CVD법으로 제작한 $_{(1-x)}Ta_2O_{5-x}TiO_2$ 박막의 열처리 온도에 따른 특성변화
(Characteristics of $_{(1-x)}Ta_2O_{5-x}TiO_2$ thin film at various annealing temperature by CVD)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.171-171
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- 2003