Effects of Deposition Conditions on the Deposition rate and physical properties of $SnO_2$ film produced by CVD
(CVD에 의한 $SnO_2$ Film 제조시 증착조건이 Film의 증착속도 및 물리적 성질에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.18 no.3
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- pp.116-124
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- 1985