• 제목/요약/키워드: $Cl_2$/Ar

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Al 확산침투처리를 통한 Inconel 617의 코팅층의 상분석 및 고온산화특성평가

  • 임정훈;조태선;김대건;김영도
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
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    • pp.51-51
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    • 2009
  • Ni 기 초내열합금은 원자력 발전설비의 열교환기용 재료를 비롯한 발전용 가스터빈, 제트엔진, 화학공장용 튜브 및 파이프재료 등 우수한 고온 기계적 특성 및 고온 내식성을 요구하는 각종 부품재에 광범위하게 이용되고 있다. Al 확산침투처리는 Ni기 초내열합금에 Al 혼합분말을 이용하여 금속간합화물을 코팅함으로써 고온산화특성 향상에 효과적인 방법이다. 본 연구에서는 Al 확산침투처리를 통하여 Inconel 617 표면에 Aluminide 코팅층을 형성함으로써 고온 내산화특성을 향상시키고자 하였다. Al 확산침투처리는 Al :$Al_2O_3$ : $NH_4Cl$ = 15g : 83g : 2g(wt.%)의 비율의 혼합분말을 사용하여 $900^{\circ}C$에서 1 시간 동안 Ar 분위기에서 수행되었다. Al 확산침투처리 후 $950^{\circ}C$에서 1000 시간 동안 air 분위기에서 열화시험을 수행하였다. Al 확산침투처리 후 고온열화를 통해 고온산화특성을 평가였으며, 고온 열화에 의해 형성된 코팅층의 석출물과 계면상의 상분석을 수행하였다.

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PECVD 에 의해 형성된 TiCN 박막의 형상 및 밀착성 (The Morphology and Adhesion of TiCN Film formed by PECVD)

  • 허정;남태운
    • 열처리공학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.118-126
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    • 2002
  • TiCN thin films were deposited on tool steels at $510^{\circ}C$ by PECVD from a $TiCl_4+N_2+CH_4+H_2+Ar$ gaseous mixture. The microstructures and preferred orientation were investigated. The micro-scratch tests were performed using a system equipped with an acoustic emission sensor. Critical loads were determined to evaluate the adhesion of TiCN to substrate. The influences of the microstructures of substrates, double layered coatings, and coatings after nitriding(duplex coating) were investigated. The experimental results showed that the microstructures of substrates and double layered coating did not affect the critical loads considerably. By the duplex coating, critical loads were not always increased. In some cases, duplex coatings decreased critical loads significantly despite of absence of black layer. In this study, we tried to relate the results of scratch test to the residual stress analysis. Nitriding before the coating reduces the tensile residual stress in the film, which gives rise to low critical load in scratch test.

전염성위축성비염돈(傳染性萎縮性鼻炎豚)으로부터 분리(分離)한 Bordetella bronchiseptica의 화학요법제(化學療法劑)에 대(對)한 감수성시험(感受性試驗) (Sensitivity of Bordetella bronchise ptica Isolated from Pigs Affected by Infectious Atrophic Rhinitis to Chemotherapeutic Agents)

  • 강병규
    • 대한수의학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.159-165
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    • 1980
  • A total of 98 strains of Bordetella bronckiseptica isolated from pigs affected the infectious atrophic rhinitis(AR) during 1978 were surveyed for drug sensitivity to 26 chemotherapeutic agents, and minimum inhibitory concentration(MIC), incidence rate of resistant strain and resistant patern from the strains which were obtained from the different pig farm in Jeonnam province were examined. The results obtained are summarized as follows. 1. Most of the strains tested were resistant to Ampicillin (AB, PC), spiramycin(SPO, sulfa drugs (SD) (MIC:$400.0{{\mu}g/ml}$) and streptomycin(SM) (MIC:$200.0{{\mu}g/ml}$). Of the 75.0% of strains were also resistant to penicillin(PC) (MIC:$200.0{{\mu}g/ml}$) and of the 14.3 of strains were inhibited to grow to tetracycline(TC), chlortetracycline(CTC), oxytetracyc-line(OTC), erythromycin(EM), tylosin(TS), leucomycin (LM) and chloramphenicol (CP) (MIC:$6.25{{\mu}g/ml}$). On the other hand, most of the strains tested were inhibited to grow to kanamycin(KM), gentamycin(GM) neomycin(NM) (MIC:$25.0{{\mu}g/ml}$) and to colistin(CL) (MIC:$12.5{{\mu}g/ml}$). 2. Incidence rate of resistant strains to main chemotherapeutic agents was 100.0% of sulfa drugs, 96.4% of streptomycin, 85.7% of penicillin, tetracycline, chloramphenicol and erythromycin, 46.4% of gentamycin, 17.9% of colistin and 0.0% of kanamycin and nalidixic acid.

