• 제목/요약/키워드: $Co/SiO_{2}$

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Cu와 Co-Nb 이중층 실리사이드 계면의 열적안정성 (Thermal Stability of the Cu/Co-Nb Multilayer Silicide Structure)

  • 이종무;권영재;김영욱;이수천
    • 한국재료학회지
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    • 제7권7호
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    • pp.587-591
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    • 1997
  • RBS와 XRD를 이용하여 C o-Nb이중층 실리사이드와 구리 배선층간의 열적안정성에 관하여 조사하였다. Cu$_{3}$Si등의 구리 실리사이드는 열처리시 40$0^{\circ}C$정도에서 처음 형성되기 시작하였는데, 이 때 형성되는 구리 실리사이드는 기판의 상부에 존재하던 준안정한 CoSi의 분해시에 발생한 Si원자와의 반응에 의한 것이다. 한편, $600^{\circ}C$에서의 열처리 후에는 CoSi$_{2}$층을 확산.통과한 Cu원자와 기판 Si와의 반응에 의하여 CoSi$_{2}$/Si계면에도 구리 실리사이드가 성장하였는데, 이렇게 구리 실리사이드가 CoSi$_{2}$/Si 계면에 형성되는 것은 Cu원자의 확산속도가 여러 중간층에서 Si 원자의 확산속도 보다 더 빠르기 때문이다. 열처리 결과 최종적으로 얻어진 층구조는 CuNbO$_{3}$/Cu$_{3}$Si/Co-Nb합금층/Nb$_{2}$O$_{5}$CoSi$_{2}$/Cu$_{3}$Si/Si이었다. 여기서 상부에 형성된 CuNbO$_{3}$는 Cu원자가 Nb$_{2}$O$_{5}$및 Co-Nb합금층과 반응하여 기지조직의 입계에 석출되어 형성된 것이다.

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실리카 지지 니켈-구리 합금에서 일산화탄소의 흡착에 관한 IRS 연구 (An IRS Study on the Adsorption of Carbonmonoxide on Silica Supported Ni-Cu Alloys)

  • 안정수;윤구식;박상윤;박성균
    • 대한화학회지
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    • 제53권3호
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    • pp.233-243
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    • 2009
  • 실리카지지 니켈(Ni-Si$O_2$), 실리카지지 구리(Cu-Si$O_2$), 몇가지 조성의 실리카지지 니켈과 구리의 합금(Ni/Cu-Si$O_2$)을 실온에서 일산화탄소(CO)의 압력을 넓은 범위에서 변화시키면서(0.2 $torr{\sim}$50 torr) 흡착된 CO의 적외선 스펙트럼을 1500 $cm^{-1}{\sim}2500\;cm^{-1}$ 범위에서 관찰했고 실온에서 진공탈착시키면서 흡착된 CO의 적외선 스펙트럼을 관찰했다. Ni-Si$O_2$에 CO를 흡착시켰을 때 2059.6 $cm^{-1},\;{\sim}$2036.5 $cm^{-1},\;{\sim}$1868.7 $cm^{-1},\;{\sim}$1697.1 $cm^{-1}$의 네 흡수띠가 관찰되었고, Cu-Si$O_2$에 일산화탄소를 흡착시켰을 때 $\sim$2115.5 $cm^{-1},\;{\sim}$1743.0 $cm^{-1}$ 두 흡수띠가 관찰되었으며, Ni/Cu-Si$O_2$에서는 ${\sim}2123.2\;cm^{-1}$, 2059.6 $cm^{-1},\;{\sim}$2036.4 $cm^{-1},\;{\sim}$1899.5 $cm^{-1},\;{\sim}$1697.1 $cm^{-1}$에 다섯 흡수띠가 관찰되었다. Ni/Cu-Si$O_2$, Cu-Si$O_2$, Ni/Cu-Si$O_2$에서 CO를 흡착시켰을 때 관찰된 흡수스펙트럼은 이전의 보고와 근사적으로 일치한다. 1800 $cm^{-1}$ 이하의 흡수띠는 Ni이나 Ni/Cu 합금의 스텦이 있는 결정표면에서 관찰된 바 있는데 Ni-Si$O_2$, Ni/Cu-Si$O_2$를 실온에서 CO를 흡착시켰을 때 나타나는 ${\sim}1697.1\;cm^{-1}$ 흡수띠는 Ni이나 Ni/Cu 합금 표면에서 스텦에 인접한 흡착자리에 흡착한 CO에 기인한 흡수띠로 제시할 수 있다. Cu-Si$O_2$ 시료를 실온에서 CO를 흡착시켰을 때 Cu 결정표면에서 2000 $cm^{-1}$ 이하의 흡수띠가 관찰되는 경우는 드문데 1743.0 $cm^{-1}$ 흡수띠는 Cu 표면의 스텦에 인접한 흡착자리에 흡착한 CO에 기인한 흡수띠로 제시할 수 있다. Ni/Cu-Si$O_2$에서 Cu의 함량이 몰분율 0.5까지 변함에 따라 같은 CO 압력 또는 같은 진공탈착시간에서 흡수띠의 위치가 21 $cm^{-1}$ 이하로 다른 ⅠB 금속을 첨가했을 때보다 작게 변하는데 Cu d 전자의 리간드 효과가 작은 현상에 기인한 것으로 볼 수 있다.

