RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 a-축 배향 $YBa_2Cu_3O_{7-\delta}$ 박막의 제조
(Preparation of a axis oriented $YBa_2Cu_3O_{7-\delta}$ thin films by RF magnetron sputtering)
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- 한국재료학회지
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- 제4권4호
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- pp.459-465
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- 1994