RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 에피택셜$BaTiO_3$ 박막의 초고주파 유전 특성
(Microwave Dielectric Characteristics of Epitaxial $BaTiO_3$ Thin Films by RF Magnetron Sputtering)
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- 한국세라믹학회:학술대회논문집
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- 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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- pp.88.2-88
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- 2003