5ZrSiO4-xCaCO3 혼합계에서 CaCO3첨가량이 CaZrO3와 m-ZrO2의 합성 및 미세구조변화에 미치는 영향 (Influence of Addition Amount of CaCO3on the Synthesizing behavior and Microstructural Evolution of CaZrO3 and m-ZrO2 in 5ZrSiO4-xCaCO3 Mixture System)

  • 김재원;이재언;조창용;이재현;정연길
    • 한국재료학회지
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    • 제13권9호
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    • pp.572-580
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    • 2003
  • Synthesizing behavior and microstructural evolution of $CaZrO_3$and $m-ZrO_2$in a thermal reaction process of $ZrSiO_4$-$xCaCO_3$mixtures, where x is 7 and 19, were investigated to determine the addition amount of CaO in CaO:$ZrO_2$:$SiO_2$ternary composition. CaZrO$_3$-Ca$_2$SiO$_4$precursor prepared by the mixture of $ZrSiO_4$and CaCO$_3$in aqueous suspending media was controlled to the acidic (pH=4.0) condition with HCI solution to enhance the thermal reaction. The addition amount of dispersant into the $ZrSiO_4$-$xCaCO_3$slip increased with increasing mole ratio of $CaCO_3$, which was associated with the viscosity of slip. Decarbonation reaction was activated with an increase of the addition amount of $CaCO_3$, showing different final temperatures in $ZrSiO_4$-$7CaCO_3$and $ZrSiO_4$-$19CaCO_3$mixtures as about 980 and 116$0^{\circ}C$, respectively, for finishing decarbonation reaction. The grain morphology was changed to spherical shape for all samples with an increase of sintering temperature. The grain size and phase composition of the synthesized composites depended on the mixture ratio of Zrsi04 and CacO3 powders, indicating that the main crystals were m-ZrO2 ($\leq$3 $\mu\textrm{m}$) and $CaZrO_3$ ($\leq$ 7 $\mu\textrm{m}$) in $ZrSiO_4$$>-7CaCO_3$and $ZrSiO_4$-$19CaCO_3$mixtures, respectively.

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구 (A study on the formation of epitaxial $CoSi_{2}$thin film using Co/Refractory metal bilayer)

  • 김종렬;조윤성;배규식
    • 한국재료학회지
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    • 제5권3호
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    • pp.324-332
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    • 1995
  • 전자빔 증착법을 사용하여 Ti과 Co를 Si(100) 단결정, 다결정 Si 및 Si$O_{2}$기판에 증착한 후 90$0^{\circ}C$에서 20초 급속 열처리하여, Co/Ti 이중박막으로부터의 실리사이드화 반응을 조사하였다. 단결정 시편의 경우 Ti의 두께를 5~6mm로 최소화함으로서 두께가 균일하고 기판과의 계면이 평탄하며 비저항이 낮고 열적 안정성이 높은 Co$Si_{2}$ 에피박막을 형성할 수 있었다. 그러나 다결정 시편에는 두께와 계면이 불균일하고 열적으로도 불안정한 다결정의 Co$Si_{2}$와 그 위에 두개의 Co-Ti-Si혼합층이 형성되었다. 한편 Si$O_{2}$ 우에 증착된 Co/Ti은 열처리를 하여도 확산하지 않고 그대로 남아 있어서, Co/Ti 이중박막의 Si$O_{2}$와의 반응성이 미약함을 보여 주었다.

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폐 초경합금에서 추출된 Co를 이용한 CoFe2O4/SiO2 합성 및 특성평가 (Synthesis and Characterization of CoFe2O4/SiO2 using Cobalt Precursors from Recycling Waste Cemented Carbide)

  • 유리;피재환;김유진
    • 한국세라믹학회지
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    • 제48권5호
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    • pp.454-457
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    • 2011
  • We report the preparation of nanocrystalline cobalt ferrite, $CoFe_2O_4$, particles using recycled $Co_3O_4$ and their surface coating with silica using micro emulsion method. Firstly, the $Co_3O_4$ powders were separated from waste cemented carbide with acid-base chemical treatment. The cobalt ferrite nanoparticles with the size 10 nm are prepared by thermal decomposition method using recycled $Co_3O_4$. $SiO_2$ was coated onto the $CoFe_2O_4$ particles by the micro-emulsion method. The $SiO_2$-coated $CoFe_2O_4$ particles were studied their physical properties and characterized by X-ray diffraction (XRD), high resolution-transmission electron microscopy (TEM) analysis and CIE Lab value.