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건식플라즈마 표면처리법에 의한 마그네슘 합금의 내식특성 향상 (A Study on the Enhancement of Corrosion Resistance of Magnesium Alloy by Dry Plasma Process)

  • 윤용섭
    • 해양환경안전학회지
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    • 제17권2호
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    • pp.155-160
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    • 2011
  • 현재 지구온난화 등의 환경문제로 인해 각종 산업분야에서 정량화에 대한 요구가 증대되어 해양산업에도 그 수요가 증가하고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 차세대 경량화 재료인 마그네슘이 활용되기 위해서 반드시 극복해야할 가장 중요한 특성인 내식특성에 대하여 고찰하고, 그 내식특성 향상을 위한 마그네슘 박막의 Morphology나 결정배향성의 영향을 해명하고자 하였다. 실험결과로부터 제작한 Mg 박막의 전기화학적 내식특성은 Ar 가스압이 높은 조건에서 제작한 막일수록 내식특성이 우수하였다. 이러한 경향은 표면 및 단면의 Morphology와 결정배향성과의 상관관계를 통하여 설명 가능하였다.

CaO와 $TiO_2$분말로 합성된 $CaTiO_3$:Pr형광체의 발광구조 해석과 음극선 발광특성 (The Luminescent Mechnism and Cathodoluminescence of $CaTiO_3$:Pr Synthesized with CaO and $TiO_2$ Powders)

  • 박용규;한정인;곽민기;이인규;김대현
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제11권8호
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    • pp.646-651
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    • 1998
  • In this present study, the luminescence characteristics and mechanism of energy $CaTiO_3$:Pr phosphor were studied using disk specimens sintered at various temperatures and envirenment. A single-phase $CaTiO_3$:Pr was synthesized by sintering above 140$0^{\circ}C$ and its crystal structure was found to be perovskite orthorhombic. A dominant peak around 360 nm and a broad peak around 395 nm were observed in the PLE(Photoluminescence Excitation) spectrum of $CaTiO_3$:Pr with fixed emission wavelength at 612 nm, the decay time of 360 nm excitation was found to be longer than that of 395 nm excitation. From this result, it is assumed that the free carrier excited to 360 nm is transferred to 395 nm energy level. Therefore, the decrease in 395 nm intensity observed in CaTiO$_3$:Pr specimens sintered in Ar gas environment induced shorter decay time and improved CL luminescence.

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Inductively Coupled Plasma를 이용한 SnO 박막의 식각 특성 연구 (Study of Dry Etching of SnO thin films using a Inductively Coupled Plasma)

  • 김수곤;박병옥;이준형;김정주;허영우
    • 한국표면공학회지
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    • 제49권1호
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    • pp.98-103
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    • 2016
  • The dry etching characteristics of SnO thin films were investigated using inductively coupled plasma (ICP) in Ar, $CF_4$, $Cl_2$ chemistries. the SnO thin films were deposited by reactive rf magnetron sputtering with Sn metal target. In order to study the etching rates of SnO, the processing factors of processing pressure, source power, bias power, and etching gas were controlled. The etching behavior of SnO films under various conditions was obtained and discussed by comparing to that of $SiO_2$ films. In our results, the etch rate of SnO film was obtained as 94nm/min. The etch rates were mainly affected by physical etching and the contribution of chemical etching to SnO films appeared relatively week.

플라즈마 식각 특성과 이를 이용한 초전도 자속 흐름 트랜지스터 (Characteristics of Plasma etching and Fabrication of Superconducting Flux Flow Transistor)

  • 강형곤;박춘배;이경섭;김형곤;황종선;한병성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 제4회 영호남학술대회 논문집
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    • pp.138-141
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    • 2002
  • The channel of the superconducting Flux Flow Transistor has been fabricated with plasma etching method using ICP. The ICP conditions were 700 W of ICP power, 150 W of rf chuck power, 5 mTorr of the pressure in chamber and 1:1 of Ar : $Cl_2$, respectively. The channel etched by plasma gas showed superconducting characteristics of over 77 K and superior surface morphology. The critical current of SFFT was altered by varying the external applied current. As the external applied current increased from 0 to 12 mA, the critical current decreased from 28 to 22 mA. Then the obtained $r_m$ values were smaller than $0.1\Omega$ at a bias current of 40 mA. The current gain was about 0.5. Output resistance was below $0.2\Omega$.

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직류 및 고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Ti-Al-V-N 박막의 특성 (Characterizations of Ti-Al-V-N Films Deposited by DC and RF Reactive Magnetron Sputtering)

  • 손용운;정인화;이영기
    • 열처리공학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.398-404
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    • 2000
  • The Ti-Al-V-N films have been deposited on various substrates by d.c and r.f reactive magnetron sputtering from a Ti-6Al-4V alloy target in mixed $Ar-N_2$ discharges. The films were investigated by means of XRD, AES, SEM/EDX, microhardness, TG and scratch test. The XRD and SEM results indicated that the films were of single B1 NaCl phase having dense columnar structure with the (111) preferred orientation. The composition of Ti-Al-V-N film was the Ti-7.1Al-4.3V-N(wt%) films. Adhesion and microhardness of Ti-Al-V-N films deposited by r.f magnetron sputtering method were better than those deposited by d.c magnetron sputtering method. The anti-oxidation properties of Ti-Al-V-N films were also superior to that of Ti-N film deposited by the same deposition conditions.

