퍼터링법을 이용한 $LiNbO_3/Si$ 구조의 전기적 및 구조적 특성
(Electrical and Structural Properties of $LiNbO_3/Si$ Structure by RF Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제11권2호
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- pp.106-110
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- 1998