P형 4H-SiC 기판에 형성된 ZnO 박막/나노선 가스 센서의 300℃에서 CO 가스 감지 특성 (CO Gas Sensing Characteristic of ZnO Thin Film/Nanowire Based on p-type 4H-SiC Substrate at 300℃)

  • 김익주;오병훈;이정호;구상모
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제25권2호
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    • pp.91-95
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    • 2012
  • ZnO thin films were deposited on p-type 4H-SiC substrate by pulsed laser deposition. ZnO nanowires were formed on p-type 4H-SiC substrate by furnace. Ti/Au electrodes were deposited on ZnO thin film/SiC and ZnO nanowire/SiC structures, respectively. Structural and crystallographical properties of the fabricated ZnO thin film/SiC and ZnO nanowire/SiC structures were investigated by field emission scanning electron microscope and X-ray diffraction. In this work, resistance and sensitivity of ZnO thin film/SiC gas sensor and ZnO nanowire/SiC gas sensor were measured at $300^{\circ}C$ with various CO gas concentrations (0%, 90%, 70%, and 50%). Resistance of gas sensor decreases at CO gas atmosphere. Sensitivity of ZnO nanowire/SiC gas sensor is twice as big as sensitivity of ZnO thin film/SiC gas sensor.

방독마스크용 코발트 촉매의 저온 일산화탄소 산화반응에서 지지체의 영향 (The Influence of Support on Gas Mask Cobalt Catalysts for Low Temperature CO Oxidation)

  • 김덕기;김복희;신채호;신창섭
    • 한국안전학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.35-45
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    • 2006
  • Cobalt catalysts for gas mask loaded on various supports such as $Al_{2}O_{3},\;TiO_{2}$, AC(activated carbon) and $SiO_{2}$ were used to examine influences of calcination temperatures and reaction temperatures for CO oxidation. $Co(NO_{3})_2{\cdot}6H_{2}O$ was used as cobalt precursor and the catalysts were prepared by incipient wetness impregnation. The catalysts were characterized using XRD, TGA/DTA, TEM, $N_{2}$ sorption, and XPS. For the catalytic activity, support was in the order of ${\gamma}-Al_{2}O_{3}>TiO_{2}>SiO_{2}>AC\;and\;Al_{2}O_{3}$. The catalytic activity at lower temperature than $80^{\circ}C$ showed that with the increase of reaction temperature, cobalt catalysts on ${\gamma}-Al_{2}O_{3},\;TiO_{2},\;AC\$ has the negative activation energy but that of $SiO_{2}$ was positive.

CoO를 함유한 Na2O-B2O3-SiO2 계 유리의 유전적 특성 (Dielectric Properties in Na2O-B2O3-SiO2 Glass Containing CoO)

  • 이찬구;이수대;정맹식
    • 한국안광학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.49-53
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    • 2000
  • Sodium borate silicate 유리는 $10Na_2O-39B_2O_3-50SiO_2-CoO$ mol%와 $20Na_2O-14B_2O_3-65SiO_2-CoO$ mol%의 조성비로 혼합한 후 전기로에서 $1210^{\circ}C$ 온도로 2시간 동안 용융하여 공기 중에서 급냉 시켜 제작하였다. 급냉한 유리의 유전적 거동을 조사하기 위하여 온도와 주파수 함수로 유전상수와 비저항을 측정하였다. 유전율 스펙트럼에서 유리전이온도는 $Na_2O$ 20 mol%시료가 낮아졌으며 $Na_2O$ 함량이 증가함에 따라 유전상수는 크게 나타났다. 유리의 비저항 주파수 의존성은 non-Debye형 완화를 보였다.

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Solvent Effects on the Isotropic NMR Shifts in Quinuclidine and Pyridine-Type Ligands Coordinated to the Paramagnetic Polyomometalate, $[SiW_{11}Co^{II}o_{39}]^{6-}$

  • Hyun, Jaewon;Park, Suk-Min;So, Hyunsoo
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제18권10호
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    • pp.1090-1093
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    • 1997
  • The solvent effects on the isotropic NMR shifts in conformationally rigid ligands such as quinuclidine, pyridine, and 4-aminopyridine coordinated to the paramagnetic polyoxometalate, [SiW11CoⅡO39]6- (SiW11Co), are reported. For these complexes the ligand exchange is slow on the NMR time scale and pure 1H NMR signals have been observed at room temperature. The signals for the SiW11Co complexes are shifted upfield whe dimethyl sulfoxide-d6 (DMSO) is added to a D2O solution. The isotropic shifts are separated into contact and pseudocontact contributions by assuming that the contact shifts are proportional to the isotropic shifts of the same ligands coordinated to [SiW11NiⅡO39]6-. It is shown that both the contact and pseudocontact shifts decrease (the absolute values of the pseudocontact shifts increase), when D2O is replaced by DMSO. It is suggested that D2O, a strong hydrogen bond donor, withdraws electron density from [SiW11CoⅡO39]6-, increasing the acidity of the cobalt ion toward the axial ligand. When D2O is replaced by DMSO, the acidity of the cobalt ion in SiW11Co decreases, weakening the Co-N bond. Then both the contact and pseudocontact shifts are expected to decrease in agreement with the observed solvent effects.