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반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 Ti-Al-V-N 박막의 미세조직 및 부착특성에 관한 연구 (The microstructure and adhesive characteristics of Ti-Al-V-N films prepared by reactive magnetron sputtering)

  • 손용운;이영기
    • 열처리공학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.199-205
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    • 1999
  • The quaternary Ti-Al-V-N films have been grown on glass substrates by reactive dc and rf magnetron sputter deposition from a Ti-6Al-4V target in mixed Ar-$N_2$ discharges. The Ti-Al-V-N films were investigated by means of X-ray diffraction(XRD), electron probe microanalysis(EPMA) and scratch tester. Both XRD and EPMA results indicated that the Ti-Al-V-N films were of single B1 NaCl phase having columnar structure with the (111) preferred orientation. Scratch tester results showed that the adhesion strength of Ti-Al-V-N films which treated with substrate heating and vacuum annealing was superior to that of as-deposited film. The good adhesion strength was also achieved in the double-layer structure of Ti-Al-V-N/Ti-Al-V/Glass.

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호남지역 저온형 온천수의 수리지화학적 및 안정동위원소 특성과 영족기체의 기원에 관한 연구 (Hydrochemical and Isotopic Characteristics, and Origin of Noble Gas for Low-temperature Hot Spring Waters in the Honam Area)

  • 정찬호;허현성;;김규한
    • 자원환경지질
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    • 제40권5호
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    • pp.635-649
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    • 2007
  • 이 연구에서는 호남지역에 분포하는 5개 온천(죽림, 변산, 지리산, 덕산, 화순)에서 9개 온천시료와 인근의 지하수 시료 3개를 채취하여 수질화학 성분과 안정동위원소 $({\delta}^{18}O,\;{\delta}D,\;{\delta}^{34}S)$ 및 영족기체(He, Ne, Ar) 동위원소 분석을 통하여 온천수의 지화학적 특성, 지화학적 진화, 그리고 황, 헬륨, 아르곤의 기원을 해석하고자 하였다. 호남지역 온천수의 수온은 $23.0{\sim}30.5^{\circ}C$ 범위로 저온형 온천특성을 보이고 pH는 $7.67{\sim}9.98$ 범위로 알카리성의 특성을 보여주었다. 전기전도도는 $153{\sim}746{\mu}S/cm$ 범위로 지역에 따라서 큰 차이를 보여주었다. 온천주변 지하수의 수질특성은 온천수보다 낮은 pH와 전기전도도의 특성을 보여주었다. 온천수와 지하수의 지화학적 성분은 파이퍼도상에서 크게 3개의 유형으로 구분된다($Na-HCO_3$ 유형, Na-Cl 유형, $Ca-HCO_3$ 유형). 온천수의 지화학적 진화과정을 보면 초기에 $Ca-HCO_3$ 유형에서 출발하여 $Ca(Na)-HCO_3$ 유형을 거쳐 $Na-HCO_3$ 유형으로 진화하였으며, 일부 온천수는(JR1)의 경우 pH 9.98의 알카리성으로, $Na-HCO_3$ 유형의 종말점까지 도달하여 지화학적 진화의 최종단계에 도달되었음을 보여준다. 온천수의 산소 및 수소동위원소 조성은 순환수선을 따라 도시되며 지역에 따라 위도효과를 보인다. 황산염에 대한 황동위원소 대부분 화성기원을 보인다. 그러나 JR1 온천은 고염수에서 기원한 것으로 보이는 해양성기원을 보인다. 온천수의 $^3He/^4He$ 비와 $^4He/^{20}Ne$ 비는 $0.0143{\times}10^{-6}{\sim}0.407{\times}10^{-6}$ 범위와 $6.49{\sim}584{\times}10^{-6}$ 범위를 각각 보여주어 대기와 지각성분의 혼합선상에 도시된다. 이는 온천수내 헬륨가스의 대부분이 지각기원임을 의미한다. 죽림온천(JR1)의 경우 맨틀기원의 헬륨가스의 혼합율이 다른 온천에 비해 다소 높은 비율을 보여준다. 이들 동위원소비와 온천수의 pH와는 대체적으로 정의 상관관계가 확인되었다. 아울러 $^{40}Ar/^{36}Ar$비가 $292.3{\times}10^{-6}{\sim}304.1{\times}10^{-6}$ 범위로 대기기원임을 지시한다.