• 제목/요약/키워드: $Ar^+$ Ion

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$Ca^{++}$를 implant한 단결정 $Al_2O_3$에서 열처리에 의한 형태학적 변화 (Heat treatment induced morphological changes of $Ca^{++}$ implanted single crystal $Al_2O_3$)

  • 김배연
    • 한국결정성장학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.327-333
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    • 1999
  • Ion implantation, photo-lithography, Ar ion milling, hot press를 이용한 micro-fabrication 방법으로 고순도 단결정 알루미나 표면에 Ca를 제한된 양으로 첨가하고, 내부에 여러 가지 형태의 기공을 갖는 bi-crystal을 만들었다. 이 bi-crystal 고순도 알루미나에 미치는 Ca의 영향을 평가하기 위하여 내부 기공의 형태 변화와 결정의 성장을 열처리에 따라 광학현미경으로 관찰하였다. 열처리에 따라 inner crack-like pore의 내부표면에 dot와 육각형의 형태를 갖는 결정 입자가 생성되는 것을 관찰할 수 있었다. $1,500^{\circ}C$로 열처리한 경우에 CaO . $6Al_2O_3$로 생각되는 bar 형태의 결정이 표면에 석출되는 것이 관찰되었으며, 이 결정이 $1,600^{\circ}C$에서 열처리하면 사라지는 것으로 보아 이 온도 부근에서 알루미나에 대한 Ca의 solubility limit 또는 diffusion rate가 변화하는 것으로 생각된다.

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이온빔 조사에 의한 기능성 고분자 필름의 표면 특성 (Surface Characteristics of Functional Polymer Film by Ion Beam Irradiation)

  • 김영준;홍성민;노용오
    • 폴리머
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    • 제37권4호
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    • pp.431-436
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    • 2013
  • 폴리카보네이트(PC) 필름에 이온 조사량과 에너지를 변화시켜 가면서 여러 종류의 이온을 조사하였다. 광 투과 특성과 화학적 조성은 각각 UV-VIS와 FTIR(ATR) spectroscopy를 이용해서 얻었다. 400 nm에서 이러한 UV-A 차단율은 에너지와 이온 조사량에 따라서 10에서 100%까지 자유롭게 조절할 수 있었다. 이온 조사된 PC 필름의 표면 전기 저항은 $10^6-10^{13}{\Omega}/cm^2$까지 전도도의 변화를 보인다. 이온 조사된 필름의 접촉각은 모재 필름의 접촉각보다 감소하였다. 폴리머 표면 형태는 atomic force microscopy(AFM)에 의해서 관찰되었다. 예상대로 더 무거운 Xe 이온 조사 후에 폴리머 필름의 파괴가 더 많았다. 그러나 Ar 이온 조사 후에 폴리머 필름의 표면 거칠기가 더 나타났다. 이것은 Xe 이온 조사의 경우 사용가능한 자유체적의 감소와 관련되어 폴리머 필름 표면층의 강력한 채움으로써 설명될 수 있다.

이온주입에 의한 진공성형 포장재의 전기전도 특성 (Electrical Conductivity Properties of the Vacuum Forming Packing Materials by Ion Implantation)

  • 이재형;이찬영;길재근
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제16권11호
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    • pp.1055-1061
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    • 2003
  • A study has been made of surface modification of various organic materials by ion implantation to increase the surface electrical properties. The substrate used were PP(polypropylene), PET(polyethylene teraphthalate), ECOP(ethylene copolyester), PS(polystyrene). N$_2$, Ar ion implantation was performed at energies of 40 and 50keV with fluences from 5${\times}$ 10$\^$15/ to 7${\times}$10$\^$16/ ions/$\textrm{cm}^2$ with and without H$_2$O gas environment. Surface resistance decrease of implanted polymers was affected by ion implantation energy, ion species, atmosphere of chamber and kind of polymer. In result, surface conductivity of polymers irradiated with atmosphere gas H$_2$O was 10 times more higher than normal vacuum atmosphere, but after 90 hours, surface conductivity returned to the without H$_2$O gas atmosphere condition caused by aging effect. After vacuum forming, surface resistance value was changed to over 10$\^$16/$\Omega$/$\square$, because creation of surface cracks.

Effect of ECR-Ion Milling on Exchange Biasing in NiO/NiFe Bilayers

  • D.G. Hwang;Lee, S. S.;Lee, K. H.;Lee, K. B.;Park, D. H.;Lee, H. S.
    • Journal of Magnetics
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    • 제5권1호
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    • pp.23-25
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    • 2000
  • We have investigated the effects of Ar and$O_2$-ion milling on the exchange coupling field ($H_{ex}$) and coercive field ($H_c$) at the interfaces between substrates and NiO/NiFe films, to understand the exchange biasing mechanism. The $O_2$-ion milling was successfully performed by means of the electron cyclotron resonance (ECR) process. We found that the local roughness gradient of the NiO surface increased by $O_2$-ion milling. The ratio of $H_{ex}/H_c$ increased from 0.87 to 1.77, whereas $H_c$ decreased by almost a half as a results of the ion milling. The decrease in $H_c$could be interpreted as due to the refinement of magnetic domain size, which arose from the increase of the local roughness gradient of the NiO surface. The decrease in low $H_c$, and increase in $H_{ex}$ in NiO spin valves by ECR-ion milling are in the right direction far use in magnetoresistance (MR) heads.

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