Ar/$CHF_34$ 플라즈마를 이용한 SBT 박막에 대한 식각 메카니즘 연구
(A study on etching mechanism of SBT thin flim by using Ar/$CHF_3$ plasma)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권3호
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- pp.183-187
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- 2000