• 제목/요약/키워드: $J_c$ (B)

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Cu 미세 배선을 위한 무전해 Ni-B 확산 방지막의 Cu 확산에 따른 상변태 거동 (Phase Transformation by Cu Diffusion of Electrolessly Deposited Ni-B Diffusion Barrier for Cu Interconnect)

  • 최재웅;황길호;송준혜;강성군
    • 한국재료학회지
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    • 제15권11호
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    • pp.735-740
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    • 2005

  • The phase transformation of Ni-B diffusion barrier by Cu diffusion was studied. The Ni-B diffusion barrier, thickness of 10(Inn, was electrolessly deposited on the electroplated Cu interconnect. The specimens were annealed either in Ar atmosphere or in $H_2$ atmosphere from $300^{\circ}C\;to\;800^{\circ}C$ for 30min, respectively. Although the Ni-B coated specimens showed the decomposition of $Ni_3B$ above $400^{\circ}C$ in both Ar atmosphere and $H_2$ atmosphere, Ni-B powders did not show the decomposition of $Ni_3B$. The $Ni_3B$ was decomposed to Ni and B in hi atmospherr: and the metallic Ni formed the solid solution with Cu and the free B was oxidized to $B_2O_3$. However, both the boron hydride and free B were not observed in the diffusion barrier after the annealing in $H_2$ atmos There. These results revealed that the decomposition of $Ni_3B$ by Cu made the Cu diffusion continued toward the Ni-B diffusion barrier.

  • https://doi.org/10.3740/MRSK.2005.15.11.735 인용 PDF KSCI

유리 금형용 다공질 소결재의 제조에 관한 연구 (A Study on the Fabrication of Porous Sintered Materials for Glass Mold)

  • 장태석;임태환
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제6권6호
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    • pp.468-472
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    • 2005

  • 유리병의 제조에 있어서 유리 융체가 금형 벽면에 부착하는 것을 방지하기 위하여 성형할 때마다 금형 내벽면을 윤활제로 도포하는 공정이 있다. 금형 벽면을 통기성이 있는 다공질 소결체로 제조하면 도포공정을 생략할 수 있다. 따라서 본 연구에서는 스테인리스 중에서 내열${\cdot}$내마모 특성이 가장 우수한 310L계 조대 분말($-150{\mu}m$) 및 420J2 계 미세 분말($40{\~}50{\mu}m$)을 사용, 유리 금형용 내벽면 재로서 가장 적합한 다공질 소결체(소결체의 밀도: $85{\~}90\%$)를 제작하기 위하여 성형압력, 소결 분위기, 소결온도 및 시간을 변화시켜 다음과 같은 결과를 얻었다. (1) 고상 소결로서는 입자 크기가 큰 310L분말을 가지고는 어느 경우에 있어서나, 목적하는 소결 밀도를 얻을 수 없었다. (2) $2ton/cm^2$의 성형압력으로 성형한 실형상 성형체를 양산용 진공($1300^{\circ}C$, 2시간) 소결로에서 소결한 결과, 소결체의 밀도는 $310L+0.03\%B$, 420J2, 420J2+(0.03, 0.06)$\%$B에서 각각 6.2(79$\%$), 6.6(86$\%$), 7.3(95$\%$), $7.6(99\%)g/cm^3$로 나타났다. 따라서, 420J2계 분말(저압성형) 및 310L+0.03$\%$B(고압성형)분말을 사용하여 진공 중 소결하면 목적하는 통기도를 가진 소결체를 제작할 수 있다는 것을 알았다.

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Electronic and Magnetic Structure of Fe/W(100)

  • Lee, Hang-Il;Lee, J.Y.;Park, B.G.;Kim, S.;Hwang, C.C.;Kim, J.Y.;Park, J.H.;Hwang, Chan-Yong
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2007년도 The 1st International Symposium on Advanced Magnetic Materials
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    • pp.186.1-186.1
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    • 2007

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